COBRA DS 0080 GPumping speed 70 m³/hUltimate pressure 0.03 mbar
COBRA DS 0600 E Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 600 m³/h und einem Ultimate pressure von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Pumping speed 600 m³/h 50 Hz 600 m³/h 60 Hz
- Ultimate pressure 0.01 mbar
- Rated motor power 15 kW 50 Hz 15 kW 60 Hz
| Variant | Part number |
|---|---|
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected) | 1361800185 |
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request | 1361800189 |
Busch COBRA DS 0600 E – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 600 m³/h, der Ultimate pressure 0,01 mbar. Rated motor power 15 kW.Features
- Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Water cooling, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor
Typical applications
Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).Accessories
- Tantalbeschichtung für raue Einsatzbedingungen
Versions der Busch COBRA DS 0600 E
Die 2 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Advice and service
Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.| Pumping speed 50Hz | 600 |
|---|---|
| Pumping speed 60Hz | 600 |
| Ultimate pressure | 0.01 |
| Rated motor power 50Hz | 15 |
| Rated motor power 60Hz | 15 |
| Weight | 745 |
| Length | 165.4 |
| Width | 60 |
| Height | 74.7 |
| Inlet connection flange | DN 100 |
| Outlet connection flange | DN 63 |
| Noise level | 70 dB(A) |
| Cooling method | Water cooling |
| Oil type | Oil-free |
Additional technical data
| Technical data | Value |
|---|---|
| Nominal pumping speed | 600 m³/h |
| Ultimate pressure | 0,01 mbar |
| Rated motor power | 15 kW |
| Nominal speed | 3600 min⁻¹ |
| Power consumption at ultimate pressure | 9 kW |
| Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 70 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 6 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Dimensions (L × W × H) | 1654 × 600 × 747 mm |
| Weight (approx.) | 745 kg |
| Gas inlet | DN 100 |
| Gas outlet | DN 63 |
COBRA DS 0080 GPumping speed 70 m³/hUltimate pressure 0.03 mbarCOBRA BA 0100 CPumping speed 85 m³/hUltimate pressure 0.01 mbarCOBRA BC 0101 GPumping speed 90 m³/hUltimate pressure 0.01 mbarCOBRA DS 0160 GPumping speed 140 m³/hUltimate pressure 0.03 mbarCOBRA DS 0700 GPumping speed 500 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 0601 GPumping speed 550 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1000 GPumping speed 775 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GPumping speed 870 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GPumping speed 1,365 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 APumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar