Aplicación
Bombas de vacío para el crecimiento de cristales
En el crecimiento de cristales crece un único cristal grande; en el caso del silicio, a partir de la masa fundida. Se hacen crecer cristales de silicio y de carburo de silicio para obleas y, según Edwards, también de semiconductores III-V y de diamante. Para ello se evacúa el horno de crecimiento: según Busch, el vacío mantiene la cámara de proceso libre de contaminación y, según Atlas Copco, crea un entorno con poco gas para el silicio puro. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 178 modelos de 4 fabricantes.
Comparar 178 modelosCómo funciona
- 178Modelos
- 13Series
- 4Fabricantes
- 3Industrias
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Crecimiento de cristales: lo esencial
- PurezaAtlas Copco indica un entorno con poco gas para el silicio puro; según Busch, el vacío mantiene la cámara de proceso libre de contaminación.
- MaterialesLeybold indica cristales de silicio y SiC para obleas; Edwards, Si, III-V, SiC y diamante.
- Bombas en secoAtlas Copco indica para el crecimiento y la colada de cristales bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión y, para el estirado de cristales de silicio, la DWS VSD+.
- DimensionadoEl dimensionado depende del horno y del proceso; la bomba adecuada la determinamos con usted en función del volumen del horno, el tiempo de calentamiento y el flujo de gas.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Crecimiento de cristales
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- EvacuaciónEl horno con el crisol y la materia prima se evacúa; el vacío elimina el aire y, según Busch, mantiene la cámara libre de contaminación.
- FusiónLa calefacción funde el silicio en el crisol, según Atlas Copco en un entorno con poco gas para el silicio puro.
- CrecimientoEl cristal crece a partir de la masa fundida y se estira; la bomba mantiene el vacío durante todo el crecimiento. Según Leybold, así se obtienen cristales de Si y SiC para obleas.
Vacío y dimensionado
Crecimiento de cristales: cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Leybold indica que los cristales de Si y SiC para obleas se estiran y crecen al vacío; Atlas Copco indica un entorno con poco gas para el silicio puro; Busch, una cámara de proceso que el vacío mantiene libre de contaminación.
Qué velocidad de bombeo
El dimensionado depende del volumen del horno, del tiempo de calentamiento y del flujo de gas durante el crecimiento.
Qué determina el dimensionado
Atlas Copco indica bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión: el polvo del horno y la pureza de la masa fundida son los requisitos. Leybold indica, además de las DRYVAC y SCREWLINE SP de funcionamiento en seco, la TRIVAC B lubricada con aceite; Edwards, GXS, EXS y EDS; Busch, COBRA y PANDA/PUMA.
Tecnología
Crecimiento de cristales: las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de tornillo
99 modelos · 70–7.385 m³/h
Bombas de vacío de anillo líquido
33 modelos · 20–8.100 m³/h
Bombas de vacío Roots
26 modelos · 250–12.000 m³/h
Bombas de vacío de paletas rotativas lubricadas con aceite
20 modelos · 2,7–79 m³/h
Resumen de productos
Crecimiento de cristales: los 178 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie GXS 10 modelos
Edwards Serie LR1A 12 modelos
Edwards Serie LR1C 9 modelos
Edwards Serie LR1D 12 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie GXS 10 modelos
Edwards Serie LR1A 12 modelos
Edwards Serie LR1C 9 modelos
Edwards Serie LR1D 12 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Industrias
Crecimiento de cristales: dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Solar y fotovoltaica
Atlas Copco, Busch y Leybold indican el crecimiento de cristales para la energía solar y la fotovoltaica: Atlas Copco, el crecimiento y la colada de cristales con bombas de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión y el estirado de cristales de silicio con DWS VSD+; Busch, el crecimiento de cristales de silicio con COBRA y PANDA; Leybold, el estirado y el crecimiento de cristales de Si y SiC para obleas con DRYVAC, SCREWLINE SP y TRIVAC B.
Ingeniería mecánica y fabricación
Edwards indica entre sus soluciones industriales el crecimiento de cristales de Si, III-V, SiC y diamante con GXS, EXS y EDS.
Química
Edwards incluye en su página sobre ingeniería de procesos químicos la cristalización con las bombas de vacío de anillo líquido LR1A, LR1C y LR1D, sin descripción; allí se refiere a la cristalización de una sustancia a partir de la disolución, no al crecimiento de un monocristal.
Preguntas frecuentes
Crecimiento de cristales: preguntas frecuentes
¿Por qué se estira el silicio para obleas al vacío?
Según Atlas Copco, el silicio puro necesita un entorno con poco gas; según Busch, el vacío mantiene la cámara de proceso libre de contaminación. Leybold indica el estirado y el crecimiento de cristales de Si y SiC para obleas al vacío. Sin aire ni gases extraños en el horno, no llegan contaminantes a la masa fundida ni al cristal en crecimiento.
¿Cuánto vacío necesita el crecimiento de cristales?
Atlas Copco habla de un entorno con poco gas; Leybold, de cristales al vacío; el dimensionado depende del horno y del proceso.
¿Qué bomba de vacío para el estirado de cristales de silicio?
Atlas Copco indica la DWS VSD+ y, en general, bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión; Busch, COBRA y PANDA, y en su página de producto COBRA Industry, COBRA Semicon y PANDA/PUMA; Leybold, DRYVAC, SCREWLINE SP y TRIVAC B (además de POWER BOOST y VARODRY); Edwards, GXS, EXS y EDS.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para el crecimiento de cristales?
Atlas Copco indica expresamente bombas de vacío de funcionamiento en seco, resistentes al polvo y a la corrosión. Edwards, con GXS, EXS y EDS, y Busch, con COBRA y PANDA/PUMA, indican también bombas de funcionamiento en seco. Leybold incluye, además de las DRYVAC y SCREWLINE SP de funcionamiento en seco, la bomba de vacío de paletas rotativas lubricada con aceite TRIVAC B; por tanto, se indican ambas.
¿Qué bomba de vacío para el crecimiento de cristales de SiC?
Leybold indica cristales de Si y SiC para obleas con DRYVAC, SCREWLINE SP y TRIVAC B; Edwards indica el crecimiento de cristales de Si, III-V, SiC y diamante con GXS, EXS y EDS.
¿Por qué bombas de vacío resistentes al polvo y a la corrosión para hornos de cristales?
Atlas Copco indica para el crecimiento y la colada de cristales bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión. Del horno caliente llegan polvo y vapores al conducto de aspiración; un separador o filtro antes de la bomba retiene el polvo y la propia bomba tiene que tolerar el resto.
¿Qué bomba de vacío para la colada de cristales de silicio?
Atlas Copco menciona el crecimiento y la colada de cristales a la vez e indica para ello bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión, así como un entorno con poco gas para el silicio puro; para el estirado de cristales de silicio, la DWS VSD+.
¿Qué bomba de vacío para la cristalización en la industria química?
Edwards incluye la cristalización en su página sobre ingeniería de procesos químicos con las bombas de vacío de anillo líquido LR1A, LR1C y LR1D, sin describirla. Allí se refiere a la cristalización de una sustancia a partir de una disolución al vacío, un proceso distinto del crecimiento de monocristales para obleas.
¿Qué hacer si entra polvo del horno en la bomba de vacío?
Un separador o filtro entre el horno y la bomba retiene el polvo. Atlas Copco indica para el crecimiento de cristales bombas de vacío de funcionamiento en seco resistentes al polvo y a la corrosión; según Busch, el vacío mantiene la cámara de proceso libre de contaminación.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
