COBRA BC 0601 GPumping speed 550 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 G Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz) und einem Ultimate pressure von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Pumping speed 1,365 m³/h 50 Hz 1,640 m³/h 60 Hz
- Ultimate pressure 3 × 10-3 mbar
- Rated motor power 11 kW 50 Hz 13.2 kW 60 Hz
| Variant | Part number |
|---|---|
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected) | 1361800264 |
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request | 1361800265 |
Busch COBRA DS 2000 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 2000 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 1365 m³/h (50 Hz) bzw. 1640 m³/h (60 Hz), der Ultimate pressure 0,003 mbar. Rated motor power 11 kW (50 Hz) bzw. 13,2 kW (60 Hz).Features
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Water cooling, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Typical applications
Busch nennt: Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.); Solar (Zellproduktion, Kristallziehen).Versions der Busch COBRA DS 2000 G
Die 2 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Advice and service
Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.| Pumping speed 50Hz | 1,365 |
|---|---|
| Pumping speed 60Hz | 1,640 |
| Ultimate pressure | 3 × 10-3 |
| Rated motor power 50Hz | 11 |
| Rated motor power 60Hz | 13.2 |
| Weight | 668 |
| Length | 106.3 |
| Width | 46.5 |
| Height | 106.9 |
| Inlet connection flange | DN 160 |
| Outlet connection flange | DN 40 |
| Noise level | 68 dB(A) |
| Cooling method | Water cooling |
| Oil type | Oil-free |
Additional technical data
| Technical data | Value |
|---|---|
| Nominal pumping speed | 1365 m³/h (50 Hz) / 1640 m³/h (60 Hz) |
| Ultimate pressure | 0,003 mbar |
| Rated motor power Vorpumpe | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Rated motor power Vakuum-Booster | 5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz) |
| Nominal speed Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Nominal speed Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Power consumption at ultimate pressure | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Power consumption at idle | 5,6 kW (50 Hz) / 6,8 kW (60 Hz) |
| Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 68 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 5,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 75 l/min |
| Dimensions (L × W × H) | 1063 × 465 × 1069 mm |
| Weight (approx.) | 668 kg |
| Gas inlet | DN 160 |
| Gas outlet | DN 40 |
COBRA BC 0601 GPumping speed 550 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 EPumping speed 600 m³/hUltimate pressure 0.01 mbarCOBRA DS 1000 GPumping speed 775 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GPumping speed 870 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 APumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XPumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GPumping speed 3,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CPumping speed 3,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3181 CPumping speed 3,500 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BPumping speed 4,300 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar