Aplicación
Bombas de vacío para el recubrimiento al vacío
En el recubrimiento al vacío se forman capas finas sobre vidrio, herramientas, láminas, obleas o piezas de plástico: por PVD (pulverización catódica, evaporación), CVD, PECVD, ALD o en el tratamiento por plasma. La cámara se evacúa primero y después se mantiene a la presión de proceso, para que el vapor o el gas de proceso alcancen el sustrato y, según Atlas Copco, se formen capas uniformes y adherentes; Leybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para capas ópticas y 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 371 modelos de 5 fabricantes.
Comparar 371 modelosCómo funciona
- 371Modelos
- 30Series
- 5Fabricantes
- 10⁻²–10⁻⁶ mbarPresión de proceso en capas PVD (Leybold)
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): lo esencial
- Presión de procesoLeybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para recubrimientos ópticos y el funcionamiento de instalaciones de recubrimiento de vidrio, 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para el recubrimiento rollo a rollo; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar, y Pfeiffer Vacuum, ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar.
- Ciclo de esclusaEn el recubrimiento de vidrio de arquitectura y de automoción, según Leybold, las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos para el recubrimiento de vidrio, y Leybold, ciclos de bombeo muy cortos para pantallas y ciclos cortos para instalaciones solares en línea.
- Velocidad de bombeoPara instalaciones ALD, Pfeiffer Vacuum indica 1800 a 4500 m³/h. Como grupos de bombeo, Leybold menciona SOGEVAC con RUVAC; Atlas Copco, DWS con ZRS; y Edwards, bombas de tornillo secas con booster.
- Gases de procesoEn CVD y ALD, según Pfeiffer Vacuum, los subproductos son corrosivos o pulverulentos; para procesos de plasma, Leybold menciona versiones como TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE y VARODRY HD O2. Según Busch, las superficies se recubren en una cámara de vacío limpia.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Recubrimiento al vacío (PVD, CVD)
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- EvacuaciónLa cámara se evacúa desde la presión atmosférica hasta la presión de proceso: en las instalaciones por lotes, la cámara entera; en las instalaciones en línea, las esclusas trabajan en ciclos (según Leybold, de 1000 a 1 mbar, 2–3 ciclos por minuto).
- RecubrimientoPVD: el material se evapora o se pulveriza y, según Edwards, se condensa en alto vacío sobre el sustrato. CVD y ALD: los gases de proceso reaccionan sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar; el ALD, según Pfeiffer Vacuum, entre 10⁻¹ y 5 mbar.
- VentilaciónLa válvula hacia la bomba se cierra, la cámara se ventila y se carga de nuevo; en cambio, las instalaciones en línea sacan el sustrato por la esclusa de salida mientras la cámara de proceso permanece en vacío.
Vacío y dimensionado
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Leybold: capas ópticas 10⁻² a 10⁻³ mbar, protección contra el desgaste y decoración 10⁻² a 10⁻⁶ mbar, rollo a rollo 10⁻¹ a 10⁻³ mbar, recubrimiento de vidrio en funcionamiento 10⁻² a 10⁻³ mbar. Edwards: CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar, PVD como evaporación y condensación en alto vacío. Pfeiffer Vacuum: ALD 10⁻¹ a 5 mbar, MBE unos 10⁻¹¹ hPa. Atlas Copco menciona el alto vacío para capas uniformes y adherentes.
Qué velocidad de bombeo
Para instalaciones ALD, Pfeiffer Vacuum indica 1800 a 4500 m³/h. Además, el ciclo determina el dimensionamiento: Leybold menciona 2–3 ciclos de esclusa por minuto en el recubrimiento de vidrio, ciclos de bombeo muy cortos en pantallas y ciclos cortos en instalaciones solares en línea; Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos para el recubrimiento de vidrio.
Qué determina el dimensionamiento
El proceso: para PVD, Edwards menciona bombas previas junto con bombas turbomoleculares o criogénicas; el CVD y el ALD funcionan a mayor presión, con subproductos que, según Pfeiffer Vacuum, son corrosivos o pulverulentos. Para procesos de plasma, Leybold menciona versiones PFPE y O2 (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY, DRYVAC); para el recubrimiento de parileno, en el que el parileno se aplica en vacío por pirólisis como película sin poros, NOVADRY y SCREWLINE SP.
Lo que señalan los fabricantes
Busch: recubrir superficies en una cámara de vacío limpia. Leybold: pureza en la formación de capas con MBE y ALD; las capas Low-E reflejan la energía solar con plena transparencia. Edwards: condiciones reproducibles en recubrimientos experimentales. Atlas Copco: encapsulado de células solares frente al oxígeno y la humedad.
Tecnología
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de paletas rotativas lubricadas con aceite
138 modelos · 0,75–1.800 m³/h
Bombas de vacío de tornillo
99 modelos · 63–7.385 m³/h
Bombas de vacío Roots
96 modelos · 14–13.540 m³/h
Bombas de vacío de garras
32 modelos · 18–1.150 m³/h
Bombas de vacío scroll
4 modelos · 6,1–43 m³/h
Bombas de vacío de pistón rotativo
2 modelos · 234–442 m³/h
Elmo Rietschle menciona la aplicación sin indicar una serie para ella.
Resumen de productos
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): los 371 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
DWS 200Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 14DWS 300Velocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor Variantes 14DWS 500Velocidad de bombeo 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
DWS 160 VSD+Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1DWS 250 VSD+Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1DWS 450 VSD+Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3DWS 750 VSD+Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3DWS 160/1750 VSD+Velocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 1DWS 250/2600 VSD+Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
GVD 0.7Velocidad de bombeo 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 2GVD 1.5Velocidad de bombeo 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVariantes 2GVD 3Velocidad de bombeo 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 4GVD 5Velocidad de bombeo 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 4GVD 8Velocidad de bombeo 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 5GVD 12Velocidad de bombeo 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 5GVD 18Velocidad de bombeo 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 3GVD 28Velocidad de bombeo 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 3GVD 45Velocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVariantes 1GVD 65Velocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 1GVD 85Velocidad de bombeo 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVariantes 1GVD 175Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 2GVD 275Velocidad de bombeo 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 2Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
ZRS 250Velocidad de bombeo 310 m³/h 50 Hz375 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 4ZRS 500Velocidad de bombeo 505 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 4ZRS 1200Velocidad de bombeo 1.195 m³/h 50 Hz1.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 4ZRS 2600Velocidad de bombeo 2.590 m³/h 50 Hz3.110 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 4ZRS 4200Velocidad de bombeo 4.140 m³/h 50 Hz4.985 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 4Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes COBRA NC 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0950 AVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1500 B VRVelocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 2000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 2500 CVelocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 2000 C VRVelocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 2760 AVelocidad de bombeo 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 2780 AVelocidad de bombeo 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 4560 AVelocidad de bombeo 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 4580 AVelocidad de bombeo 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 6260 AVelocidad de bombeo 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 6280 AVelocidad de bombeo 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 3
COBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
COBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3181 CVelocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8161 FVelocidad de bombeo 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 9161 BVelocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8162 FVelocidad de bombeo 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8163 BVelocidad de bombeo 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVariantes Busch Serie MINK 32 modelos
MINK MB 0018 AVelocidad de bombeo 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzPresión final 600 mbarPotencia nominal del motor 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MI 2124 BVVelocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 0060 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MM 0084 AVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes MINK MM 1104 BVVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 10
MINK MM 1104 CVMVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 1,3 kW 50 HzVariantes 
MINK MM 0104 AVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1144 BVVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MM 0142 AVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1102 BVVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 6
MINK MM 1102 CVMVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 HzVariantes 
MINK MI 2122 BVVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 0182 AVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1142 BVVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 13
MINK MM 1324 AVVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2
MINK MM 1202 AVVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 11
MINK MM 1252 AVVelocidad de bombeo 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 8MINK MW 0332 BVelocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,8 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 0312 BVelocidad de bombeo 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 4
MINK MM 1322 AVVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVariantes 10
MINK MV 0310 BVelocidad de bombeo 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVariantes MINK MV 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1402 AVVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0502 BVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0500 BVelocidad de bombeo 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1502 AVVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 5
MINK MV 0602 BVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0600 BVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 1202 BVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3MINK MV 1200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
PANDA WV 0250 CVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes PANDA WZ 0250 BVelocidad de bombeo 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes PANDA WV 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 4PUMA WY 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 0500 D2Velocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes PANDA WZ 0500 BVelocidad de bombeo 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 0700 DVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes PUMA WY 0700 CVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 1000 D2Velocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes PANDA WV 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 5PANDA WZ 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WY 1250 CVelocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 1250 D2Velocidad de bombeo 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes PANDA WV 1800 AVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 5PUMA WY 2000 CVelocidad de bombeo 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes PUMA WP 2000 D2Velocidad de bombeo 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes PANDA WV 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes 5PANDA WZ 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes PANDA WV 2200 AVelocidad de bombeo 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes PUMA WY 3600 AVelocidad de bombeo 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes PANDA WV 4500 BVelocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 4PUMA WP 4500 B2Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes PUMA WP 5400 AVelocidad de bombeo 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes PUMA WP 8100 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes PUMA WY 8000 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes PUMA WG 9600Velocidad de bombeo 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzPresión final 130 mbarPotencia nominal del motor Variantes Busch Serie R5 58 modelos
R5 PB 0003 DVelocidad de bombeo 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes R5 PB 0004 CVelocidad de bombeo 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes R5 PB 0008 CVelocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 
R5 KB 0010 EVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes 1R5 KD 0012 AVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes R5 RA 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1R5 RC 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1R5 KB 0016 EVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 1R5 KD 0020 AVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes R5 RA 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1R5 RC 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1R5 KB 0020 DVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 1
R5 RB 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 2R5 RC 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes R5 KD 0025 AVelocidad de bombeo 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes R5 KB 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 3R5 KB 0040 DVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0040 FVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 3R5 RE 0040 CVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes R5 RA 0063 FVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 3R5 RE 0063 CVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes R5 RA 0100 FVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0155 AVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes R5 RA 0165 DVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
R5 RD 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0165 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0200 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0205 DVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes R5 RD 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0205 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0240 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0255 DVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes 3R5 RD 0300 AVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0255 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0305 DVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes R5 RD 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0305 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0400 CVelocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0520 AVelocidad de bombeo 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0400 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0502 CVelocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0520 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0502 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0600 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0840 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 0840 B PLUSVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 1000 BVelocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 1000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes R5 RA 1000 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 1600 BVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 1600 A PLUSVelocidad de bombeo 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards E2M0.7Velocidad de bombeo 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 2
Edwards E2M1.5Velocidad de bombeo 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzPresión final 1,5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVariantes 4Edwards E2M2.5Velocidad de bombeo 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVariantes 2
Edwards E2M18Velocidad de bombeo 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVariantes 8
Edwards E2M28Velocidad de bombeo 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 7
Edwards E2M40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzPresión final 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 9
Edwards E2M80Velocidad de bombeo 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 9
Edwards E2M175Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzPresión final 3,3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 5
Edwards E2M275Velocidad de bombeo 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzPresión final 3,3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 5Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards E2S45Velocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards E2S65Velocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVariantes 2Edwards E2S85Velocidad de bombeo 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVariantes 2Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards EDS200Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards EDS300Velocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards EDS480Velocidad de bombeo 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 5Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards EXS160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3Edwards EXS750Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3Edwards EXS160/1750Velocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS250/2600Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS450/2600Velocidad de bombeo 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS750/2600Velocidad de bombeo 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards EXS450/4200Velocidad de bombeo 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS750/4200Velocidad de bombeo 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards EXS750/8000Velocidad de bombeo 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards Serie nXRi 5 modelos
Edwards nXR30iVelocidad de bombeo 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR40iVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR60iVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR90iVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR120iVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
DRYVAC DV 200Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 300Velocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 500Velocidad de bombeo 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzPresión final 0,01 – 0,05 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 5
DRYVAC DV 650Velocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 33DRYVAC DV 650 FPVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 8
DRYVAC DV 800Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVariantes 11DRYVAC DV 800 FP-rVelocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 1200Velocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 3DRYVAC DV 1600Velocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVariantes 1Leybold Serie DURADRY 3 modelos
DURADRY DD 160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2DURADRY DD 250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2DURADRY DD 450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 1Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
NOVADRY ND 65Velocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 3
NOVADRY ND 100Velocidad de bombeo 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 3NOVADRY ND 160Velocidad de bombeo 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 3NOVADRY ND 200Velocidad de bombeo 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
RUVAC WA 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WA 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WAU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 7Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
RUVAC WH 700Velocidad de bombeo 620 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 – 3,8 kW 50 Hz2,6 – 3,8 kW 60 HzVariantes 9
RUVAC WH 2500Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 6,2 – 11 kW 50 Hz7,4 – 11 kW 60 HzVariantes 24
RUVAC WHU 2500Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 6,2 kW 50 Hz7,4 kW 60 HzVariantes 10
RUVAC WH 4400Velocidad de bombeo 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVariantes 14
RUVAC WHU 4400Velocidad de bombeo 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 7
RUVAC WH 7000Velocidad de bombeo 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVariantes 19
RUVAC WHU 7000Velocidad de bombeo 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 3Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
RUVAC WS 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WS 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WS 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WSU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WS 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 11
RUVAC WSU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 15Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
SCREWLINE SP 630Velocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 6SCREWLINE SP 630 FVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 11Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
SOGEVAC SV 10 BVelocidad de bombeo 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzPresión final 1,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 3
SOGEVAC SV 16 DVelocidad de bombeo 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 13SOGEVAC SV 16 DIVelocidad de bombeo 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 4
SOGEVAC SV 16 BVelocidad de bombeo 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 7
SOGEVAC SV 25 BVelocidad de bombeo 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 12
SOGEVAC SV 25 DVelocidad de bombeo 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 15
SOGEVAC SV 28 BIVelocidad de bombeo 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVariantes 2SOGEVAC SV 40 BI FCVelocidad de bombeo 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 3SOGEVAC SV 55 BI²Velocidad de bombeo 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes 4
SOGEVAC SV 40 BVelocidad de bombeo 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 25
SOGEVAC SV 40 BIVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVariantes 3SOGEVAC SV 65 BI FCVelocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 2SOGEVAC SV 70 BI²Velocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes 2
SOGEVAC SV 65 BVelocidad de bombeo 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 22
SOGEVAC SV 100 BVelocidad de bombeo 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVariantes 31SOGEVAC SV 120 BI FCVelocidad de bombeo 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2
SOGEVAC SV 120 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVariantes 12
SOGEVAC SV 220 BVelocidad de bombeo 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 8
SOGEVAC SV 300 BVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes 45
SOGEVAC SV 320 BVelocidad de bombeo 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 6
SOGEVAC SV 570 BVelocidad de bombeo 470 m³/h 50 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVariantes 6
SOGEVAC SV 630 BVelocidad de bombeo 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 34
SOGEVAC SV 750 BVelocidad de bombeo 755 m³/h 50 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 HzVariantes 15Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
TRIVAC D 2,5 EVelocidad de bombeo 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVariantes 3
TRIVAC D 4 BVelocidad de bombeo 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVariantes 3TRIVAC D 4 TVelocidad de bombeo 4,3 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 5 LVelocidad de bombeo 5,1 m³/h 50 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 HzVariantes 2TRIVAC D 8 TVelocidad de bombeo 8,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 8 BVelocidad de bombeo 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVariantes 3TRIVAC D 12 LVelocidad de bombeo 12 m³/h 50 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 HzVariantes 2TRIVAC D 16 TVelocidad de bombeo 16,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 16 BVelocidad de bombeo 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVariantes 6
TRIVAC D 16 BCSVelocidad de bombeo 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 25 BVelocidad de bombeo 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVariantes 4
TRIVAC D 25 BCSVelocidad de bombeo 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 30 TVelocidad de bombeo 30,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 40 BVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 40 BCSVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 40 LVelocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVariantes 4TRIVAC D 63 LVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVariantes 4
TRIVAC D 65 BVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1
TRIVAC D 65 BCSVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 90 LVelocidad de bombeo 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVariantes 3Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
A 124 HVelocidad de bombeo 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 204 H/XVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 604 HVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 804 H/XVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1204 HVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1504 H/XVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1804 H/XVelocidad de bombeo 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1504 XNVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1804 XNVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 3004 H/XVelocidad de bombeo 3.000 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 3004 XNVelocidad de bombeo 2.900 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 804 XNVelocidad de bombeo 600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
ACP 15Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes 9ACP 28Velocidad de bombeo 27 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 14ACP 40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 15ACP 90Velocidad de bombeo 88 m³/h 50 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 6Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
DuoVane 1.6Velocidad de bombeo 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 9DuoVane 3Velocidad de bombeo 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVariantes 10DuoVane 6Velocidad de bombeo 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 2DuoVane 12Velocidad de bombeo 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 5DuoVane 18Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 2DuoVane 22Velocidad de bombeo 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 5DuoVane 30Velocidad de bombeo 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1DuoVane 36Velocidad de bombeo 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVariantes 11DuoVane 70Velocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 13DuoVane 95Velocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 1DuoVane 135Velocidad de bombeo 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVariantes 3DuoVane 300Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 3Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
HiLobe 1002Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 1004Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 1302Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 1304Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 2104Velocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 2703Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 2704Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 4504Velocidad de bombeo 4.440 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 4503Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 6203Velocidad de bombeo 6.200 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 6204Velocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 8103Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 8104Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 11003Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 11004Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 14003Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 14004Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
HiScroll 6Velocidad de bombeo 6,1 m³/h 50 HzPresión final 0,015 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7HiScroll 12Velocidad de bombeo 12,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7HiScroll 18Velocidad de bombeo 18,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11HiScroll 46Velocidad de bombeo 43 m³/h 50 HzPresión final 7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
TORRI BD 0100 AVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 0300 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 0600 AVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes Ningún modelo coincide con estos filtros.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Sectores
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Recubrimiento y capa fina
Busch, Edwards, Leybold y Pfeiffer Vacuum describen el recubrimiento como un sector propio: PVD, CVD, PECVD y ALD para capas ópticas, decorativas, de protección contra el desgaste, de vidrio, de pantallas y solares. Leybold, con SOGEVAC, TRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY, NOVADRY y RUVAC; Pfeiffer Vacuum, con A4, ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll y TORRI; Busch, con R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA; Edwards, con EDS, EXS, E2S, E2M y nXRi.
Semiconductores, electrónica y pantallas
Para la deposición de películas finas, Pfeiffer Vacuum menciona PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/difusión y MBE con la serie A4: ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar con 1800 a 4500 m³/h, MBE a unos 10⁻¹¹ hPa; Busch enumera ALD, LPCVD/difusión, PECVD y PVD con la serie COBRA Semicon.
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Solar y fotovoltaica
Atlas Copco menciona la pulverización catódica, el CVD y el PVD, así como el encapsulado frente al oxígeno y la humedad; Busch, CVD/PECVD para capas antirreflectantes con COBRA DS y PVD con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY; Leybold, capas TCO por PVD, CIGS/CdTe y CVD en HJT en instalaciones en línea con ciclos cortos, con DRYVAC y RUVAC.
Ingeniería mecánica y fabricación
Edwards menciona el tratamiento por plasma (encendido del plasma para la activación y la limpieza de superficies) con E2S, E2M FX y nXRi, así como bomba de tornillo más bomba Roots; según Leybold, los gases de proceso se convierten en plasma en el vacío para recubrir, limpiar, activar y grabar, con TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE, DURADRY y DRYVAC.
Metalurgia y tratamiento térmico
Busch menciona el recubrimiento en la metalurgia con COBRA, PANDA y PUMA; Pfeiffer Vacuum, capas duras sobre herramientas de estampado y de fundición a presión.
Investigación, laboratorio y análisis
Busch menciona el recubrimiento en análisis y laboratorio con COBRA, R5 y PANDA/PUMA; Edwards, recubrimientos experimentales en condiciones reproducibles con bombas de vacío de paletas rotativas; Leybold, la fabricación de capas finas con MBE y ALD, en la que la pureza es decisiva.
Automoción y transporte
Busch menciona capas funcionales y protectoras, por ejemplo sobre placas bipolares; en sus páginas de producto, Atlas Copco enumera el recubrimiento en el sector de la automoción con DWS 200–500, y Edwards, el recubrimiento en automoción con EDS.
Hidrógeno y pilas de combustible
Leybold menciona el recubrimiento PVD de placas bipolares: en las pilas de combustible, la capa protege contra la corrosión con buena conductividad; en los electrolizadores, se aplican en vacío capas protectoras y catalizadoras.
Aeroespacial
Atlas Copco menciona el recubrimiento al vacío en la industria aeroespacial: alto vacío para capas uniformes y adherentes.
Química
Elmo Rietschle enumera el recubrimiento entre sus aplicaciones para la industria química, sin describirlo con más detalle.
Preguntas frecuentes
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): preguntas frecuentes
¿Cómo funciona el recubrimiento al vacío?
La cámara con el sustrato se evacúa y después se aplica la capa. En el PVD, el material se evapora o se pulveriza y, según Edwards, se condensa en alto vacío sobre el sustrato; en el CVD, un gas reacciona sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar. Según Atlas Copco, el vacío garantiza capas uniformes y adherentes; según Busch, las superficies se recubren en una cámara de vacío limpia.
¿Qué diferencia hay entre PVD y CVD?
El PVD (deposición física en fase vapor) evapora o pulveriza un material sólido que se deposita sobre el sustrato: según Edwards, evaporación y condensación en alto vacío; según Leybold, entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar. En el CVD (deposición química en fase vapor), los gases de proceso reaccionan sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar; el ALD funciona, según Pfeiffer Vacuum, entre 10⁻¹ y 5 mbar. Para el CVD y el ALD, Pfeiffer Vacuum menciona subproductos corrosivos o pulverulentos.
¿Cuánto vacío necesita un recubrimiento PVD?
Leybold indica 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas, 10⁻² a 10⁻³ mbar para capas ópticas multicapa, 10⁻² a 10⁻³ mbar para el funcionamiento de instalaciones de recubrimiento de vidrio y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para el recubrimiento rollo a rollo. Edwards describe el PVD como evaporación y condensación en alto vacío; Atlas Copco menciona el alto vacío para capas uniformes y adherentes.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento PVD?
Para capas PVD, Leybold menciona DRYVAC, SCREWLINE y SOGEVAC con RUVAC como bombas previas, además de VARODRY y POWER BOOST; Pfeiffer Vacuum menciona A4 y TORRI para PVD, y ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll para capas de color PVD decorativas; Busch menciona para PVD COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY, así como la serie COBRA Semicon. Para el alto vacío, Edwards menciona bombas previas junto con bombas turbomoleculares o criogénicas.
¿Qué bomba de vacío para CVD, PECVD y ALD?
Para PECVD/SACVD, ALD y LPCVD/difusión, Pfeiffer Vacuum menciona la serie A4, para ALD con 1800 a 4500 m³/h entre 10⁻¹ y 5 mbar; Busch enumera ALD, LPCVD/difusión y PECVD con la serie COBRA Semicon, y CVD/PECVD para capas antirreflectantes con COBRA DS; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar con EXS; Atlas Copco menciona el recubrimiento duro por CVD/DLC con DWS VSD+.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para el recubrimiento al vacío?
Los fabricantes mencionan ambas. Leybold enumera, junto a las secas DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY y NOVADRY, las lubricadas con aceite SOGEVAC y TRIVAC; Atlas Copco, las secas DWS y DWS VSD+ al igual que las lubricadas con aceite GVD y GLS; Busch, la lubricada con aceite R5 junto a las secas COBRA y MINK. Para el recubrimiento de vidrio, Edwards menciona las bombas de tornillo secas EDS y EXS, y para el tratamiento por plasma también E2S y E2M FX. Para procesos de plasma, Leybold menciona bombas con llenado de PFPE (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE).
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento de vidrio?
Leybold describe el recubrimiento de vidrio de arquitectura y de automoción como pulverización catódica PVD de capas multicapa, en la que las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; se mencionan SCREWLINE, DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC, además de POWER BOOST, así como TURBOVAC, COOLVAC y DIJ/DIP para el alto vacío. Edwards menciona EDS y EXS para ciclos de bombeo rápidos; Atlas Copco, DWS, DWS VSD+ y GLS para el recubrimiento de vidrio de gran superficie; Pfeiffer Vacuum, ACP 120 y HiLobe para capas Low-E, de control solar y AR en línea; Busch, COBRA, PANDA y R5.
¿Qué bomba de vacío para recubrimientos de protección contra el desgaste y decorativos?
Leybold menciona capas finas duras y decorativas sobre herramientas y piezas de metal y de plástico entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar con DRYVAC, SCREWLINE y SOGEVAC más RUVAC; Pfeiffer Vacuum, capas duras como TiN y DLC sobre herramientas con DuoVane (además COMBI, HiLobe, HiScroll) y capas de color PVD como TiN y ZrN con ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch, la protección contra el desgaste con COBRA, PANDA/PUMA y R5 y el recubrimiento decorativo, además, con MINK; Atlas Copco, el recubrimiento duro por CVD/DLC con DWS VSD+.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento rollo a rollo y de bandas?
Leybold describe el recubrimiento de bandas flexibles por PVD, PECVD o evaporación entre 10⁻¹ y 10⁻³ mbar y menciona para ello bombas selladas con aceite, de difusión e industriales secas, bombas Roots y criogénicas, así como las bombas turbomoleculares TURBOVAC i. Atlas Copco menciona DWS VSD+ para el recubrimiento de rodillos y de bandas; Edwards, EXS para el recubrimiento de bandas y la proyección por plasma.
¿Qué hacer si los gases de proceso atacan la bomba de vacío?
Para CVD y ALD, Pfeiffer Vacuum menciona subproductos corrosivos o pulverulentos: un separador o filtro delante de la bomba retiene el polvo. Para procesos de plasma, Leybold menciona versiones como TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY y DRYVAC; para el tratamiento por plasma y la activación de superficies, Atlas Copco menciona GVD y DWS VSD+, y Edwards, E2S, E2M FX y nXRi.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
