Anwendung

Vakuumpumpen für die Kristallzucht

Bei der Kristallzucht wächst ein einzelner großer Kristall, bei Silizium aus der Schmelze – gezüchtet werden Silizium und Siliziumkarbid für Wafer, laut Edwards auch III-V-Halbleiter und Diamant. Der Züchtungsofen wird dafür evakuiert: Das Vakuum hält laut Busch die Prozesskammer frei von Verunreinigung und schafft laut Atlas Copco eine gasarme Umgebung für reines Silizium. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 178 Modelle von 4 Herstellern.

178 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 178Modelle
  • 13Serien
  • 4Hersteller
  • 3Branchen
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Kristallzucht – das Wichtigste in Kürze

  • ReinheitAtlas Copco nennt eine gasarme Umgebung für reines Silizium; laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung.
  • WerkstoffeLeybold nennt Silizium- und SiC-Kristalle für Wafer, Edwards Si, III-V, SiC und Diamant.
  • Trockene PumpenAtlas Copco nennt für Kristallzüchtung und -gießen staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen und für das Siliziumkristallziehen die DWS VSD+.
  • AuslegungDie Auslegung richtet sich nach Ofen und Prozess; die passende Pumpe legen wir mit Ihnen anhand von Ofenvolumen, Aufheizzeit und Gasstrom fest.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Kristallzucht

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. EvakuierenDer Ofen mit Tiegel und Rohmaterial wird evakuiert; das Vakuum entfernt die Luft und hält die Kammer laut Busch frei von Verunreinigung.
  2. SchmelzenDie Heizung schmilzt das Silizium im Tiegel – laut Atlas Copco in einer gasarmen Umgebung für reines Silizium.
  3. ZüchtenDer Kristall wächst aus der Schmelze und wird gezogen; die Pumpe hält das Vakuum während des gesamten Wachstums. Laut Leybold entstehen so Si- und SiC-Kristalle für Wafer.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Kristallzucht braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold sagt, dass Si- und SiC-Kristalle für Wafer unter Vakuum gezogen und gezüchtet werden, Atlas Copco nennt eine gasarme Umgebung für reines Silizium, Busch eine Prozesskammer, die das Vakuum frei von Verunreinigung hält.

Welches Saugvermögen

Die Auslegung richtet sich nach Ofenvolumen, Aufheizzeit und dem Gasstrom während des Wachstums.

Was die Auslegung bestimmt

Atlas Copco nennt staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen – Staub aus dem Ofen und Reinheit der Schmelze sind die Anforderungen. Leybold nennt neben den trockenen DRYVAC und SCREWLINE SP auch die ölgeschmierte TRIVAC B, Edwards GXS, EXS und EDS, Busch COBRA und PANDA/PUMA.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Kristallzucht nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 178 Modelle für Kristallzucht im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

PANDA WV 0250 CSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten
PANDA WZ 0250 BSaugvermögen 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4
PUMA WY 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 0500 D2Saugvermögen 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten
PANDA WZ 0500 BSaugvermögen 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 0700 DSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
PUMA WY 0700 CSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 1000 D2Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 5
PANDA WZ 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
PUMA WY 1250 CSaugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 1250 D2Saugvermögen 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 1800 ASaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 5
PUMA WY 2000 CSaugvermögen 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 2000 D2Saugvermögen 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten 5
PANDA WZ 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 2200 ASaugvermögen 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten
PUMA WY 3600 ASaugvermögen 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
PANDA WV 4500 BSaugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 4
PUMA WP 4500 B2Saugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 5400 ASaugvermögen 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
PUMA WP 8100 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
PUMA WY 8000 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
PUMA WG 9600Saugvermögen 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzEnddruck 130 mbarMotornennleistung Varianten

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EDS200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 10
Edwards EDS300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10
Edwards EDS480Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards EXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
Edwards EXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
Edwards EXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS450/2600Saugvermögen 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS750/2600Saugvermögen 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1
Edwards EXS450/4200Saugvermögen 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2
Edwards EXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1
Edwards EXS750/8000Saugvermögen 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Edwards GXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 12
Edwards GXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10
Edwards GXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8
Edwards GXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 12
Edwards GXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 11
Edwards GXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 10
Edwards GXS450/2600Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards GXS750/2600Saugvermögen 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 8
Edwards GXS450/4200Saugvermögen 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards GXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 10

Edwards LR1A Serie 12 Modelle

Edwards LR1A700Saugvermögen 601,2 m³/h 50 Hz698,4 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A800Saugvermögen 748,8 m³/h 50 Hz889,2 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A1200Saugvermögen 1.080 m³/h 50 Hz1.321,2 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz45 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A1300Saugvermögen 1.231,2 m³/h 50 Hz1.450,8 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A1600Saugvermögen 1.699,2 m³/h 50 Hz2.001,6 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 45 kW 50 Hz75 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A2500Saugvermögen 2.451,6 m³/h 50 Hz2.779,2 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 75 kW 50 Hz90 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A4000Saugvermögen 3.996 m³/h 50 Hz3.996 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 110 kW 50 Hz110 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A5000Saugvermögen 4.536 m³/h 50 Hz4.536 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 132 kW 50 Hz132 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A5500Saugvermögen 5.292 m³/h 50 Hz5.292 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 160 kW 50 Hz160 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A6500Saugvermögen 6.012 m³/h 50 Hz6.012 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 160 kW 50 Hz160 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A8000Saugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 250 kW 50 Hz250 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1A500Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 2

Edwards LR1C Serie 9 Modelle

Edwards LR1C030Saugvermögen 27 m³/h 50 Hz31 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 0,81 kW 50 Hz1,27 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1C050Saugvermögen 50,4 m³/h 50 Hz61,2 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 1,45 kW 50 Hz2,55 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1C080Saugvermögen 79,2 m³/h 50 Hz93,6 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 2,35 kW 50 Hz3,45 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1C110Saugvermögen 111,6 m³/h 50 Hz129,6 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 3,85 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1C150Saugvermögen 165,6 m³/h 50 Hz194,4 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz5,5 – 6,3 kW 60 HzVarianten 6
Edwards LR1C200Saugvermögen 230,4 m³/h 50 Hz270 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz7,5 – 8,2 kW 60 HzVarianten 6
Edwards LR1C300Saugvermögen 280,8 m³/h 50 Hz331,2 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz11 – 12,9 kW 60 HzVarianten 6
Edwards LR1C400Saugvermögen 399,6 m³/h 50 Hz471,6 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 6
Edwards LR1C500Saugvermögen 500,4 m³/h 50 Hz579,6 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 6

Edwards LR1D Serie 12 Modelle

Edwards LR1D0035Saugvermögen 20 m³/h 50 Hz28,8 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,12 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0060Saugvermögen 42,6 m³/h 50 Hz45,7 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 1,94 kW 50 Hz2,24 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0100Saugvermögen 69,5 m³/h 50 Hz90,1 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 2,8 kW 50 Hz4,1 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0135Saugvermögen 101,1 m³/h 50 Hz130,5 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 3,06 kW 50 Hz4,1 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0170Saugvermögen 117,7 m³/h 50 Hz148,2 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 3,8 kW 50 Hz4,1 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0260Saugvermögen 168,5 m³/h 50 Hz208 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 5,78 kW 50 Hz7,46 kW 60 HzVarianten 4
Edwards LR1D0340Saugvermögen 252,7 m³/h 50 Hz301,6 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 7,8 kW 50 Hz11,19 kW 60 HzVarianten 2
Edwards LR1D0510Saugvermögen 336 m³/h 50 Hz393,2 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 10,82 kW 50 Hz14,92 kW 60 HzVarianten 2
Edwards LR1D0770Saugvermögen 476,7 m³/h 50 Hz578,7 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 14,92 kW 50 Hz18,65 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1D0940Saugvermögen 729,6 m³/h 50 Hz880,5 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 23,13 kW 50 Hz29,84 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1D1280Saugvermögen 951,5 m³/h 50 Hz1.193,4 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 28,35 kW 50 Hz41,03 kW 60 HzVarianten 3
Edwards LR1D2040Saugvermögen 1.340 m³/h 50 Hz1.644,1 m³/h 60 HzEnddruck 30 mbarMotornennleistung 42,15 kW 50 Hz60,43 kW 60 HzVarianten 3

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

DRYVAC DV 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 500Saugvermögen 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,05 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5
DRYVAC DV 650Saugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 33
DRYVAC DV 650 FPSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 8
DRYVAC DV 800Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 11
DRYVAC DV 800 FP-rSaugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 1200Saugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3
DRYVAC DV 1600Saugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVarianten 1

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

SCREWLINE SP 630Saugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6
SCREWLINE SP 630 FSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 11

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

TRIVAC D 2,5 ESaugvermögen 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 BSaugvermögen 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 TSaugvermögen 4,3 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 5 LSaugvermögen 5,1 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 TSaugvermögen 8,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 BSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 12 LSaugvermögen 12 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 TSaugvermögen 16,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 BSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 6
TRIVAC D 16 BCSSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 25 BSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 25 BCSSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 30 TSaugvermögen 30,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BCSSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 LSaugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 63 LSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TRIVAC D 65 BCSSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 90 LSaugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 3

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Kristallzucht nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Solar und Photovoltaik

Atlas Copco, Busch und Leybold nennen die Kristallzucht für Solar und Photovoltaik: Atlas Copco Kristallzüchtung und -gießen mit staub- und korrosionsfesten trockenen Pumpen und das Siliziumkristallziehen mit DWS VSD+, Busch die Züchtung von Siliziumkristallen mit COBRA und PANDA (16 Produkte), Leybold das Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen für Wafer mit DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B.

Vakuum in Solar und Photovoltaik →

Maschinenbau und Fertigung

Edwards nennt unter seinen Industrielösungen die Kristallzüchtung von Si, III-V, SiC und Diamant mit GXS, EXS und EDS.

Vakuum in Maschinenbau und Fertigung →

Chemie

Edwards führt auf seiner Seite zur chemischen Verfahrenstechnik die Kristallisation mit den Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen LR1A, LR1C und LR1D auf – ohne Beschreibung; dort ist die Kristallisation eines Stoffs aus der Lösung gemeint, nicht die Zucht eines Einkristalls.

Vakuum in Chemie →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Kristallzucht

Warum wird Silizium für Wafer unter Vakuum gezogen?

Laut Atlas Copco braucht reines Silizium eine gasarme Umgebung, laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung. Leybold nennt das Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen für Wafer unter Vakuum. Ohne Luft und Fremdgase im Ofen gelangen keine Verunreinigungen in die Schmelze und den wachsenden Kristall.

Wie viel Vakuum braucht die Kristallzucht?

Atlas Copco spricht von einer gasarmen Umgebung, Leybold von Kristallen unter Vakuum; die Auslegung richtet sich nach dem Ofen und dem Prozess.

Welche Vakuumpumpe für das Siliziumkristallziehen?

Atlas Copco nennt die DWS VSD+ und allgemein staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen; Busch COBRA und PANDA, auf seiner Produktseite COBRA Industry, COBRA Semicon und PANDA/PUMA; Leybold DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B (dazu POWER BOOST und VARODRY); Edwards GXS, EXS und EDS.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Kristallzucht?

Atlas Copco nennt ausdrücklich trockene Vakuumpumpen, staub- und korrosionsfest. Edwards nennt mit GXS, EXS und EDS und Busch mit COBRA und PANDA/PUMA ebenfalls trockene Pumpen. Leybold führt neben den trockenen DRYVAC und SCREWLINE SP auch die ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpe TRIVAC B auf – beides wird also genannt.

Welche Vakuumpumpe für die SiC-Kristallzüchtung?

Leybold nennt Si- und SiC-Kristalle für Wafer mit DRYVAC, SCREWLINE SP und TRIVAC B; Edwards nennt die Kristallzüchtung von Si, III-V, SiC und Diamant mit GXS, EXS und EDS.

Warum staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen für Kristallöfen?

Atlas Copco nennt für Kristallzüchtung und -gießen staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen. Aus dem heißen Ofen gelangen Staub und Dämpfe in die Saugleitung; ein Abscheider oder Filter vor der Pumpe hält den Staub zurück, die Pumpe selbst muss den Rest vertragen.

Welche Vakuumpumpe für das Kristallgießen von Silizium?

Atlas Copco nennt Kristallzüchtung und -gießen in einem Zug und dafür staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen sowie eine gasarme Umgebung für reines Silizium; für das Siliziumkristallziehen die DWS VSD+.

Welche Vakuumpumpe für die Kristallisation in der Chemie?

Edwards führt die Kristallisation auf seiner Seite zur chemischen Verfahrenstechnik mit den Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen LR1A, LR1C und LR1D auf, ohne sie zu beschreiben. Gemeint ist dort das Auskristallisieren eines Stoffs aus einer Lösung unter Vakuum – ein anderer Prozess als die Zucht von Einkristallen für Wafer.

Was tun, wenn Staub aus dem Ofen in die Vakuumpumpe gelangt?

Ein Abscheider oder Filter zwischen Ofen und Pumpe hält Staub zurück. Atlas Copco nennt für die Kristallzucht staub- und korrosionsfeste trockene Vakuumpumpen, laut Busch hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigung.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

Anfrage stellenErsatzteile und ZubehörService