COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Velocidad de bombeo nominal von 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz) und einem Presión final von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Velocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz 1.640 m³/h 60 Hz
- Presión final 3 × 10-3 mbar
- Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz 13,2 kW 60 Hz
| Variante | Número de pieza |
|---|---|
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido (seleccionada) | 1361800264 |
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido | 1361800265 |
Busch COBRA DS 2000 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz), der Presión final 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 11 kW (50 Hz) bzw. 13,2 kW (60 Hz).Características
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Refrigeración por agua, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Aplicaciones típicas
Busch nennt: Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.); Solar (Zellproduktion, Kristallziehen).Versiones der Busch COBRA DS 2000 G
Die 2 Versiones unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipamiento; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 1.365 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 1.640 |
| Presión final | 3 × 10-3 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 11 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 13,2 |
| Peso | 668 |
| Longitud | 106,3 |
| Anchura | 46,5 |
| Altura | 106,9 |
| Brida de conexión de entrada | DN 160 |
| Brida de conexión de salida | DN 40 |
| Nivel de ruido | 68 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 1365 m³/h (50 Hz) / 1640 m³/h (60 Hz) |
| Presión final | 0,003 mbar |
| Potencia nominal del motor Vorpumpe | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Potencia nominal del motor Vakuum-Booster | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Velocidad nominal Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Velocidad nominal Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Consumo de potencia a presión final | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Consumo de potencia en vacío | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 68 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 5,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 75 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 1063 × 465 × 1069 mm |
| Peso (aprox.) | 668 kg |
| Entrada de gas | DN 160 |
| Salida de gas | DN 40 |
COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/hPresión final 0,01 mbarCOBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3181 CVelocidad de bombeo 3.500 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbar