COBRA DS 0600 E Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

Número de pieza: 1361800185 Serie: Serie COBRA Semicon Fabricante: Busch Tecnología: Bombas de vacío de tornillo

La Busch COBRA DS 0600 E es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 600 m³/h y una presión final de 0,01 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz 600 m³/h 60 Hz
Presión final 0,01 mbar
Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz 15 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800185
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800189

Busch COBRA DS 0600 E – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 0600 E es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 600 m³/h y la presión final, de 0,01 mbar. Potencia nominal del motor 15 kW.

Características

Potente: diseño de tornillo, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua, alto caudal de hidrógeno
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente

Aplicaciones típicas

Busch indica: Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros).

Accesorios

Recubrimiento de tántalo para condiciones de uso exigentes

Versiones de la Busch COBRA DS 0600 E

Las 2 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	600
Velocidad de bombeo 60Hz	600
Presión final	0,01
Potencia nominal del motor 50Hz	15
Potencia nominal del motor 60Hz	15
Peso	745
Longitud	165,4
Anchura	60
Altura	74,7
Brida de conexión de entrada	DN 100
Brida de conexión de salida	DN 63
Nivel de ruido	70 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	600 m³/h
Presión final	0,01 mbar
Potencia nominal del motor	15 kW
Velocidad de giro nominal	3600 min⁻¹
Consumo de potencia a presión final	9 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 70 dB(A)
Consumo de agua	6 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 200 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1654 × 600 × 747 mm
Peso (aprox.)	745 kg
Entrada de gas	DN 100
Salida de gas	DN 63