A 124 HSaugvermögen 95 m³/hEnddruck 0,05 mbar
A 604 H
Die Pfeiffer A 604 H ist eine trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 480 m³/h (50 Hz) bzw. 560 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 480 m³/h 50 Hz 560 m³/h 60 Hz
- Enddruck 3 × 10-3 mbar
Pfeiffer A 604 H – Trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe
Die Pfeiffer A 604 H ist eine trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 480 m³/h (50 Hz) bzw. 560 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,003 mbar.Merkmale
- Leistungsstark: trocken und energiesparend, für Halbleiter- und Beschichtungsanwendungen
- Flexibel: Einstellungen an die Prozessanforderungen anpassbar
- Zertifiziert: SEMI S2 und UL 61010
Typische Anwendungen
Pfeiffer nennt: Molkereiprodukte (Käseherstellung – Vakuumkammern für Käse, Käseherstellung – Käsetürme, Butterherstellung); Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Strippen/Veraschung, PVD u. a.); Dünnfilmbeschichtung (Laborbeschichtung).Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 480 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 560 |
| Enddruck | 3 × 10-3 |
| Gewicht | 370 |
| Länge | 96,1 |
| Breite | 38,8 |
| Höhe | 77,6 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 100 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 40 |
| Schallpegel | 68 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Einheiten umrechnen: Vakuum- und Druckeinheiten · Nm³/h in m³/h
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 480 m³/h (50 Hz) / 560 m³/h (60 Hz) |
| Enddruck | 3 · 10⁻³ mbar (50 Hz) / 2 · 10⁻³ mbar (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 2,1 kW (50 Hz) / 2,3 kW (60 Hz) |
| Schalldruckpegel | < 68 dB(A) |
| Kühlwasserdurchfluss | 2,5 – 4 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 961 × 388 × 776 mm |
| Gewicht (ca.) | 370 kg |
| Gaseinlass | DN 100 |
| Gasauslass | DN 40 |
A 124 HSaugvermögen 95 m³/hEnddruck 0,05 mbarA 204 H/XSaugvermögen 130 m³/hEnddruck 0,2 mbarA 804 H/XSaugvermögen 600 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarA 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1504 XNEnddruck 0,0145 mbarA 1804 XNEnddruck 0,0145 mbarA 3004 H/XEnddruck 4 × 10-3 mbarA 3004 XNEnddruck 4 × 10-3 mbarA 804 XNEnddruck 0,0145 mbar