Aplicación
Bombas de vacío para el recubrimiento al vacío
En el recubrimiento al vacío se forman capas finas sobre vidrio, herramientas, láminas, obleas o piezas de plástico: por PVD (pulverización catódica, evaporación), CVD, PECVD, ALD o en el tratamiento por plasma. La cámara se evacúa primero y después se mantiene a la presión de proceso, para que el vapor o el gas de proceso alcancen el sustrato y, según Atlas Copco, se formen capas uniformes y adherentes; Leybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para capas ópticas y 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 371 modelos de 5 fabricantes.
Comparar 371 modelosCómo funciona
- 371Modelos
- 30Series
- 5Fabricantes
- 10⁻²–10⁻⁶ mbarPresión de proceso en capas PVD (Leybold)
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): lo esencial
- Presión de procesoLeybold indica 10⁻² a 10⁻³ mbar para recubrimientos ópticos y el funcionamiento de instalaciones de recubrimiento de vidrio, 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para el recubrimiento rollo a rollo; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar, y Pfeiffer Vacuum, ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar.
- Ciclo de esclusaEn el recubrimiento de vidrio de arquitectura y de automoción, según Leybold, las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos para el recubrimiento de vidrio, y Leybold, ciclos de bombeo muy cortos para pantallas y ciclos cortos para instalaciones solares en línea.
- Velocidad de bombeoPara instalaciones ALD, Pfeiffer Vacuum indica 1800 a 4500 m³/h. Como grupos de bombeo, Leybold menciona SOGEVAC con RUVAC; Atlas Copco, DWS con ZRS; y Edwards, bombas de tornillo secas con booster.
- Gases de procesoEn CVD y ALD, según Pfeiffer Vacuum, los subproductos son corrosivos o pulverulentos; para procesos de plasma, Leybold menciona versiones como TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE y VARODRY HD O2. Según Busch, las superficies se recubren en una cámara de vacío limpia.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Recubrimiento al vacío (PVD, CVD)
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- EvacuaciónLa cámara se evacúa desde la presión atmosférica hasta la presión de proceso: en las instalaciones por lotes, la cámara entera; en las instalaciones en línea, las esclusas trabajan en ciclos (según Leybold, de 1000 a 1 mbar, 2–3 ciclos por minuto).
- RecubrimientoPVD: el material se evapora o se pulveriza y, según Edwards, se condensa en alto vacío sobre el sustrato. CVD y ALD: los gases de proceso reaccionan sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar; el ALD, según Pfeiffer Vacuum, entre 10⁻¹ y 5 mbar.
- VentilaciónLa válvula hacia la bomba se cierra, la cámara se ventila y se carga de nuevo; en cambio, las instalaciones en línea sacan el sustrato por la esclusa de salida mientras la cámara de proceso permanece en vacío.
Vacío y dimensionado
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Leybold: capas ópticas 10⁻² a 10⁻³ mbar, protección contra el desgaste y decoración 10⁻² a 10⁻⁶ mbar, rollo a rollo 10⁻¹ a 10⁻³ mbar, recubrimiento de vidrio en funcionamiento 10⁻² a 10⁻³ mbar. Edwards: CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar, PVD como evaporación y condensación en alto vacío. Pfeiffer Vacuum: ALD 10⁻¹ a 5 mbar, MBE unos 10⁻¹¹ hPa. Atlas Copco menciona el alto vacío para capas uniformes y adherentes.
Qué velocidad de bombeo
Para instalaciones ALD, Pfeiffer Vacuum indica 1800 a 4500 m³/h. Además, el ciclo determina el dimensionamiento: Leybold menciona 2–3 ciclos de esclusa por minuto en el recubrimiento de vidrio, ciclos de bombeo muy cortos en pantallas y ciclos cortos en instalaciones solares en línea; Edwards menciona ciclos de bombeo rápidos para el recubrimiento de vidrio.
Qué determina el dimensionamiento
El proceso: para PVD, Edwards menciona bombas previas junto con bombas turbomoleculares o criogénicas; el CVD y el ALD funcionan a mayor presión, con subproductos que, según Pfeiffer Vacuum, son corrosivos o pulverulentos. Para procesos de plasma, Leybold menciona versiones PFPE y O2 (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY, DRYVAC); para el recubrimiento de parileno, en el que el parileno se aplica en vacío por pirólisis como película sin poros, NOVADRY y SCREWLINE SP.
Lo que señalan los fabricantes
Busch: recubrir superficies en una cámara de vacío limpia. Leybold: pureza en la formación de capas con MBE y ALD; las capas Low-E reflejan la energía solar con plena transparencia. Edwards: condiciones reproducibles en recubrimientos experimentales. Atlas Copco: encapsulado de células solares frente al oxígeno y la humedad.
Tecnología
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de paletas rotativas lubricadas con aceite
138 modelos · 0,75–1.800 m³/h
Bombas de vacío de tornillo
99 modelos · 63–7.385 m³/h
Bombas de vacío Roots
96 modelos · 14–13.540 m³/h
Bombas de vacío de garras
32 modelos · 18–1.150 m³/h
Bombas de vacío scroll
4 modelos · 6,1–43 m³/h
Bombas de vacío de pistón rotativo
2 modelos · 234–442 m³/h
Elmo Rietschle menciona la aplicación sin indicar una serie para ella.
Resumen de productos
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): los 371 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Industrias
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Recubrimiento y capa fina
Busch, Edwards, Leybold y Pfeiffer Vacuum describen el recubrimiento como un sector propio: PVD, CVD, PECVD y ALD para capas ópticas, decorativas, de protección contra el desgaste, de vidrio, de pantallas y solares. Leybold, con SOGEVAC, TRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY, NOVADRY y RUVAC; Pfeiffer Vacuum, con A4, ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll y TORRI; Busch, con R5, MINK, COBRA y PANDA/PUMA; Edwards, con EDS, EXS, E2S, E2M y nXRi.
Semiconductores, electrónica y pantallas
Para la deposición de películas finas, Pfeiffer Vacuum menciona PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/difusión y MBE con la serie A4: ALD entre 10⁻¹ y 5 mbar con 1800 a 4500 m³/h, MBE a unos 10⁻¹¹ hPa; Busch enumera ALD, LPCVD/difusión, PECVD y PVD con la serie COBRA Semicon.
Página de la industria: Semiconductores, electrónica y pantallas →
Solar y fotovoltaica
Atlas Copco menciona la pulverización catódica, el CVD y el PVD, así como el encapsulado frente al oxígeno y la humedad; Busch, CVD/PECVD para capas antirreflectantes con COBRA DS y PVD con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY; Leybold, capas TCO por PVD, CIGS/CdTe y CVD en HJT en instalaciones en línea con ciclos cortos, con DRYVAC y RUVAC.
Ingeniería mecánica y fabricación
Edwards menciona el tratamiento por plasma (encendido del plasma para la activación y la limpieza de superficies) con E2S, E2M FX y nXRi, así como bomba de tornillo más bomba Roots; según Leybold, los gases de proceso se convierten en plasma en el vacío para recubrir, limpiar, activar y grabar, con TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE, DURADRY y DRYVAC.
Metalurgia y tratamiento térmico
Busch menciona el recubrimiento en la metalurgia con COBRA, PANDA y PUMA; Pfeiffer Vacuum, capas duras sobre herramientas de estampado y de fundición a presión.
Investigación, laboratorio y análisis
Busch menciona el recubrimiento en análisis y laboratorio con COBRA, R5 y PANDA/PUMA; Edwards, recubrimientos experimentales en condiciones reproducibles con bombas de vacío de paletas rotativas; Leybold, la fabricación de capas finas con MBE y ALD, en la que la pureza es decisiva.
Página de la industria: Investigación, laboratorio y análisis →
Automoción y transporte
Busch menciona capas funcionales y protectoras, por ejemplo sobre placas bipolares; en sus páginas de producto, Atlas Copco enumera el recubrimiento en el sector de la automoción con DWS 200–500, y Edwards, el recubrimiento en automoción con EDS.
Hidrógeno y pilas de combustible
Leybold menciona el recubrimiento PVD de placas bipolares: en las pilas de combustible, la capa protege contra la corrosión con buena conductividad; en los electrolizadores, se aplican en vacío capas protectoras y catalizadoras.
Aeroespacial
Atlas Copco menciona el recubrimiento al vacío en la industria aeroespacial: alto vacío para capas uniformes y adherentes.
Química
Elmo Rietschle enumera el recubrimiento entre sus aplicaciones para la industria química, sin describirlo con más detalle.
Preguntas frecuentes
Recubrimiento al vacío (PVD, CVD): preguntas frecuentes
¿Cómo funciona el recubrimiento al vacío?
La cámara con el sustrato se evacúa y después se aplica la capa. En el PVD, el material se evapora o se pulveriza y, según Edwards, se condensa en alto vacío sobre el sustrato; en el CVD, un gas reacciona sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar. Según Atlas Copco, el vacío garantiza capas uniformes y adherentes; según Busch, las superficies se recubren en una cámara de vacío limpia.
¿Qué diferencia hay entre PVD y CVD?
El PVD (deposición física en fase vapor) evapora o pulveriza un material sólido que se deposita sobre el sustrato: según Edwards, evaporación y condensación en alto vacío; según Leybold, entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar. En el CVD (deposición química en fase vapor), los gases de proceso reaccionan sobre el sustrato, según Edwards a partir de 10⁻³ mbar; el ALD funciona, según Pfeiffer Vacuum, entre 10⁻¹ y 5 mbar. Para el CVD y el ALD, Pfeiffer Vacuum menciona subproductos corrosivos o pulverulentos.
¿Cuánto vacío necesita un recubrimiento PVD?
Leybold indica 10⁻² a 10⁻⁶ mbar para capas de protección contra el desgaste y decorativas, 10⁻² a 10⁻³ mbar para capas ópticas multicapa, 10⁻² a 10⁻³ mbar para el funcionamiento de instalaciones de recubrimiento de vidrio y 10⁻¹ a 10⁻³ mbar para el recubrimiento rollo a rollo. Edwards describe el PVD como evaporación y condensación en alto vacío; Atlas Copco menciona el alto vacío para capas uniformes y adherentes.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento PVD?
Para capas PVD, Leybold menciona DRYVAC, SCREWLINE y SOGEVAC con RUVAC como bombas previas, además de VARODRY y POWER BOOST; Pfeiffer Vacuum menciona A4 y TORRI para PVD, y ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll para capas de color PVD decorativas; Busch menciona para PVD COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY, así como la serie COBRA Semicon. Para el alto vacío, Edwards menciona bombas previas junto con bombas turbomoleculares o criogénicas.
¿Qué bomba de vacío para CVD, PECVD y ALD?
Para PECVD/SACVD, ALD y LPCVD/difusión, Pfeiffer Vacuum menciona la serie A4, para ALD con 1800 a 4500 m³/h entre 10⁻¹ y 5 mbar; Busch enumera ALD, LPCVD/difusión y PECVD con la serie COBRA Semicon, y CVD/PECVD para capas antirreflectantes con COBRA DS; Edwards menciona CVD y ALD a partir de 10⁻³ mbar con EXS; Atlas Copco menciona el recubrimiento duro por CVD/DLC con DWS VSD+.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para el recubrimiento al vacío?
Los fabricantes mencionan ambas. Leybold enumera, junto a las secas DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY y NOVADRY, las lubricadas con aceite SOGEVAC y TRIVAC; Atlas Copco, las secas DWS y DWS VSD+ al igual que las lubricadas con aceite GVD y GLS; Busch, la lubricada con aceite R5 junto a las secas COBRA y MINK. Para el recubrimiento de vidrio, Edwards menciona las bombas de tornillo secas EDS y EXS, y para el tratamiento por plasma también E2S y E2M FX. Para procesos de plasma, Leybold menciona bombas con llenado de PFPE (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE).
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento de vidrio?
Leybold describe el recubrimiento de vidrio de arquitectura y de automoción como pulverización catódica PVD de capas multicapa, en la que las bombas previas evacúan las esclusas con 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar; se mencionan SCREWLINE, DRYVAC, SOGEVAC y RUVAC, además de POWER BOOST, así como TURBOVAC, COOLVAC y DIJ/DIP para el alto vacío. Edwards menciona EDS y EXS para ciclos de bombeo rápidos; Atlas Copco, DWS, DWS VSD+ y GLS para el recubrimiento de vidrio de gran superficie; Pfeiffer Vacuum, ACP 120 y HiLobe para capas Low-E, de control solar y AR en línea; Busch, COBRA, PANDA y R5.
¿Qué bomba de vacío para recubrimientos de protección contra el desgaste y decorativos?
Leybold menciona capas finas duras y decorativas sobre herramientas y piezas de metal y de plástico entre 10⁻² y 10⁻⁶ mbar con DRYVAC, SCREWLINE y SOGEVAC más RUVAC; Pfeiffer Vacuum, capas duras como TiN y DLC sobre herramientas con DuoVane (además COMBI, HiLobe, HiScroll) y capas de color PVD como TiN y ZrN con ACP, DuoVane, HiLobe y HiScroll; Busch, la protección contra el desgaste con COBRA, PANDA/PUMA y R5 y el recubrimiento decorativo, además, con MINK; Atlas Copco, el recubrimiento duro por CVD/DLC con DWS VSD+.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento rollo a rollo y de bandas?
Leybold describe el recubrimiento de bandas flexibles por PVD, PECVD o evaporación entre 10⁻¹ y 10⁻³ mbar y menciona para ello bombas selladas con aceite, de difusión e industriales secas, bombas Roots y criogénicas, así como las bombas turbomoleculares TURBOVAC i. Atlas Copco menciona DWS VSD+ para el recubrimiento de rodillos y de bandas; Edwards, EXS para el recubrimiento de bandas y la proyección por plasma.
¿Qué hacer si los gases de proceso atacan la bomba de vacío?
Para CVD y ALD, Pfeiffer Vacuum menciona subproductos corrosivos o pulverulentos: un separador o filtro delante de la bomba retiene el polvo. Para procesos de plasma, Leybold menciona versiones como TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC con PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY y DRYVAC; para el tratamiento por plasma y la activación de superficies, Atlas Copco menciona GVD y DWS VSD+, y Edwards, E2S, E2M FX y nXRi.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
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Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
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