COBRA DS 3181 C

La Busch COBRA DS 3181 C es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 3500 m³/h y una presión final de 0,001 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz 3.500 m³/h 60 Hz
Presión final 1 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz 33,5 kW 60 Hz

Busch COBRA DS 3181 C – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 3181 C es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 3500 m³/h y la presión final, de 0,001 mbar. Potencia nominal del motor 33,5 kW.

Características

Potente: diseño de tornillo con booster de vacío integrado, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común

Aplicaciones típicas

Busch indica: Pantallas (cámaras de esclusa); Semiconductores (ALD); Solar (producción de células).

Accesorios y versiones

Versión opcional para procesos con polvo disponible

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	3.500
Velocidad de bombeo 60Hz	3.500
Presión final	1 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	33,5
Potencia nominal del motor 60Hz	33,5
Peso	1.500
Longitud	165,4
Anchura	72,2
Altura	145,2
Brida de conexión de entrada	DN 160
Brida de conexión de salida	DN 63
Nivel de ruido	75 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	3500 m³/h
Presión final	0,001 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	18,5 kW
Potencia nominal del motor del booster de vacío	15,0 kW
Velocidad nominal de la bomba previa	4220 min⁻¹
Velocidad nominal del booster de vacío	5400 min⁻¹
Consumo de potencia a presión final	12,4 kW
Consumo de potencia en vacío	10,3 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 75 dB(A)
Consumo de agua	mín. 10 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 200 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1654 × 722 × 1452 mm
Peso (aprox.)	1500 kg
Entrada de gas	DN 160
Salida de gas	DN 63

Nombre del producto	Referencia
Líquido refrigerante CLA 25 (listo para usar), envase de 5 l	2000 241 757
Líquido refrigerante CLA 25 (listo para usar), envase de 25 l	2000 241 738
Aceite Busch YLC 250 B (ISO VG 250, sintético), envase de 0,5 l	0831 131 400
Aceite Busch YLC 250 B (ISO VG 250, sintético), envase de 1 l	0831 108 878
Aceite Busch YLC 250 B (ISO VG 250, sintético), envase de 5 l	0831 108 879