Sector
Bombas de vacío para recubrimiento y capas finas
Las capas finas se forman en vacío: en la pulverización catódica y la evaporación PVD, en CVD, PECVD y ALD y en el tratamiento por plasma, la cámara se evacúa primero y después se mantiene a la presión de proceso – según Leybold, 10⁻² a 10⁻³ mbar en capas ópticas y hasta 10⁻⁶ mbar en capas de protección contra el desgaste y decorativas. En las instalaciones de vidrio y de pantallas, las bombas previas evacúan además las esclusas en ciclos. A continuación puede ver qué series indican los propios fabricantes para estas tareas: 368 modelos de 4 fabricantes.
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- 368Modelos
- 29Series
- 4Fabricantes
- 7Aplicaciones
En resumen
Recubrimiento y capa fina: bombas de vacío – lo esencial
- Presión de procesoLeybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para recubrimientos ópticos y 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para la protección contra el desgaste y las capas decorativas; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar; Pfeiffer Vacuum, ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar.
- Ciclo de esclusaEn el recubrimiento de vidrio de arquitectura y de automoción, según Leybold, las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; para el recubrimiento de vidrio, Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos con EDS y EXS.
- Velocidad de bombeoPara el recubrimiento, Leybold menciona bombas Roots RUVAC de 250–7000 m³/h y bombas de paletas rotativas SOGEVAC de 16–750 m³/h; para instalaciones ALD, Pfeiffer Vacuum indica 1800–4500 m³/h.
- Vacío limpioPfeiffer Vacuum menciona un vacío limpio para PVD, CVD/PECVD y ALD en instalaciones por lotes y en línea; Busch, el recubrimiento en una cámara de vacío limpia; Edwards, el vapor que llega puro al sustrato – en CVD y ALD, según Pfeiffer Vacuum, los subproductos son corrosivos o pulverulentos.
Aplicaciones
Recubrimiento y capa fina: para qué se usan las bombas de vacío
Para cada aplicación: qué aporta el vacío y qué series indican los fabricantes para ella. Los datos proceden de las páginas de los propios fabricantes.
PVD: protección contra el desgaste y capas decorativas
En el PVD, los materiales se evaporan o se pulverizan y se condensan en alto vacío sobre la pieza. Leybold menciona capas finas duras y decorativas sobre herramientas y piezas de metal y de plástico entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar, con DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC como bombas previas (además VARODRY, SCREWLINE y POWER BOOST); Pfeiffer Vacuum menciona capas duras como TiN y DLC sobre herramientas de estampado y de fundición a presión, así como capas de color PVD como TiN y ZrN, con ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch menciona la protección contra el desgaste y el recubrimiento decorativo con R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA. Edwards describe el PVD como evaporación y condensación en alto vacío con una bomba previa más una bomba turbomolecular o criogénica. Leybold y Busch mencionan como otro ejemplo las capas protectoras sobre placas bipolares para pilas de combustible y electrolizadores.
- LeyboldSOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE menciona además VARODRY y POWER BOOST
- Pfeiffer VacuumACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll, A4, TORRI
- BuschR5, MINK, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- EdwardsGXS, EDS, EXS, nES, E2M, EH menciona para PVD una bomba previa más una bomba turbomolecular o criogénica; las series proceden de su página sobre el recubrimiento de capa fina
Más sobre PVD: protección contra el desgaste y capas decorativas →
Recubrimiento óptico
Según Leybold, los recubrimientos multicapa antirreflectantes y resistentes al rayado se obtienen por PVD o evaporación en instalaciones por lotes entre 10⁻² y 10⁻³ mbar; se mencionan TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC y SCREWLINE, así como VARODRY. Pfeiffer Vacuum menciona capas antirreflectantes, de espejo y de filtro con ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch, el recubrimiento óptico con R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA. Edwards menciona capas táctiles, antirreflectantes y antirrayado sobre dispositivos móviles con bombas de tornillo secas y boosters.
- LeyboldTRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE menciona además VARODRY
- Pfeiffer VacuumACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll
- BuschR5, MINK, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- Edwardsmenciona bombas de tornillo secas y boosters para el recubrimiento de dispositivos móviles, sin serie
Recubrimiento de vidrio: vidrio de arquitectura, de automoción y Low-E
Según Leybold, sobre el vidrio de arquitectura y de automoción se depositan capas multicapa por pulverización catódica PVD; las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar, y el proceso funciona entre 10⁻² y 10⁻³ mbar. Según Leybold, una capa Low-E refleja la energía solar con plena transparencia. Pfeiffer Vacuum menciona capas Low-E, de control solar y AR en línea con ACP y HiLobe; Edwards, ciclos de bombeo rápidos con EDS y EXS; Busch, el recubrimiento de vidrio con R5, COBRA y PANDA/PUMA.
- LeyboldSOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE menciona además POWER BOOST
- Pfeiffer VacuumACP, HiLobe
- EdwardsEDS, EXS
- BuschR5, COBRA Industry, PANDA/PUMA
CVD, PECVD y ALD
En el CVD, los gases reaccionan sobre el sustrato; en el ALD, capa a capa. Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar con EXS; Pfeiffer Vacuum menciona PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/difusión y MBE con A4 y A4H, y ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar con 1800–4500 m³/h – los subproductos son corrosivos o pulverulentos. Busch menciona CVD/PECVD, por ejemplo capas antirreflectantes en células solares, con COBRA DS; Leybold menciona CVD en células solares HJT en instalaciones en línea con ciclos cortos, con DRYVAC y RUVAC, y para MBE y ALD la pureza en la formación de la capa.
- EdwardsEXS
- Pfeiffer VacuumA4
- BuschCOBRA Semicon
- LeyboldDRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU menciona además POWERBOOST
Recubrimiento rollo a rollo, de bandas y de pantallas
Según Leybold, las bandas flexibles se recubren por PVD, PECVD o evaporación entre 10⁻¹ y 10⁻³ mbar; para pantallas (LCD, OLED), Leybold menciona esclusas con ciclos de bombeo muy cortos. Como bombas, Leybold menciona para ello bombas turbomoleculares, criogénicas, selladas con aceite, de difusión e industriales secas, así como bombas Roots, sin especificar ninguna serie. Edwards menciona el recubrimiento de bandas y la proyección por plasma para EXS.
- Leyboldmenciona tipos de bomba, ninguna serie
- EdwardsEXS
Tratamiento por plasma y parileno
Según Leybold, en el vacío los gases de proceso se convierten en plasma, que recubre, limpia, activa o graba; se mencionan versiones PFPE de TRIVAC B y RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY y DRYVAC. Edwards menciona el encendido del plasma para la activación y la limpieza de superficies con bomba de tornillo más Roots, E2S, E2M FX y nXRi. Según Leybold, el parileno se aplica por pirólisis en vacío como película sin poros; para ello Leybold menciona NOVADRY, NOVADRY NDi, SCREWLINE SP y bombas Roots.
- LeyboldTRIVAC, DURADRY, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, NOVADRY, SCREWLINE menciona además VARODRY HD O2
- EdwardsE2S, E2M, nXRi
- Pfeiffer Vacuumindica PECVD sin serie
Recubrimiento en laboratorio y en ensayos
Para ensayos rápidos de I+D con evaporación, pulverización catódica y ALD, Pfeiffer Vacuum menciona A4, ACP, DuoVane, HiScroll y TORRI. Para recubrimientos experimentales, Edwards menciona bombas de paletas rotativas y condiciones reproducibles; Busch menciona el recubrimiento en análisis e I+D con R5, COBRA y PANDA/PUMA.
- Pfeiffer VacuumA4, ACP, DuoVane, HiScroll, TORRI
- Edwardsmenciona bombas de paletas rotativas sin serie
- BuschR5, COBRA Industry, PANDA/PUMA
Fabricantes y series
Recubrimiento y capa fina: 4 fabricantes, 29 series
Se indican las series que el propio fabricante menciona para este sector. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Busch
174 modelos · 3–12.000 m³/h
Edwards
54 modelos · 0,75–5.760 m³/h
Leybold
84 modelos · 2,7–4.700 m³/h
Pfeiffer Vacuum
56 modelos · 1,25–13.540 m³/h
Resumen de productos
Recubrimiento y capa fina: los 368 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0950 AVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1500 B VRVelocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 2000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 2500 CVelocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 2000 C VRVelocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 2760 AVelocidad de bombeo 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 2780 AVelocidad de bombeo 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 4560 AVelocidad de bombeo 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 4580 AVelocidad de bombeo 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 6260 AVelocidad de bombeo 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DH 6280 AVelocidad de bombeo 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 3
COBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
COBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3181 CVelocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8161 FVelocidad de bombeo 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 9161 BVelocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8162 FVelocidad de bombeo 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVariantes 
COBRA DS 8163 BVelocidad de bombeo 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVariantes Busch Serie MINK 32 modelos
MINK MB 0018 AVelocidad de bombeo 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzPresión final 600 mbarPotencia nominal del motor 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MI 2124 BVVelocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 0060 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MM 0084 AVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes MINK MM 1104 BVVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 10
MINK MM 1104 CVMVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 1,3 kW 50 HzVariantes 
MINK MM 0104 AVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1144 BVVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes 
MINK MM 0142 AVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1102 BVVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 6
MINK MM 1102 CVMVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 HzVariantes 
MINK MI 2122 BVVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 0182 AVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1142 BVVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 13
MINK MM 1324 AVVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2
MINK MM 1202 AVVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 11
MINK MM 1252 AVVelocidad de bombeo 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 8MINK MW 0332 BVelocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,8 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 0312 BVelocidad de bombeo 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 4
MINK MM 1322 AVVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVariantes 10
MINK MV 0310 BVelocidad de bombeo 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVariantes MINK MV 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1402 AVVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0502 BVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0500 BVelocidad de bombeo 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
MINK MM 1502 AVVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 5
MINK MV 0602 BVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0600 BVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
MINK MV 1202 BVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3MINK MV 1200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
PANDA WV 0250 CVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes PANDA WZ 0250 BVelocidad de bombeo 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes PANDA WV 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 4PUMA WY 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 0500 D2Velocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes PANDA WZ 0500 BVelocidad de bombeo 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 0700 DVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes PUMA WY 0700 CVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 1000 D2Velocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes PANDA WV 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 5PANDA WZ 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WY 1250 CVelocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes PUMA WP 1250 D2Velocidad de bombeo 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes PANDA WV 1800 AVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 5PUMA WY 2000 CVelocidad de bombeo 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes PUMA WP 2000 D2Velocidad de bombeo 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes PANDA WV 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes 5PANDA WZ 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes PANDA WV 2200 AVelocidad de bombeo 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes PUMA WY 3600 AVelocidad de bombeo 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes PANDA WV 4500 BVelocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 4PUMA WP 4500 B2Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes PUMA WP 5400 AVelocidad de bombeo 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes PUMA WP 8100 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes PUMA WY 8000 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes PUMA WG 9600Velocidad de bombeo 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzPresión final 130 mbarPotencia nominal del motor Variantes Busch Serie R5 58 modelos
R5 PB 0003 DVelocidad de bombeo 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes R5 PB 0004 CVelocidad de bombeo 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes R5 PB 0008 CVelocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 
R5 KB 0010 EVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes 1R5 KD 0012 AVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes R5 RA 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1R5 RC 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1R5 KB 0016 EVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 1R5 KD 0020 AVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes R5 RA 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1R5 RC 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1R5 KB 0020 DVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 1
R5 RB 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 2R5 RC 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes R5 KD 0025 AVelocidad de bombeo 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes R5 KB 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 3R5 KB 0040 DVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0040 FVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 3R5 RE 0040 CVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes R5 RA 0063 FVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 3R5 RE 0063 CVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes R5 RA 0100 FVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0155 AVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes R5 RA 0165 DVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
R5 RD 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0165 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0200 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0205 DVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes R5 RD 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0205 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0240 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0255 DVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes 3R5 RD 0300 AVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0255 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0305 DVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes R5 RD 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0305 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0400 CVelocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 3R5 RA 0520 AVelocidad de bombeo 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0400 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0502 CVelocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 0520 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0502 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0600 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2R5 RA 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 0840 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 0840 B PLUSVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes R5 RA 1000 BVelocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 1000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes R5 RA 1000 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor Variantes R5 RA 1600 BVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 1R5 RA 1600 A PLUSVelocidad de bombeo 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards E2M0.7Velocidad de bombeo 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 2
Edwards E2M1.5Velocidad de bombeo 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzPresión final 1,5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVariantes 4Edwards E2M2.5Velocidad de bombeo 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVariantes 2
Edwards E2M18Velocidad de bombeo 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVariantes 8
Edwards E2M28Velocidad de bombeo 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 7
Edwards E2M40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzPresión final 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 9
Edwards E2M80Velocidad de bombeo 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 – 0,01 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 9
Edwards E2M175Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzPresión final 3,3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 5
Edwards E2M275Velocidad de bombeo 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzPresión final 3,3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 5Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards E2S45Velocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards E2S65Velocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVariantes 2Edwards E2S85Velocidad de bombeo 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVariantes 2Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards EDS200Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards EDS300Velocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards EDS480Velocidad de bombeo 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 5Edwards Serie EH 5 modelos
Edwards EH250Velocidad de bombeo 310 m³/h 50 Hz375 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 8
Edwards EH500Velocidad de bombeo 505 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 8
Edwards EH1200Velocidad de bombeo 1.195 m³/h 50 Hz1.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 8
Edwards EH2600Velocidad de bombeo 2.590 m³/h 50 Hz3.110 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 8
Edwards EH4200Velocidad de bombeo 4.140 m³/h 50 Hz4.985 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 8Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards EXS160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3Edwards EXS750Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3Edwards EXS160/1750Velocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS250/2600Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS450/2600Velocidad de bombeo 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS750/2600Velocidad de bombeo 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards EXS450/4200Velocidad de bombeo 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards EXS750/4200Velocidad de bombeo 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards EXS750/8000Velocidad de bombeo 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1Edwards Serie GXS 10 modelos
Edwards GXS160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 12Edwards GXS250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards GXS450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 8Edwards GXS750Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 12Edwards GXS160/1750Velocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 11Edwards GXS250/2600Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 10Edwards GXS450/2600Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 9Edwards GXS750/2600Velocidad de bombeo 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 8Edwards GXS450/4200Velocidad de bombeo 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 9Edwards GXS750/4200Velocidad de bombeo 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 10Edwards Serie nES 8 modelos
Edwards nES40Velocidad de bombeo 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,3 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVariantes 3Edwards nES65Velocidad de bombeo 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,8 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 3Edwards nES100Velocidad de bombeo 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVariantes 4Edwards nES220Velocidad de bombeo 179 m³/h 50 Hz214 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 2Edwards nES300Velocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3Edwards nES300SVelocidad de bombeo 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVariantes 2Edwards nES630Velocidad de bombeo 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 5Edwards nES750Velocidad de bombeo 755 m³/h 50 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 HzVariantes 4Edwards Serie nXRi 5 modelos
Edwards nXR30iVelocidad de bombeo 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR40iVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR60iVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR90iVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Edwards nXR120iVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
DRYVAC DV 200Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 300Velocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 500Velocidad de bombeo 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzPresión final 0,01 – 0,05 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 5
DRYVAC DV 650Velocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 33DRYVAC DV 650 FPVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 8
DRYVAC DV 800Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVariantes 11DRYVAC DV 800 FP-rVelocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVariantes 4
DRYVAC DV 1200Velocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 3DRYVAC DV 1600Velocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVariantes 1Leybold Serie DURADRY 3 modelos
DURADRY DD 160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2DURADRY DD 250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2DURADRY DD 450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 1Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
NOVADRY ND 65Velocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 3
NOVADRY ND 100Velocidad de bombeo 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 3NOVADRY ND 160Velocidad de bombeo 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 3NOVADRY ND 200Velocidad de bombeo 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
RUVAC WA 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WA 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WAU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 7Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
RUVAC WH 700Velocidad de bombeo 620 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 – 3,8 kW 50 Hz2,6 – 3,8 kW 60 HzVariantes 9
RUVAC WH 2500Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 6,2 – 11 kW 50 Hz7,4 – 11 kW 60 HzVariantes 24
RUVAC WHU 2500Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 6,2 kW 50 Hz7,4 kW 60 HzVariantes 10
RUVAC WH 4400Velocidad de bombeo 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVariantes 14
RUVAC WHU 4400Velocidad de bombeo 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 7
RUVAC WH 7000Velocidad de bombeo 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVariantes 19
RUVAC WHU 7000Velocidad de bombeo 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 3Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
RUVAC WS 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WS 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WS 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WSU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WS 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 11
RUVAC WSU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 15Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
SCREWLINE SP 630Velocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 6SCREWLINE SP 630 FVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 11Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
SOGEVAC SV 10 BVelocidad de bombeo 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzPresión final 1,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 3
SOGEVAC SV 16 DVelocidad de bombeo 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 13SOGEVAC SV 16 DIVelocidad de bombeo 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 4
SOGEVAC SV 16 BVelocidad de bombeo 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 7
SOGEVAC SV 25 BVelocidad de bombeo 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 12
SOGEVAC SV 25 DVelocidad de bombeo 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 15
SOGEVAC SV 28 BIVelocidad de bombeo 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVariantes 2SOGEVAC SV 40 BI FCVelocidad de bombeo 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 3SOGEVAC SV 55 BI²Velocidad de bombeo 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes 4
SOGEVAC SV 40 BVelocidad de bombeo 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 25
SOGEVAC SV 40 BIVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVariantes 3SOGEVAC SV 65 BI FCVelocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 2SOGEVAC SV 70 BI²Velocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes 2
SOGEVAC SV 65 BVelocidad de bombeo 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 22
SOGEVAC SV 100 BVelocidad de bombeo 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVariantes 31SOGEVAC SV 120 BI FCVelocidad de bombeo 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2
SOGEVAC SV 120 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVariantes 12
SOGEVAC SV 220 BVelocidad de bombeo 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 8
SOGEVAC SV 300 BVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes 45
SOGEVAC SV 320 BVelocidad de bombeo 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 6
SOGEVAC SV 570 BVelocidad de bombeo 470 m³/h 50 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVariantes 6
SOGEVAC SV 630 BVelocidad de bombeo 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 34
SOGEVAC SV 750 BVelocidad de bombeo 755 m³/h 50 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 HzVariantes 15Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
TRIVAC D 2,5 EVelocidad de bombeo 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVariantes 3
TRIVAC D 4 BVelocidad de bombeo 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVariantes 3TRIVAC D 4 TVelocidad de bombeo 4,3 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 5 LVelocidad de bombeo 5,1 m³/h 50 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 HzVariantes 2TRIVAC D 8 TVelocidad de bombeo 8,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 8 BVelocidad de bombeo 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVariantes 3TRIVAC D 12 LVelocidad de bombeo 12 m³/h 50 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 HzVariantes 2TRIVAC D 16 TVelocidad de bombeo 16,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 16 BVelocidad de bombeo 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVariantes 6
TRIVAC D 16 BCSVelocidad de bombeo 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 25 BVelocidad de bombeo 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVariantes 4
TRIVAC D 25 BCSVelocidad de bombeo 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 30 TVelocidad de bombeo 30,2 m³/h 50 HzPresión final 5 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 40 BVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 – 0,6 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2
TRIVAC D 40 BCSVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 40 LVelocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVariantes 4TRIVAC D 63 LVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVariantes 4
TRIVAC D 65 BVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1
TRIVAC D 65 BCSVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 2TRIVAC D 90 LVelocidad de bombeo 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVariantes 3Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
A 124 HVelocidad de bombeo 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 204 H/XVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 604 HVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 804 H/XVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1204 HVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1504 H/XVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1804 H/XVelocidad de bombeo 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1504 XNVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 1804 XNVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 3004 H/XVelocidad de bombeo 3.000 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 3004 XNVelocidad de bombeo 2.900 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes A 804 XNVelocidad de bombeo 600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
A 100 LVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 0,012 mbarPotencia nominal del motor Variantes 8A 100 L ESVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 3A 200 LVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 HzPresión final 0,013 mbarPotencia nominal del motor Variantes 5Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
ACP 15Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes 9ACP 28Velocidad de bombeo 27 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 14ACP 40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 15ACP 90Velocidad de bombeo 88 m³/h 50 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 6Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
DuoVane 1.6Velocidad de bombeo 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 9DuoVane 3Velocidad de bombeo 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVariantes 10DuoVane 6Velocidad de bombeo 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 2DuoVane 12Velocidad de bombeo 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 5DuoVane 18Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 2DuoVane 22Velocidad de bombeo 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 5DuoVane 30Velocidad de bombeo 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1DuoVane 36Velocidad de bombeo 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVariantes 11DuoVane 70Velocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 13DuoVane 95Velocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 1DuoVane 135Velocidad de bombeo 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVariantes 3DuoVane 300Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 3Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
HiLobe 1002Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 1004Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 1302Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 1304Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 2104Velocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 2703Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 2704Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 4504Velocidad de bombeo 4.440 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 4503Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 6203Velocidad de bombeo 6.200 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 6204Velocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 2HiLobe 8103Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 8104Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 11003Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 11004Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 14003Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1HiLobe 14004Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
HiScroll 6Velocidad de bombeo 6,1 m³/h 50 HzPresión final 0,015 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7HiScroll 12Velocidad de bombeo 12,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7HiScroll 18Velocidad de bombeo 18,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11HiScroll 46Velocidad de bombeo 43 m³/h 50 HzPresión final 7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
TORRI BD 0100 AVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 0300 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 0600 AVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1TORRI BD 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes Ningún modelo coincide con estos filtros.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EH 5 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie GXS 10 modelos
Edwards Serie nES 8 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Selección
Recubrimiento y capa fina: cómo elegir la bomba de vacío
Lo que los fabricantes destacan para el uso en este sector.
Presión de proceso y presión final
El proceso determina la presión: Leybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para capas ópticas, 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para la protección contra el desgaste y la decoración y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para rollo a rollo; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar; Pfeiffer Vacuum, ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar. Para el alto vacío no basta con la bomba previa: para PVD, Edwards menciona una bomba previa más una bomba turbomolecular o criogénica; Leybold menciona TURBOVAC y COOLVAC junto a las bombas previas.
Tiempo de ciclo de las esclusas
Las instalaciones en línea dependen del ciclo de las esclusas: Leybold indica para vidrio 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar, para pantallas ciclos de bombeo muy cortos y para células solares ciclos cortos; Edwards, ciclos de bombeo rápidos en el recubrimiento de vidrio. La velocidad de bombeo debe ajustarse a ello – Leybold menciona RUVAC de 250–7000 m³/h y SOGEVAC de 16–750 m³/h; Pfeiffer Vacuum, 1800–4500 m³/h para ALD.
Gases de proceso y subproductos
En CVD y ALD, según Pfeiffer Vacuum, los subproductos son corrosivos o pulverulentos. Para el tratamiento por plasma, Leybold menciona versiones PFPE de TRIVAC B y RUVAC, VARODRY HD O2 y DURADRY; Edwards menciona para ello bomba de tornillo más Roots, E2S, E2M FX y nXRi. Los gases que se generan determinan las juntas, el aceite y la versión de la bomba.
Instalación por lotes o en línea
Leybold menciona recubrimientos ópticos en instalaciones por lotes, y el recubrimiento de vidrio, de pantallas y de células solares en instalaciones en línea con esclusas; Pfeiffer Vacuum menciona un vacío limpio para PVD, CVD/PECVD y ALD en instalaciones por lotes y en línea. Las instalaciones por lotes se llevan a la presión de proceso en cada lote; las instalaciones en línea mantienen la presión de proceso y bombean las esclusas en ciclos.
Preguntas frecuentes
Recubrimiento y capa fina: preguntas frecuentes sobre bombas de vacío
¿Qué bomba de vacío es adecuada para el recubrimiento PVD?
Para la protección contra el desgaste y las capas decorativas por PVD, Leybold menciona DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC (además VARODRY, SCREWLINE, POWER BOOST) entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar. Pfeiffer Vacuum menciona ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch, R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA. Edwards describe el PVD como evaporación y condensación en alto vacío con una bomba previa más una bomba turbomolecular o criogénica.
¿Cuánto vacío necesita una instalación de recubrimiento?
Leybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para recubrimientos ópticos, 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para la protección contra el desgaste y la decoración y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para rollo a rollo. Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar; Pfeiffer Vacuum, ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar y MBE a unos 10⁻¹¹ hPa. La bomba previa cubre la parte de vacío grueso; para el alto vacío se añade, según Edwards y Leybold, una bomba turbomolecular o criogénica.
¿Qué bomba previa para el recubrimiento óptico?
Para recubrimientos multicapa antirreflectantes y resistentes al rayado en instalaciones por lotes, Leybold menciona TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC, SCREWLINE y VARODRY entre 10⁻² y 10⁻³ mbar. Para capas antirreflectantes, de espejo y de filtro, Pfeiffer Vacuum menciona ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch, R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento de vidrio?
Para el vidrio de arquitectura y de automoción, Leybold menciona SCREWLINE, POWER BOOST, DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC; las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar. Para capas Low-E, de control solar y AR en línea, Pfeiffer Vacuum menciona ACP y HiLobe; Edwards, ciclos de bombeo rápidos con EDS y EXS; Busch, R5, COBRA y PANDA/PUMA.
¿Qué bomba de vacío para CVD, PECVD y ALD?
Edwards menciona EXS para CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar. Pfeiffer Vacuum menciona A4 y A4H para PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/difusión y MBE, e instalaciones ALD con 1800–4500 m³/h entre 10⁻¹ y 5 mbar, y advierte de subproductos corrosivos o pulverulentos. Busch menciona COBRA DS para CVD/PECVD; Leybold, DRYVAC y RUVAC para CVD en células solares HJT.
¿Qué bomba de vacío para capas de protección contra el desgaste en herramientas?
Pfeiffer Vacuum menciona capas duras como TiN y DLC sobre herramientas, por ejemplo de estampado y de fundición a presión, con DuoVane, HiLobe y HiScroll (además COMBI). Leybold menciona capas finas duras sobre herramientas y piezas de metal y de plástico con DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC; Busch, el recubrimiento de protección contra el desgaste con R5, COBRA y PANDA/PUMA.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para el recubrimiento al vacío?
Los fabricantes mencionan ambas: Busch incluye en su gama las bombas de paletas rotativas lubricadas con aceite R5 junto a las secas COBRA, MINK y PANDA/PUMA; Leybold, SOGEVAC junto a DRYVAC; Edwards, E2M junto a las bombas de tornillo secas EDS, EXS y GXS. Pfeiffer Vacuum menciona un vacío limpio para PVD, CVD/PECVD y ALD; Edwards, el vapor que debe llegar puro al sustrato – cuanto más cerca está la bomba del proceso, más probable es que se elija una versión seca.
¿Con qué rapidez debe evacuarse la esclusa de una instalación de recubrimiento?
Para el recubrimiento de vidrio, Leybold indica 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; para pantallas, ciclos de bombeo muy cortos; y para células solares, instalaciones en línea con ciclos cortos. Para ello, Leybold menciona bombas Roots RUVAC de 250–7000 m³/h delante de DRYVAC o SOGEVAC; Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos con EDS y EXS.
¿Qué bomba de vacío para el tratamiento por plasma?
Para el plasma destinado a recubrir, limpiar, activar y grabar, Leybold menciona versiones PFPE de TRIVAC B y RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY y DRYVAC. Para el encendido del plasma en la activación de superficies, Edwards menciona bomba de tornillo más Roots, E2S, E2M FX y nXRi.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento rollo a rollo?
Para bandas flexibles recubiertas por PVD, PECVD o evaporación, Leybold indica una presión de 10⁻¹ a 10⁻³ mbar y, como bombas, bombas turbomoleculares, criogénicas, selladas con aceite, de difusión e industriales secas, así como bombas Roots, sin especificar ninguna serie. Edwards menciona EXS para el recubrimiento de bandas y la proyección por plasma.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el número de máquinas: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
