COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbar
COBRA DS 0600 E Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Velocidad de bombeo nominal von 600 m³/h und einem Presión final von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Velocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz 600 m³/h 60 Hz
- Presión final 0,01 mbar
- Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz 15 kW 60 Hz
| Variante | Número de pieza |
|---|---|
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido (seleccionada) | 1361800185 |
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido | 1361800189 |
Busch COBRA DS 0600 E – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 600 m³/h, der Presión final 0,01 mbar. Potencia nominal del motor 15 kW.Características
- Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Refrigeración por agua, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor
Aplicaciones típicas
Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).Accesorios
- Tantalbeschichtung für raue Einsatzbedingungen
Versiones der Busch COBRA DS 0600 E
Die 2 Versiones unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipamiento; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 600 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 600 |
| Presión final | 0,01 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 15 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 15 |
| Peso | 745 |
| Longitud | 165,4 |
| Anchura | 60 |
| Altura | 74,7 |
| Brida de conexión de entrada | DN 100 |
| Brida de conexión de salida | DN 63 |
| Nivel de ruido | 70 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 600 m³/h |
| Presión final | 0,01 mbar |
| Potencia nominal del motor | 15 kW |
| Velocidad nominal | 3600 min⁻¹ |
| Consumo de potencia a presión final | 9 kW |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 70 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 6 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 1654 × 600 × 747 mm |
| Peso (aprox.) | 745 kg |
| Entrada de gas | DN 100 |
| Salida de gas | DN 63 |
COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbarCOBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/hPresión final 0,01 mbarCOBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/hPresión final 0,01 mbarCOBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/hPresión final 0,03 mbarCOBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar