COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 3181 C
Die Busch COBRA DS 3181 C ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Velocidad de bombeo nominal von 3500 m³/h und einem Presión final von 0,001 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Velocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz 3.500 m³/h 60 Hz
- Presión final 1 × 10-3 mbar
- Potencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz 33,5 kW 60 Hz
Busch COBRA DS 3181 C – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 3181 C ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 3500 m³/h, der Presión final 0,001 mbar. Potencia nominal del motor 33,5 kW.Características
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Refrigeración por agua
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Aplicaciones típicas
Busch nennt: Display (Load-Lock-Kammern); Halbleiter (ALD); Solar (Zellproduktion).Accesorios y versiones
- Optionale Pulverprozessversion erhältlich
Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 3.500 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 3.500 |
| Presión final | 1 × 10-3 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 33,5 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 33,5 |
| Peso | 1.500 |
| Longitud | 165,4 |
| Anchura | 72,2 |
| Altura | 145,2 |
| Brida de conexión de entrada | DN 160 |
| Brida de conexión de salida | DN 63 |
| Nivel de ruido | 75 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 3500 m³/h |
| Presión final | 0,001 mbar |
| Potencia nominal del motor Vorpumpe | 18,5 kW |
| Potencia nominal del motor Vakuum-Booster | 15,0 kW |
| Velocidad nominal Vorpumpe | 4220 min⁻¹ |
| Velocidad nominal Vakuum-Booster | 5400 min⁻¹ |
| Consumo de potencia a presión final | 12,4 kW |
| Consumo de potencia en vacío | 10,3 kW |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 75 dB(A) |
| Wasserverbrauch | min. 10 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 1654 × 722 × 1452 mm |
| Peso (aprox.) | 1500 kg |
| Entrada de gas | DN 160 |
| Salida de gas | DN 63 |
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8161 FVelocidad de bombeo 6.000 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 9161 BVelocidad de bombeo 6.220 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8162 FVelocidad de bombeo 7.200 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8163 BVelocidad de bombeo 7.385 m³/hPresión final 1 × 10-3 mbar