COBRA DS 0160 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA DS 0160 G es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 140 m³/h (50 Hz) o 160 m³/h (60 Hz) y una presión final de 0,03 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

Solicitar presupuesto para este producto Leer más

Velocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz 160 m³/h 60 Hz
Presión final 0,03 mbar
Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz 6,6 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800253
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800254
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800814

Busch COBRA DS 0160 G – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 0160 G es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 140 m³/h (50 Hz) o 160 m³/h (60 Hz) y la presión final, de 0,03 mbar. Potencia nominal del motor 5,5 kW (50 Hz) o 6,6 kW (60 Hz).

Características

Potente: diseño de tornillo, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua, alto caudal de hidrógeno
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente

Aplicaciones típicas

Busch indica: Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros).

Versiones de la Busch COBRA DS 0160 G

Las 3 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	140
Velocidad de bombeo 60Hz	160
Presión final	0,03
Potencia nominal del motor 50Hz	5,5
Potencia nominal del motor 60Hz	6,6
Peso	338
Longitud	97,5
Anchura	42,5
Altura	69,7
Brida de conexión de entrada	DN 50
Brida de conexión de salida	DN 40
Nivel de ruido	68 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	140 m³/h (50 Hz) / 160 m³/h (60 Hz)
Presión final	0,03 mbar
Potencia nominal del motor	5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz)
Velocidad de giro nominal	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Consumo de potencia a presión final	4,3 kW (50 Hz) / 5,2 kW (60 Hz)
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 68 dB(A)
Consumo de agua	4,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 75 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	975 × 425 × 697 mm
Peso (aprox.)	338 kg
Entrada de gas	DN 50
Salida de gas	DN 40