Anwendung
Vakuumpumpen für die Vakuumbeschichtung
Bei der Vakuumbeschichtung entstehen dünne Schichten auf Glas, Werkzeugen, Folien, Wafern oder Kunststoffteilen – per PVD (Sputtern, Verdampfen), CVD, PECVD, ALD oder in der Plasmabehandlung. Die Kammer wird erst evakuiert und dann auf Prozessdruck gehalten, damit Dampf oder Prozessgas das Substrat erreichen und laut Atlas Copco gleichmäßige, haftende Schichten entstehen; Leybold nennt für optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 371 Modelle von 5 Herstellern.
371 Modelle vergleichenSo funktioniert es
- 371Modelle
- 30Serien
- 5Hersteller
- 10⁻²–10⁻⁶ mbarProzessdruck PVD-Schichten (Leybold)
Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.
Kurz gesagt
Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) – das Wichtigste in Kürze
- ProzessdruckLeybold nennt für optische Beschichtungen und den Betrieb von Glasbeschichtungsanlagen 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
- SchleusentaktBei der Architektur- und Automobilglasbeschichtung takten die Vorpumpen laut Leybold die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar; Edwards nennt für die Glasbeschichtung schnelle Pumpzyklen, Leybold für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solar-Inline-Anlagen kurze Takte.
- SaugvermögenPfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800 bis 4500 m³/h. Als Pumpstände nennen Leybold SOGEVAC mit RUVAC, Atlas Copco DWS mit ZRS und Edwards trockene Schraubenpumpen mit Booster.
- ProzessgaseBei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig; für Plasmaprozesse nennt Leybold Ausführungen wie TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE und VARODRY HD O2. Laut Busch werden Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichtet.
Funktionsprinzip
So funktioniert Vakuumbeschichtung (PVD, CVD)
Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.
- EvakuierenDie Kammer wird vom Atmosphärendruck auf den Prozessdruck abgepumpt – bei Chargenanlagen die ganze Kammer, bei Inline-Anlagen takten die Schleusen (laut Leybold von 1000 auf 1 mbar, 2–3 Zyklen pro Minute).
- BeschichtenPVD: Das Material wird verdampft oder gesputtert und kondensiert laut Edwards im Hochvakuum auf dem Substrat. CVD und ALD: Prozessgase reagieren am Substrat, laut Edwards ab 10⁻³ mbar, ALD laut Pfeiffer Vacuum bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
- BelüftenDas Ventil zur Pumpe schließt, die Kammer wird belüftet und neu beschickt; Inline-Anlagen schleusen das Substrat stattdessen über die Ausgangsschleuse aus, während die Prozesskammer unter Vakuum bleibt.
Vakuum und Auslegung
Wie viel Vakuum Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) braucht
Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.
Welches Vakuum
Leybold: optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar, Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar, Glasbeschichtung im Betrieb 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Edwards: CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum. Pfeiffer Vacuum: ALD 10⁻¹ bis 5 mbar, MBE etwa 10⁻¹¹ hPa. Atlas Copco nennt Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.
Welches Saugvermögen
Pfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800 bis 4500 m³/h. Daneben bestimmt der Takt die Auslegung: Leybold nennt 2–3 Schleusenzyklen pro Minute bei der Glasbeschichtung, sehr kurze Pumpzyklen bei Displays und kurze Takte in Solar-Inline-Anlagen; Edwards nennt schnelle Pumpzyklen für die Glasbeschichtung.
Was die Auslegung bestimmt
Der Prozess: Für PVD nennt Edwards Vorpumpen zusammen mit Turbo- oder Kryopumpen; CVD und ALD laufen bei höherem Druck, mit laut Pfeiffer Vacuum korrosiven oder pulvrigen Nebenprodukten. Bei Plasmaprozessen nennt Leybold PFPE- und O2-Ausführungen (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY, DRYVAC); für die Parylen-Beschichtung, bei der Parylen im Vakuum per Pyrolyse als porenfreier Film aufgebracht wird, NOVADRY und SCREWLINE SP.
Worauf die Hersteller hinweisen
Busch: Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichten. Leybold: Reinheit bei der Schichtbildung mit MBE und ALD; Low-E-Schichten reflektieren Sonnenenergie bei voller Transparenz. Edwards: reproduzierbare Bedingungen bei experimentellen Beschichtungen. Atlas Copco: Verkapselung von Solarzellen gegen Sauerstoff und Feuchte.
Technik
Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) nennen
Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.
Ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen
138 Modelle · 0,75–1.800 m³/h
Schrauben-Vakuumpumpen
99 Modelle · 63–7.385 m³/h
Wälzkolben-Vakuumpumpen
96 Modelle · 14–13.540 m³/h
Klauen-Vakuumpumpen
32 Modelle · 18–1.150 m³/h
Scroll-Vakuumpumpen
4 Modelle · 6,1–43 m³/h
Drehkolben-Vakuumpumpen
2 Modelle · 234–442 m³/h
Elmo Rietschle nennt die Anwendung, ohne dafür eine Serie zu bestimmen.
Produktübersicht
Alle 371 Modelle für Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) im Vergleich
Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.
Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle
DWS 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 14DWS 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 14DWS 500Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 7Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle
Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle
GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle
ZRS 250Saugvermögen 310 m³/h 50 Hz375 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4ZRS 500Saugvermögen 505 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4ZRS 1200Saugvermögen 1.195 m³/h 50 Hz1.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4ZRS 2600Saugvermögen 2.590 m³/h 50 Hz3.110 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 4ZRS 4200Saugvermögen 4.140 m³/h 50 Hz4.985 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 4Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten Busch MINK Serie 32 Modelle
MINK MB 0018 ASaugvermögen 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzEnddruck 600 mbarMotornennleistung 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUESaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MI 2124 BVSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0060 E ECOTORQUESaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0084 ASaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten MINK MM 1104 BVSaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 10
MINK MM 1104 CVMSaugvermögen 62 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 1,3 kW 50 HzVarianten 
MINK MM 0104 ASaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1144 BVSaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUESaugvermögen 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0142 ASaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1102 BVSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 6
MINK MM 1102 CVMSaugvermögen 110 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 HzVarianten 
MINK MI 2122 BVSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 0182 ASaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1142 BVSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 13
MINK MM 1324 AVSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2
MINK MM 1202 AVSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 11
MINK MM 1252 AVSaugvermögen 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 8MINK MW 0332 BSaugvermögen 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,8 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0312 BSaugvermögen 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 4
MINK MM 1322 AVSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVarianten 10
MINK MV 0310 BSaugvermögen 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVarianten MINK MV 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1402 AVSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0502 BSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0500 BSaugvermögen 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1502 AVSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 5
MINK MV 0602 BSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0600 BSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 1202 BSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3MINK MV 1200 B ECOTORQUESaugvermögen 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
PANDA WV 0250 CSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0250 BSaugvermögen 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4PUMA WY 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0500 D2Saugvermögen 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0500 BSaugvermögen 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0700 DSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PUMA WY 0700 CSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1000 D2Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WY 1250 CSaugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1250 D2Saugvermögen 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1800 ASaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 5PUMA WY 2000 CSaugvermögen 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 2000 D2Saugvermögen 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2200 ASaugvermögen 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten PUMA WY 3600 ASaugvermögen 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten PANDA WV 4500 BSaugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 4PUMA WP 4500 B2Saugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 5400 ASaugvermögen 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WP 8100 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten PUMA WY 8000 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WG 9600Saugvermögen 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzEnddruck 130 mbarMotornennleistung Varianten Busch R5 Serie 58 Modelle
R5 PB 0003 DSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0004 CSaugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0008 CSaugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 
R5 KB 0010 ESaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0012 ASaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten R5 RA 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0016 ESaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0020 ASaugvermögen 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten R5 RA 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0020 DSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 1
R5 RB 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 2R5 RC 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KD 0025 ASaugvermögen 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KB 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 3R5 KB 0040 DSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0040 FSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0040 CSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0063 FSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0063 CSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten R5 RA 0100 FSaugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0155 ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0165 DSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
R5 RD 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0165 D ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0200 A ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0205 DSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten R5 RD 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0205 D ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0240 A ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0255 DSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 3R5 RD 0300 ASaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0255 D ECOTORQUESaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0305 DSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten R5 RD 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0305 D ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0400 CSaugvermögen 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0520 ASaugvermögen 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0400 C ECOTORQUESaugvermögen 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 CSaugvermögen 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0520 A ECOTORQUESaugvermögen 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 C ECOTORQUESaugvermögen 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0600 A ECOTORQUESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0840 A ECOTORQUESaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0840 B PLUSSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 BSaugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1000 A PLUSSaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 B ECOTORQUESaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 1600 BSaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1600 A PLUSSaugvermögen 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten Edwards E2M Serie 9 Modelle
Edwards E2M0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 4Edwards E2M2.5Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVarianten 8
Edwards E2M28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 7
Edwards E2M40Saugvermögen 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzEnddruck 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M80Saugvermögen 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 5
Edwards E2M275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 5Edwards E2S Serie 3 Modelle
Edwards E2S45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards E2S65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 2Edwards E2S85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 2Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EDS200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS480Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards EXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450/2600Saugvermögen 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/2600Saugvermögen 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS450/4200Saugvermögen 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS750/8000Saugvermögen 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards nXRi Serie 5 Modelle
Edwards nXR30iSaugvermögen 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR40iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR60iSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR90iSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR120iSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
DRYVAC DV 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 500Saugvermögen 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,05 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5
DRYVAC DV 650Saugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 33DRYVAC DV 650 FPSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 8
DRYVAC DV 800Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 11DRYVAC DV 800 FP-rSaugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 1200Saugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3DRYVAC DV 1600Saugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVarianten 1Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
DURADRY DD 160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 1Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
NOVADRY ND 65Saugvermögen 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
NOVADRY ND 100Saugvermögen 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 160Saugvermögen 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 200Saugvermögen 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
RUVAC WA 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WA 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WAU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 7Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
RUVAC WH 700Saugvermögen 620 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3,8 kW 50 Hz2,6 – 3,8 kW 60 HzVarianten 9
RUVAC WH 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 – 11 kW 50 Hz7,4 – 11 kW 60 HzVarianten 24
RUVAC WHU 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 kW 50 Hz7,4 kW 60 HzVarianten 10
RUVAC WH 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 14
RUVAC WHU 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 7
RUVAC WH 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 19
RUVAC WHU 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
RUVAC WS 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WS 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WS 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WSU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WS 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 11
RUVAC WSU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 15Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
SCREWLINE SP 630Saugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6SCREWLINE SP 630 FSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 11Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
SOGEVAC SV 10 BSaugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 16 DSaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 13SOGEVAC SV 16 DISaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 4
SOGEVAC SV 16 BSaugvermögen 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 7
SOGEVAC SV 25 BSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 25 DSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 15
SOGEVAC SV 28 BISaugvermögen 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 40 BI FCSaugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 55 BI²Saugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 4
SOGEVAC SV 40 BSaugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 25
SOGEVAC SV 40 BISaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 65 BI FCSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 70 BI²Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 2
SOGEVAC SV 65 BSaugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 22
SOGEVAC SV 100 BSaugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 31SOGEVAC SV 120 BI FCSaugvermögen 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 120 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 220 BSaugvermögen 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 8
SOGEVAC SV 300 BSaugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 45
SOGEVAC SV 320 BSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 570 BSaugvermögen 470 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 630 BSaugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 34
SOGEVAC SV 750 BSaugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 15Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
TRIVAC D 2,5 ESaugvermögen 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 BSaugvermögen 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 4 TSaugvermögen 4,3 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 5 LSaugvermögen 5,1 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 8 TSaugvermögen 8,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 BSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 12 LSaugvermögen 12 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 16 TSaugvermögen 16,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 BSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 6
TRIVAC D 16 BCSSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 25 BSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 25 BCSSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 30 TSaugvermögen 30,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BCSSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 40 LSaugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 4TRIVAC D 63 LSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TRIVAC D 65 BCSSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 90 LSaugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
A 124 HSaugvermögen 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten A 204 H/XSaugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten A 604 HSaugvermögen 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 H/XSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 XNSaugvermögen 1.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 XNSaugvermögen 1.600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 H/XSaugvermögen 3.000 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 XNSaugvermögen 2.900 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 XNSaugvermögen 600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
ACP 15Saugvermögen 14 m³/h 50 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 9ACP 28Saugvermögen 27 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 14ACP 40Saugvermögen 37 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 15ACP 90Saugvermögen 88 m³/h 50 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
DuoVane 1.6Saugvermögen 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 9DuoVane 3Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 10DuoVane 6Saugvermögen 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 12Saugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 18Saugvermögen 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 22Saugvermögen 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 30Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 36Saugvermögen 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 11DuoVane 70Saugvermögen 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 13DuoVane 95Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 135Saugvermögen 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVarianten 3DuoVane 300Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
HiLobe 1002Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 1004Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1302Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1304Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2104Saugvermögen 2.100 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2703Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 2704Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4504Saugvermögen 4.440 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4503Saugvermögen 4.500 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6203Saugvermögen 6.200 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6204Saugvermögen 6.220 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 8103Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 8104Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11003Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11004Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14003Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14004Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
TORRI BD 0100 ASaugvermögen 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0300 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0600 ASaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten Kein Modell entspricht diesen Filtern.
Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle
Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle
Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle
Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle
Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
Busch MINK Serie 32 Modelle
Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
Busch R5 Serie 58 Modelle
Edwards E2M Serie 9 Modelle
Edwards E2S Serie 3 Modelle
Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards nXRi Serie 5 Modelle
Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.
Branchen
Wo die Hersteller Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) nennen
Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.
Beschichtung und Dünnschicht
Busch, Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum beschreiben die Beschichtung als eigene Branche – PVD, CVD, PECVD und ALD für optische, dekorative, Verschleißschutz-, Glas-, Display- und Solarschichten: Leybold mit SOGEVAC, TRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY, NOVADRY und RUVAC, Pfeiffer Vacuum mit A4, ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll und TORRI, Busch mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA, Edwards mit EDS, EXS, E2S, E2M und nXRi.
Halbleiter, Elektronik und Display
Pfeiffer Vacuum nennt für die Dünnfilmabscheidung PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE mit der A4 Serie – ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar mit 1800 bis 4500 m³/h, MBE bei etwa 10⁻¹¹ hPa; Busch führt ALD, LPCVD/Diffusion, PECVD und PVD mit der COBRA Semicon Serie.
Solar und Photovoltaik
Atlas Copco nennt Sputtern, CVD und PVD sowie die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte; Busch CVD/PECVD für Antireflexschichten mit COBRA DS und PVD mit COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY; Leybold TCO-Schichten per PVD, CIGS/CdTe und CVD bei HJT in Inline-Anlagen mit kurzen Takten, mit DRYVAC und RUVAC.
Maschinenbau und Fertigung
Edwards nennt die Plasmabehandlung – Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung und -reinigung – mit E2S, E2M FX und nXRi sowie Schraubenpumpe plus Wälzkolbenpumpe; laut Leybold werden Prozessgase im Vakuum zu Plasma zum Beschichten, Reinigen, Aktivieren und Ätzen, mit TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE, DURADRY und DRYVAC.
Metallurgie und Wärmebehandlung
Busch nennt das Beschichten in der Metallurgie mit COBRA, PANDA und PUMA; Pfeiffer Vacuum harte Schichten auf Werkzeugen für Stanzen und Druckguss.
Forschung, Labor und Analytik
Busch nennt die Beschichtung in Analytik und Labor mit COBRA, R5 und PANDA/PUMA; Edwards experimentelle Beschichtungen unter reproduzierbaren Bedingungen mit Drehschieber-Vakuumpumpen; Leybold die Dünnschichtherstellung mit MBE und ALD, bei der es auf Reinheit ankommt.
Automobil und Transport
Busch nennt Funktions- und Schutzschichten, zum Beispiel auf Bipolarplatten; auf ihren Produktseiten führen Atlas Copco die Beschichtung im Automobilbereich mit DWS 200–500 und Edwards die Automobil-Beschichtung mit EDS auf.
Wasserstoff und Brennstoffzellen
Leybold nennt die PVD-Beschichtung von Bipolarplatten: In Brennstoffzellen schützt die Schicht vor Korrosion bei guter Leitfähigkeit, in Elektrolyseuren werden Schutz- und Katalysatorschichten im Vakuum aufgebracht.
Luft- und Raumfahrt
Atlas Copco nennt die Vakuumbeschichtung in der Luft- und Raumfahrt: Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.
Chemie
Elmo Rietschle führt die Beschichtung unter seinen Anwendungen für die Chemie auf, ohne sie näher zu beschreiben.
Häufige Fragen
Häufige Fragen zu Vakuumbeschichtung (PVD, CVD)
Wie funktioniert Vakuumbeschichtung?
Die Kammer mit dem Substrat wird evakuiert, dann wird die Schicht aufgebracht. Beim PVD wird das Material verdampft oder gesputtert und kondensiert laut Edwards im Hochvakuum auf dem Substrat; beim CVD reagiert ein Gas am Substrat, laut Edwards ab 10⁻³ mbar. Das Vakuum sorgt laut Atlas Copco für gleichmäßige, haftende Schichten; laut Busch werden Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichtet.
Was ist der Unterschied zwischen PVD und CVD?
PVD (physikalische Gasphasenabscheidung) verdampft oder zerstäubt ein festes Material, das sich auf dem Substrat niederschlägt – laut Edwards Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum, laut Leybold bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. CVD (chemische Gasphasenabscheidung) lässt Prozessgase am Substrat reagieren, laut Edwards ab 10⁻³ mbar; ALD läuft laut Pfeiffer Vacuum bei 10⁻¹ bis 5 mbar. Für CVD und ALD nennt Pfeiffer Vacuum korrosive oder pulvrige Nebenprodukte.
Wie viel Vakuum braucht eine PVD-Beschichtung?
Leybold nennt für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar, für optische Mehrlagenschichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für den Betrieb von Glasbeschichtungsanlagen 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum, Atlas Copco nennt Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.
Welche Vakuumpumpe für PVD-Beschichtung?
Leybold nennt für PVD-Schichten DRYVAC, SCREWLINE und SOGEVAC mit RUVAC als Vorpumpen, daneben VARODRY und POWER BOOST; Pfeiffer Vacuum nennt für PVD A4 und TORRI, für dekorative PVD-Farbschichten ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch nennt für PVD COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY sowie die COBRA Semicon Serie. Für das Hochvakuum nennt Edwards Vorpumpen zusammen mit Turbo- oder Kryopumpen.
Welche Vakuumpumpe für CVD, PECVD und ALD?
Pfeiffer Vacuum nennt für PECVD/SACVD, ALD und LPCVD/Diffusion die A4 Serie – für ALD mit 1800 bis 4500 m³/h bei 10⁻¹ bis 5 mbar; Busch führt ALD, LPCVD/Diffusion und PECVD mit der COBRA Semicon Serie und CVD/PECVD für Antireflexschichten mit COBRA DS; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar mit EXS; Atlas Copco nennt die Hartbeschichtung per CVD/DLC mit DWS VSD+.
Ölfrei oder ölgeschmiert für die Vakuumbeschichtung?
Die Hersteller nennen beides. Leybold führt neben den trockenen DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY und NOVADRY die ölgeschmierten SOGEVAC und TRIVAC auf; Atlas Copco die trockenen DWS und DWS VSD+ ebenso wie die ölgeschmierten GVD und GLS; Busch die ölgeschmierte R5 neben den trockenen COBRA und MINK; Edwards nennt für die Glasbeschichtung die trockenen Schraubenpumpen EDS und EXS, für die Plasmabehandlung auch E2S und E2M FX. Für Plasmaprozesse nennt Leybold Pumpen mit PFPE-Füllung (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE).
Welche Vakuumpumpe für die Glasbeschichtung?
Leybold beschreibt die Architektur- und Automobilglasbeschichtung als PVD-Sputtern mehrlagiger Schichten, bei dem die Vorpumpen die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar takten; genannt werden SCREWLINE, DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC, dazu POWER BOOST sowie TURBOVAC, COOLVAC und DIJ/DIP für das Hochvakuum. Edwards nennt EDS und EXS für schnelle Pumpzyklen, Atlas Copco DWS, DWS VSD+ und GLS für die großflächige Glasbeschichtung, Pfeiffer Vacuum ACP 120 und HiLobe für Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline, Busch COBRA, PANDA und R5.
Welche Vakuumpumpe für Verschleißschutz- und Dekorbeschichtungen?
Leybold nennt harte und dekorative Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar mit DRYVAC, SCREWLINE und SOGEVAC plus RUVAC; Pfeiffer Vacuum harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen mit DuoVane (daneben COMBI, HiLobe, HiScroll) und PVD-Farbschichten wie TiN und ZrN mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch Verschleißschutz mit COBRA, PANDA/PUMA und R5 und dekorative Beschichtung zusätzlich mit MINK; Atlas Copco die Hartbeschichtung per CVD/DLC mit DWS VSD+.
Welche Vakuumpumpe für Rolle-zu-Rolle- und Bandbeschichtung?
Leybold beschreibt die Beschichtung flexibler Bahnen per PVD, PECVD oder Verdampfen bei 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar und nennt dafür ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen, Wälzkolben- und Kryopumpen sowie die Turbopumpen TURBOVAC i. Atlas Copco nennt für die Walz- und Bandbeschichtung DWS VSD+, Edwards für die Bahnbeschichtung und das Plasmaspritzen EXS.
Was tun, wenn Prozessgase die Vakuumpumpe angreifen?
Pfeiffer Vacuum nennt für CVD und ALD korrosive oder pulvrige Nebenprodukte – ein Abscheider oder Filter vor der Pumpe hält den Staub zurück. Für Plasmaprozesse nennt Leybold Ausführungen wie TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC; Atlas Copco nennt für Plasmabehandlung und Oberflächenaktivierung GVD und DWS VSD+, Edwards E2S, E2M FX und nXRi.
Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?
Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.
Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?
Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.
Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?
Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.
