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COBRA DS 5161 B

Die Busch COBRA DS 5161 B ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 4300 m³/h und einem Enddruck von 0,001 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

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  • Saugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz 4.300 m³/h 60 Hz
  • Enddruck 1 × 10-3 mbar
  • Motornennleistung 30 kW 50 Hz 30 kW 60 Hz

Busch COBRA DS 5161 B – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA DS 5161 B ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 4300 m³/h, der Enddruck 0,001 mbar. Motornennleistung 30 kW.

Merkmale

  • Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
  • Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor

Beratung und Service

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