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Vakuumpumpen für Forschung, Labor und Analytik

Analysegeräte, Labore und Forschungsanlagen brauchen Vakuum vom Grob- bis zum Ultrahochvakuum: Massenspektrometer und Elektronenmikroskope messen nur ohne störendes Restgas, Gloveboxen und Gefriertrockner brauchen sauberes, stabiles Vakuum, und Beschleuniger oder Weltraumsimulationskammern ein Pumpsystem aus Vorpumpe und Hochvakuumpumpe. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 495 Modelle von 5 Herstellern.

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Laborglas mit Strukturformeln
Laborglas mit Strukturformeln

Kurz gesagt

Vakuumpumpen für Forschung, Labor und Analytik – das Wichtigste in Kürze

  • DruckbereichePfeiffer Vacuum teilt so ein: Grobvakuum 1013–1 hPa, Feinvakuum 1–10⁻³ hPa, Hochvakuum 10⁻³–10⁻⁸ hPa, Ultrahochvakuum 10⁻⁸–10⁻¹² hPa. Grob- und Feinvakuum reichen für Glovebox, Schlenk-Technik und Trocknung; Oberflächen-, Plasma- und Kryoforschung brauchen Hoch- und Ultrahochvakuum.
  • VorpumpeIm Analysegerät sitzt die Turbopumpe, die Vorpumpe steht außen (Pfeiffer Vacuum). Edwards nennt dafür RV, E2M, nXRi und nXLi, Pfeiffer Vacuum HiScroll, SmartVane und DuoVane, Busch COBRA und R5. Turbo- und Ionengetterpumpen gehören nicht zu unserem Sortiment.
  • Leise im LaborPfeiffer Vacuum gibt für HiScroll etwa 45 dB an und für die Massenspektrometrie unter 47 dB; für Elektronenmikroskope nennen Edwards und Pfeiffer Vacuum schwingungsarme Vorpumpen.
  • Ohne ÖlFür die Gefriertrocknung im Labor nennt Pfeiffer Vacuum einen stabilen Druck ohne Ölspuren (Scroll, Membran, ACP); Edwards nennt für Forschung und Entwicklung trockene und ölgedichtete Vorpumpen, Busch COBRA, R5, PANDA und PUMA für Analytik und Labor.

Anwendungen

Wofür Forschung, Labor und Analytik Vakuumpumpen braucht

Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.

Massenspektrometrie und Chromatographie

Massenspektrometer arbeiten unter Vakuum, oft mit mehreren Kammern in verschiedenen Druckbereichen (Leybold): am Einlass einige 10 mbar, in TOF- und Orbitrap-Geräten 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar. Edwards nennt eine Ionisation bei 1–5 mbar und RV, E2M, nXRi und nXLi für GC-, LC-, ICP- und MALDI-MS; Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll (unter 47 dB), SmartVane und DuoVane als externe Vorpumpen, Busch COBRA und R5. Für Gas- und Flüssigkeitschromatographie führt Leybold SOGEVAC BI/DI auf.

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Laborvakuum und Glovebox

Pfeiffer Vacuum nennt leises, sauberes Vakuum für Massenspektrometer, Gefriertrocknung, Glovebox und Filtration – einzeln oder zentral – mit HiScroll (etwa 45 dB), ACP, DuoVane und SmartVane; für Gloveboxen und luftempfindliche Arbeiten HiScroll. Edwards nennt für Handschuhkästen Drehschieber- und Scrollpumpen, die die Restluft entfernen, bevor Stickstoff oder Argon eingefüllt wird, und RV sowie E2M für Labore und Universitäten in Chemie, Biologie, Physik und Geologie. Busch nennt COBRA für Gloveboxen und Isolatoren.

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Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger

Ultrahochvakuum verhindert Oberflächenkontamination und reduziert Störungen in Beschleunigern (Leybold: unter 10⁻⁹ mbar, Speicherringe ≤10⁻¹¹ mbar). Pfeiffer Vacuum beschreibt die Pumpenkette für unter 10⁻⁷ hPa mit einer Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa und nennt HiScroll, ACP und DuoVane; Edwards nennt als Vorpumpe für Turbo- und Hochvakuumsysteme XDS, RV, E2M, nXRi (unter 0,03 mbar), GV und E2S, Leybold SCROLLVAC plus, ECODRY plus, SOGEVAC BI/DI, NEO D und TRIVAC B. Busch nennt COBRA für Beamlines, Teilchenbeschleuniger, Plasma- und Photonikforschung.

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Elektronenmikroskopie

Der Elektronenstrahl darf nicht gestreut werden, und die Pumpe darf das Bild nicht stören: Edwards nennt schwingungsarme Drehschieber-, Scroll- und nXRi-Pumpen und für ESEM etwa 10 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für die vibrationsarme Wafer-Messtechnik (CD-SEM) 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa mit ACP und HiScroll und für Elektronenmikroskope HiScroll; Busch nennt COBRA und R5.

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Gefriertrocknung

Gefrorenes Wasser sublimiert unter Vakuum (Busch) – das schützt hitzeempfindliche Produkte, bei unter 1 hPa. Pfeiffer Vacuum nennt für Kaffee, Obst und Impfstoffe 0,5–10⁻² hPa und für die Gefriertrocknung im Labor einen stabilen Druck ohne Ölspuren mit Scroll-, Membran- und ACP-Pumpen; im Produktfinder führt Pfeiffer Vacuum ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll. Busch nennt COBRA, DOLPHIN, MINK, PANDA, PUMA und R5.

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Weltraum- und Höhensimulation

Vakuumkammern simulieren Weltraumbedingungen für Tests vor dem Start (Leybold): thermische Vakuumprüfung bei Extremtemperatur (Edwards: −80 bis +180 °C, unter 10⁻¹⁰ mbar), Antriebstests, Ausheizen und Masseverlustmessung. Leybold nennt Vorpumpen bis 1×10⁻² mbar (DRYVAC, RUVAC, TRIVAC B, SCREWLINE SP, ECODRY plus, LEYVAC), Pfeiffer Vacuum für Ionenantriebe 10⁻⁷ bis einige 10⁻⁵ hPa mit ACP, HiLobe und HiScroll. Edwards nennt mXDS, nXDS, XDS, EDS, GXS und nXRi für TVAC-Tests, Busch COBRA für die Weltraumforschung.

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Isolationsvakuum und Kryotechnik

Vakuum isoliert Kryostaten und Tieftemperaturversuche (Pfeiffer Vacuum) und bildet das Isoliervakuum supraleitender Magnete (Leybold). Busch nennt COBRA, MINK, PANDA, PUMA und R5 für Isolationsvakuum und COBRA für die Kryotechnik; Pfeiffer Vacuum nennt ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll. Edwards führt nXRi für die Regeneration von Kryopumpen und E2S für die Vakuumisolierung auf.

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Lecksuche und Dichtheitsprüfung

Busch nennt COBRA, R5 und PANDA für Leckdetektoren und die End-of-Line-Dichtheitsprüfung, etwa von Batterien, Tanks und HLK-Geräten. Pfeiffer Vacuum beschreibt die Helium-Lecksuche durch Aufsprühen mit Leckraten von etwa 10⁻⁷ bis 10⁻⁹ mbar·l/s – als Ortung, nicht als Leckratenmessung – mit seinen Lecksuchern ASM 340, 310, 390 und 392; als Pumpen für die Lecksuche führt Pfeiffer Vacuum ACP, DuoVane, HiScroll und HiLobe.

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Hersteller und Serien

5 Hersteller, 43 Serien für Forschung, Labor und Analytik

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Becker nennt die Branche, ohne dafür eine Serie zu bestimmen.

Produktübersicht

Alle 495 Modelle für Forschung, Labor und Analytik im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1
GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1
GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1
GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2
GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2

Atlas Copco GVS VSD+ Serie 4 Modelle

GVS 80 VSD+Saugvermögen 78 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
GVS 120 VSD+Saugvermögen 117 m³/h 50 Hz117 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1
GVS 255 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
GVS 400 VSD+Saugvermögen 351 m³/h 50 Hz351 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 1

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch DOLPHIN Serie 70 Modelle

Busch HUCKEPACK Serie 4 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EH Serie 5 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GMB Serie 2 Modelle

Edwards GV Serie 2 Modelle

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Edwards mXDS Serie 2 Modelle

Edwards nXDS Serie 4 Modelle

Edwards nXLi Serie 7 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards RV Serie 8 Modelle

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold DURADRY Serie 3 Modelle

Leybold ECODRY Serie 5 Modelle

Leybold NEO D Serie 5 Modelle

Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum SmartVane Serie 2 Modelle

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Auswahl

Vakuumpumpe für Forschung, Labor und Analytik auswählen

Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.

Ölfrei oder ölgeschmiert?

Für Gefriertrocknung und Glovebox nennt Pfeiffer Vacuum sauberes Vakuum ohne Ölspuren (Scroll, Membran, ACP). Edwards nennt für Forschung und Entwicklung trockene und ölgedichtete Vorpumpen nebeneinander, Leybold für Massenspektrometer kleine Trockenpumpen oder ölgedichtete Pumpen. Ob Öl im Prozess stört, entscheidet die Bauart.

Geräusch und Schwingung

Im Labor steht die Pumpe neben dem Gerät: Pfeiffer Vacuum gibt für HiScroll etwa 45 dB an. Für Elektronenmikroskope nennen Edwards und Pfeiffer Vacuum schwingungsarme Vorpumpen, Pfeiffer Vacuum für CD-SEM vibrationsarme Messtechnik bei 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa.

Enddruck der Vorpumpe

Die Vorpumpe muss den Übergabedruck der Hochvakuumpumpe erreichen: Pfeiffer Vacuum nennt für UHV-Ketten eine Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa, Edwards für nXRi unter 0,03 mbar, Leybold für Weltraumsimulationskammern Vorpumpen bis 1×10⁻² mbar. Weniger Vakuum reicht laut Edwards für die Ionisation im Massenspektrometer (1–5 mbar) und für ESEM (etwa 10 mbar).

Strahlung, Magnetfeld, Gase

Pfeiffer Vacuum nennt für Beschleuniger strahlungsfeste Pumpen, Leybold für die Protonentherapie Vakuum trotz Magnetfeld und Strahlung mit SCROLLVAC plus. Für Ionenquellen mit aggressiven Gasen nennt Pfeiffer Vacuum A4 und ACP bei 10⁻⁶–10⁻⁹ hPa.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Forschung, Labor und Analytik

Welche Vorpumpe eignet sich für ein Massenspektrometer?

Die Turbopumpe sitzt im Gerät, die Vorpumpe steht außen (Pfeiffer Vacuum). Edwards nennt RV, E2M, nXRi und nXLi und eine Ionisation bei 1–5 mbar; Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll mit unter 47 dB, SmartVane und DuoVane; Busch nennt COBRA und R5. Leybold beschreibt Geräte mit mehreren Kammern – am Einlass einige 10 mbar, in TOF- und Orbitrap-Geräten 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar – und führt für GC und LC SOGEVAC BI/DI auf.

Welche Vakuumpumpe ist leise genug für das Labor?

Pfeiffer Vacuum gibt für HiScroll etwa 45 dB an und nennt die Serie für Massenspektrometer, Gefriertrocknung, Glovebox und Filtration. Für Elektronenmikroskope nennen Edwards und Pfeiffer Vacuum schwingungsarme Vorpumpen.

Ölfrei oder ölgeschmiert im Labor?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Gefriertrocknung im Labor einen stabilen Druck ohne Ölspuren mit Scroll-, Membran- und ACP-Pumpen und für Gloveboxen sauberes Vakuum mit HiScroll. Edwards nennt für Forschung und Entwicklung trockene und ölgedichtete Vorpumpen, für Handschuhkästen Drehschieber- und Scrollpumpen. Busch nennt COBRA, R5, PANDA und PUMA für Analytik und Labor.

Welche Vakuumpumpe für eine Glovebox?

Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll für sauberes Vakuum bei luftempfindlichen Arbeiten. Edwards beschreibt den Ablauf: Die Pumpe entfernt die Restluft, dann wird Stickstoff oder Argon eingefüllt – mit Drehschieber- oder Scrollpumpen. Busch nennt COBRA für Gloveboxen und Isolatoren.

Welche Vakuumpumpe für die Gefriertrocknung im Labor?

Busch nennt für die Lyophilisation Drücke unter 1 hPa und die Serien COBRA, DOLPHIN, MINK, PANDA, PUMA und R5. Pfeiffer Vacuum nennt 0,5–10⁻² hPa, einen stabilen Druck ohne Ölspuren und ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll.

Welche Vorpumpe für ein Elektronenmikroskop?

Edwards nennt schwingungsarme Drehschieber-, Scroll- und nXRi-Pumpen und für ESEM etwa 10 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für Elektronenmikroskope HiScroll und für CD-SEM ACP und HiScroll bei 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa; Busch nennt COBRA und R5.

Welche Vorpumpe für Hochvakuum, UHV und Beschleuniger?

Pfeiffer Vacuum beschreibt die Pumpenkette für unter 10⁻⁷ hPa mit einer Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa und nennt HiScroll, ACP und DuoVane, für Beschleuniger strahlungsfeste Pumpen. Edwards nennt XDS, RV, E2M, nXRi (unter 0,03 mbar), GV und E2S; Leybold SCROLLVAC plus, ECODRY plus, SOGEVAC BI/DI, NEO D und TRIVAC B; Busch COBRA für Beamlines und Teilchenbeschleuniger.

Welche Vakuumpumpe für Weltraumsimulation und TVAC-Tests?

Edwards nennt für die thermische Vakuumprüfung bei −80 bis +180 °C und unter 10⁻¹⁰ mbar mXDS, nXDS, XDS, EDS, GXS und nXRi. Leybold nennt Vorpumpen bis 1×10⁻² mbar: DRYVAC, RUVAC, TRIVAC B, SCREWLINE SP, ECODRY plus und LEYVAC. Pfeiffer Vacuum nennt für Ionenantriebe 10⁻⁷ bis einige 10⁻⁵ hPa mit ACP, HiLobe und HiScroll, Busch COBRA.

Welche Vakuumpumpe für Isolationsvakuum und Kryostaten?

Busch nennt COBRA, MINK, PANDA, PUMA und R5 für Isolationsvakuum und COBRA für die Kryotechnik. Pfeiffer Vacuum nennt ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll für die Vakuumisolierung bei Tieftemperaturversuchen; Edwards führt nXRi für die Regeneration von Kryopumpen und E2S für die Vakuumisolierung auf.

Welche Vakuumpumpe für die Lecksuche?

Busch nennt COBRA, R5 und PANDA für Leckdetektoren und die End-of-Line-Dichtheitsprüfung. Pfeiffer Vacuum nennt für die Helium-Lecksuche Leckraten von etwa 10⁻⁷ bis 10⁻⁹ mbar·l/s mit seinen Lecksuchern der ASM-Serie und als Pumpen für die Lecksuche ACP, DuoVane, HiScroll und HiLobe.

Einzelpumpe an jeder Maschine oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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