COBRA DS 2000 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

Número de pieza: 1361800264 Serie: Serie COBRA Semicon Fabricante: Busch Tecnología: Bombas de vacío de tornillo

La Busch COBRA DS 2000 G es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 1365 m³/h (50 Hz) o 1640 m³/h (60 Hz) y una presión final de 0,003 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz 1.640 m³/h 60 Hz
Presión final 3 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz 13,2 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800264
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800265

Busch COBRA DS 2000 G – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 2000 G es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 1365 m³/h (50 Hz) o 1640 m³/h (60 Hz) y la presión final, de 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 11 kW (50 Hz) o 13,2 kW (60 Hz).

Características

Potente: diseño de tornillo con booster de vacío integrado, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua, alto caudal de hidrógeno
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común

Aplicaciones típicas

Busch indica: Pantallas (deposición física en fase vapor (PVD)); Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros); Solar (producción de células, crecimiento de cristales).

Versiones de la Busch COBRA DS 2000 G

Las 2 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	1.365
Velocidad de bombeo 60Hz	1.640
Presión final	3 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	11
Potencia nominal del motor 60Hz	13,2
Peso	668
Longitud	106,3
Anchura	46,5
Altura	106,9
Brida de conexión de entrada	DN 160
Brida de conexión de salida	DN 40
Nivel de ruido	68 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	1365 m³/h (50 Hz) / 1640 m³/h (60 Hz)
Presión final	0,003 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz)
Potencia nominal del motor del booster de vacío	5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz)
Velocidad nominal de la bomba previa	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Velocidad nominal del booster de vacío	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Consumo de potencia a presión final	5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz)
Consumo de potencia en vacío	5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz)
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 68 dB(A)
Consumo de agua	5,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 75 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1063 × 465 × 1069 mm
Peso (aprox.)	668 kg
Entrada de gas	DN 160
Salida de gas	DN 40