Anwendung

Vakuumpumpen für die Kristallzucht

Bei der Kristallzucht wächst ein einzelner großer Kristall, bei Silizium aus der Schmelze – gezüchtet werden Silizium und Siliziumkarbid für Wafer, laut Edwards auch III-V-Halbleiter und Diamant. Der Züchtungsofen wird dafür evakuiert: Das Vakuum hält laut Busch die Prozesskammer frei von Verunreinigung und schafft laut Atlas Copco eine gasarme Umgebung für reines Silizium. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 178 Modelle von 4 Herstellern.

178 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 178Modelle
  • 13Serien
  • 4Hersteller
  • 3Branchen
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Kristallzucht – das Wichtigste in Kürze

  • ReinheitAtlas Copco nennt eine gasarme Umgebung für reines Silizium; laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung.
  • WerkstoffeLeybold nennt Silizium- und SiC-Kristalle für Wafer, Edwards Si, III-V, SiC und Diamant.
  • Trockene PumpenAtlas Copco nennt für Kristallzüchtung und -gießen staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen und für das Siliziumkristallziehen die DWS VSD+.
  • AuslegungDie Auslegung richtet sich nach Ofen und Prozess; die passende Pumpe legen wir mit Ihnen anhand von Ofenvolumen, Aufheizzeit und Gasstrom fest.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Kristallzucht

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. EvakuierenDer Ofen mit Tiegel und Rohmaterial wird evakuiert; das Vakuum entfernt die Luft und hält die Kammer laut Busch frei von Verunreinigung.
  2. SchmelzenDie Heizung schmilzt das Silizium im Tiegel – laut Atlas Copco in einer gasarmen Umgebung für reines Silizium.
  3. ZüchtenDer Kristall wächst aus der Schmelze und wird gezogen; die Pumpe hält das Vakuum während des gesamten Wachstums. Laut Leybold entstehen so Si- und SiC-Kristalle für Wafer.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Kristallzucht braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold sagt, dass Si- und SiC-Kristalle für Wafer unter Vakuum gezogen und gezüchtet werden, Atlas Copco nennt eine gasarme Umgebung für reines Silizium, Busch eine Prozesskammer, die das Vakuum frei von Verunreinigung hält.

Welches Saugvermögen

Die Auslegung richtet sich nach Ofenvolumen, Aufheizzeit und dem Gasstrom während des Wachstums.

Was die Auslegung bestimmt

Atlas Copco nennt staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen – Staub aus dem Ofen und Reinheit der Schmelze sind die Anforderungen. Leybold nennt neben den trockenen DRYVAC und SCREWLINE SP auch die ölgeschmierte TRIVAC B, Edwards GXS, EXS und EDS, Busch COBRA und PANDA/PUMA.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Kristallzucht nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 178 Modelle für Kristallzucht im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Edwards LR1A Serie 12 Modelle

Edwards LR1C Serie 9 Modelle

Edwards LR1D Serie 12 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Kristallzucht nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Solar und Photovoltaik

Atlas Copco, Busch und Leybold nennen die Kristallzucht für Solar und Photovoltaik: Atlas Copco Kristallzüchtung und -gießen mit staub- und korrosionsfesten trockenen Pumpen und das Siliziumkristallziehen mit DWS VSD+, Busch die Züchtung von Siliziumkristallen mit COBRA und PANDA, Leybold das Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen für Wafer mit DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B.

Vakuum in Solar und Photovoltaik →

Maschinenbau und Fertigung

Edwards nennt unter seinen Industrielösungen die Kristallzüchtung von Si, III-V, SiC und Diamant mit GXS, EXS und EDS.

Vakuum in Maschinenbau und Fertigung →

Chemie

Edwards führt auf seiner Seite zur chemischen Verfahrenstechnik die Kristallisation mit den Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen LR1A, LR1C und LR1D auf – ohne Beschreibung; dort ist die Kristallisation eines Stoffs aus der Lösung gemeint, nicht die Zucht eines Einkristalls.

Vakuum in Chemie →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Kristallzucht

Warum wird Silizium für Wafer unter Vakuum gezogen?

Laut Atlas Copco braucht reines Silizium eine gasarme Umgebung, laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung. Leybold nennt das Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen für Wafer unter Vakuum. Ohne Luft und Fremdgase im Ofen gelangen keine Verunreinigungen in die Schmelze und den wachsenden Kristall.

Wie viel Vakuum braucht die Kristallzucht?

Atlas Copco spricht von einer gasarmen Umgebung, Leybold von Kristallen unter Vakuum; die Auslegung richtet sich nach dem Ofen und dem Prozess.

Welche Vakuumpumpe für das Siliziumkristallziehen?

Atlas Copco nennt die DWS VSD+ und allgemein staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen; Busch COBRA und PANDA, auf seiner Produktseite COBRA Industry, COBRA Semicon und PANDA/PUMA; Leybold DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B (dazu POWER BOOST und VARODRY); Edwards GXS, EXS und EDS.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Kristallzucht?

Atlas Copco nennt ausdrücklich trockene Vakuumpumpen, staub- und korrosionsfest. Edwards nennt mit GXS, EXS und EDS und Busch mit COBRA und PANDA/PUMA ebenfalls trockene Pumpen. Leybold führt neben den trockenen DRYVAC und SCREWLINE SP auch die ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpe TRIVAC B auf – beides wird also genannt.

Welche Vakuumpumpe für die SiC-Kristallzüchtung?

Leybold nennt Si- und SiC-Kristalle für Wafer mit DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B; Edwards nennt die Kristallzüchtung von Si, III-V, SiC und Diamant mit GXS, EXS und EDS.

Warum staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen für Kristallöfen?

Atlas Copco nennt für Kristallzüchtung und -gießen staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen. Aus dem heißen Ofen gelangen Staub und Dämpfe in die Saugleitung; ein Abscheider oder Filter vor der Pumpe hält den Staub zurück, die Pumpe selbst muss den Rest vertragen.

Welche Vakuumpumpe für das Kristallgießen von Silizium?

Atlas Copco nennt Kristallzüchtung und -gießen in einem Zug und dafür staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen sowie eine gasarme Umgebung für reines Silizium; für das Siliziumkristallziehen die DWS VSD+.

Welche Vakuumpumpe für die Kristallisation in der Chemie?

Edwards führt die Kristallisation auf seiner Seite zur chemischen Verfahrenstechnik mit den Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen LR1A, LR1C und LR1D auf, ohne sie zu beschreiben. Gemeint ist dort das Auskristallisieren eines Stoffs aus einer Lösung unter Vakuum – ein anderer Prozess als die Zucht von Einkristallen für Wafer.

Was tun, wenn Staub aus dem Ofen in die Vakuumpumpe gelangt?

Ein Abscheider oder Filter zwischen Ofen und Pumpe hält Staub zurück. Atlas Copco nennt für die Kristallzucht staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen, laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

Anfrage stellenErsatzteile und ZubehörService