Anwendung

Vakuumpumpen für die Vakuumbeschichtung

Bei der Vakuumbeschichtung entstehen dünne Schichten auf Glas, Werkzeugen, Folien, Wafern oder Kunststoffteilen – per PVD (Sputtern, Verdampfen), CVD, PECVD, ALD oder in der Plasmabehandlung. Die Kammer wird erst evakuiert und dann auf Prozessdruck gehalten, damit Dampf oder Prozessgas das Substrat erreichen und laut Atlas Copco gleichmäßige, haftende Schichten entstehen; Leybold nennt für optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 371 Modelle von 5 Herstellern.

371 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 371Modelle
  • 30Serien
  • 5Hersteller
  • 10⁻²–10⁻⁶ mbarProzessdruck PVD-Schichten (Leybold)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) – das Wichtigste in Kürze

  • ProzessdruckLeybold nennt für optische Beschichtungen und den Betrieb von Glasbeschichtungsanlagen 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
  • SchleusentaktBei der Architektur- und Automobilglasbeschichtung takten die Vorpumpen laut Leybold die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar; Edwards nennt für die Glasbeschichtung schnelle Pumpzyklen, Leybold für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solar-Inline-Anlagen kurze Takte.
  • SaugvermögenPfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800 bis 4500 m³/h. Als Pumpstände nennen Leybold SOGEVAC mit RUVAC, Atlas Copco DWS mit ZRS und Edwards trockene Schraubenpumpen mit Booster.
  • ProzessgaseBei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig; für Plasmaprozesse nennt Leybold Ausführungen wie TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE und VARODRY HD O2. Laut Busch werden Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichtet.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Vakuumbeschichtung (PVD, CVD)

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. EvakuierenDie Kammer wird vom Atmosphärendruck auf den Prozessdruck abgepumpt – bei Chargenanlagen die ganze Kammer, bei Inline-Anlagen takten die Schleusen (laut Leybold von 1000 auf 1 mbar, 2–3 Zyklen pro Minute).
  2. BeschichtenPVD: Das Material wird verdampft oder gesputtert und kondensiert laut Edwards im Hochvakuum auf dem Substrat. CVD und ALD: Prozessgase reagieren am Substrat, laut Edwards ab 10⁻³ mbar, ALD laut Pfeiffer Vacuum bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
  3. BelüftenDas Ventil zur Pumpe schließt, die Kammer wird belüftet und neu beschickt; Inline-Anlagen schleusen das Substrat stattdessen über die Ausgangsschleuse aus, während die Prozesskammer unter Vakuum bleibt.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold: optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar, Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar, Glasbeschichtung im Betrieb 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Edwards: CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum. Pfeiffer Vacuum: ALD 10⁻¹ bis 5 mbar, MBE etwa 10⁻¹¹ hPa. Atlas Copco nennt Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.

Welches Saugvermögen

Pfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800 bis 4500 m³/h. Daneben bestimmt der Takt die Auslegung: Leybold nennt 2–3 Schleusenzyklen pro Minute bei der Glasbeschichtung, sehr kurze Pumpzyklen bei Displays und kurze Takte in Solar-Inline-Anlagen; Edwards nennt schnelle Pumpzyklen für die Glasbeschichtung.

Was die Auslegung bestimmt

Der Prozess: Für PVD nennt Edwards Vorpumpen zusammen mit Turbo- oder Kryopumpen; CVD und ALD laufen bei höherem Druck, mit laut Pfeiffer Vacuum korrosiven oder pulvrigen Nebenprodukten. Bei Plasmaprozessen nennt Leybold PFPE- und O2-Ausführungen (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY, DRYVAC); für die Parylen-Beschichtung, bei der Parylen im Vakuum per Pyrolyse als porenfreier Film aufgebracht wird, NOVADRY und SCREWLINE SP.

Worauf die Hersteller hinweisen

Busch: Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichten. Leybold: Reinheit bei der Schichtbildung mit MBE und ALD; Low-E-Schichten reflektieren Sonnenenergie bei voller Transparenz. Edwards: reproduzierbare Bedingungen bei experimentellen Beschichtungen. Atlas Copco: Verkapselung von Solarzellen gegen Sauerstoff und Feuchte.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Elmo Rietschle nennt die Anwendung, ohne dafür eine Serie zu bestimmen.

Produktübersicht

Alle 371 Modelle für Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle

DWS 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 14
DWS 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 14
DWS 500Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 7

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle

GLS 250Saugvermögen 234 m³/h 50 Hz234 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
GLS 500Saugvermögen 442 m³/h 50 Hz442 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1
GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1
GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1
GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2
GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2

Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold DURADRY Serie 3 Modelle

Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Vakuumbeschichtung (PVD, CVD) nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Beschichtung und Dünnschicht

Busch, Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum beschreiben die Beschichtung als eigene Branche – PVD, CVD, PECVD und ALD für optische, dekorative, Verschleißschutz-, Glas-, Display- und Solarschichten: Leybold mit SOGEVAC, TRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY, NOVADRY und RUVAC, Pfeiffer Vacuum mit A4, ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll und TORRI, Busch mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA, Edwards mit EDS, EXS, E2S, E2M und nXRi.

Vakuum in Beschichtung und Dünnschicht →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum nennt für die Dünnfilmabscheidung PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE mit der A4 Serie – ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar mit 1800 bis 4500 m³/h, MBE bei etwa 10⁻¹¹ hPa; Busch führt ALD, LPCVD/Diffusion, PECVD und PVD mit der COBRA Semicon Serie.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Solar und Photovoltaik

Atlas Copco nennt Sputtern, CVD und PVD sowie die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte; Busch CVD/PECVD für Antireflexschichten mit COBRA DS und PVD mit COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY; Leybold TCO-Schichten per PVD, CIGS/CdTe und CVD bei HJT in Inline-Anlagen mit kurzen Takten, mit DRYVAC und RUVAC.

Vakuum in Solar und Photovoltaik →

Maschinenbau und Fertigung

Edwards nennt die Plasmabehandlung – Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung und -reinigung – mit E2S, E2M FX und nXRi sowie Schraubenpumpe plus Wälzkolbenpumpe; laut Leybold werden Prozessgase im Vakuum zu Plasma zum Beschichten, Reinigen, Aktivieren und Ätzen, mit TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE, DURADRY und DRYVAC.

Vakuum in Maschinenbau und Fertigung →

Metallurgie und Wärmebehandlung

Busch nennt das Beschichten in der Metallurgie mit COBRA, PANDA und PUMA; Pfeiffer Vacuum harte Schichten auf Werkzeugen für Stanzen und Druckguss.

Vakuum in Metallurgie und Wärmebehandlung →

Forschung, Labor und Analytik

Busch nennt die Beschichtung in Analytik und Labor mit COBRA, R5 und PANDA/PUMA; Edwards experimentelle Beschichtungen unter reproduzierbaren Bedingungen mit Drehschieber-Vakuumpumpen; Leybold die Dünnschichtherstellung mit MBE und ALD, bei der es auf Reinheit ankommt.

Vakuum in Forschung, Labor und Analytik →

Automobil und Transport

Busch nennt Funktions- und Schutzschichten, zum Beispiel auf Bipolarplatten; auf ihren Produktseiten führen Atlas Copco die Beschichtung im Automobilbereich mit DWS 200–500 und Edwards die Automobil-Beschichtung mit EDS auf.

Vakuum in Automobil und Transport →

Wasserstoff und Brennstoffzellen

Leybold nennt die PVD-Beschichtung von Bipolarplatten: In Brennstoffzellen schützt die Schicht vor Korrosion bei guter Leitfähigkeit, in Elektrolyseuren werden Schutz- und Katalysatorschichten im Vakuum aufgebracht.

Vakuum in Wasserstoff und Brennstoffzellen →

Luft- und Raumfahrt

Atlas Copco nennt die Vakuumbeschichtung in der Luft- und Raumfahrt: Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.

Vakuum in Luft- und Raumfahrt →

Chemie

Elmo Rietschle führt die Beschichtung unter seinen Anwendungen für die Chemie auf, ohne sie näher zu beschreiben.

Vakuum in Chemie →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumbeschichtung (PVD, CVD)

Wie funktioniert Vakuumbeschichtung?

Die Kammer mit dem Substrat wird evakuiert, dann wird die Schicht aufgebracht. Beim PVD wird das Material verdampft oder gesputtert und kondensiert laut Edwards im Hochvakuum auf dem Substrat; beim CVD reagiert ein Gas am Substrat, laut Edwards ab 10⁻³ mbar. Das Vakuum sorgt laut Atlas Copco für gleichmäßige, haftende Schichten; laut Busch werden Oberflächen in einer sauberen Vakuumkammer beschichtet.

Was ist der Unterschied zwischen PVD und CVD?

PVD (physikalische Gasphasenabscheidung) verdampft oder zerstäubt ein festes Material, das sich auf dem Substrat niederschlägt – laut Edwards Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum, laut Leybold bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. CVD (chemische Gasphasenabscheidung) lässt Prozessgase am Substrat reagieren, laut Edwards ab 10⁻³ mbar; ALD läuft laut Pfeiffer Vacuum bei 10⁻¹ bis 5 mbar. Für CVD und ALD nennt Pfeiffer Vacuum korrosive oder pulvrige Nebenprodukte.

Wie viel Vakuum braucht eine PVD-Beschichtung?

Leybold nennt für Verschleißschutz- und Dekorschichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar, für optische Mehrlagenschichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für den Betrieb von Glasbeschichtungsanlagen 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum, Atlas Copco nennt Hochvakuum für gleichmäßige, haftende Schichten.

Welche Vakuumpumpe für PVD-Beschichtung?

Leybold nennt für PVD-Schichten DRYVAC, SCREWLINE und SOGEVAC mit RUVAC als Vorpumpen, daneben VARODRY und POWER BOOST; Pfeiffer Vacuum nennt für PVD A4 und TORRI, für dekorative PVD-Farbschichten ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch nennt für PVD COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY sowie die COBRA Semicon Serie. Für das Hochvakuum nennt Edwards Vorpumpen zusammen mit Turbo- oder Kryopumpen.

Welche Vakuumpumpe für CVD, PECVD und ALD?

Pfeiffer Vacuum nennt für PECVD/SACVD, ALD und LPCVD/Diffusion die A4 Serie – für ALD mit 1800 bis 4500 m³/h bei 10⁻¹ bis 5 mbar; Busch führt ALD, LPCVD/Diffusion und PECVD mit der COBRA Semicon Serie und CVD/PECVD für Antireflexschichten mit COBRA DS; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar mit EXS; Atlas Copco nennt die Hartbeschichtung per CVD/DLC mit DWS VSD+.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Vakuumbeschichtung?

Die Hersteller nennen beides. Leybold führt neben den trockenen DRYVAC, SCREWLINE, DURADRY und NOVADRY die ölgeschmierten SOGEVAC und TRIVAC auf; Atlas Copco die trockenen DWS und DWS VSD+ ebenso wie die ölgeschmierten GVD und GLS; Busch die ölgeschmierte R5 neben den trockenen COBRA und MINK; Edwards nennt für die Glasbeschichtung die trockenen Schraubenpumpen EDS und EXS, für die Plasmabehandlung auch E2S und E2M FX. Für Plasmaprozesse nennt Leybold Pumpen mit PFPE-Füllung (TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC PFPE).

Welche Vakuumpumpe für die Glasbeschichtung?

Leybold beschreibt die Architektur- und Automobilglasbeschichtung als PVD-Sputtern mehrlagiger Schichten, bei dem die Vorpumpen die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar takten; genannt werden SCREWLINE, DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC, dazu POWER BOOST sowie TURBOVAC, COOLVAC und DIJ/DIP für das Hochvakuum. Edwards nennt EDS und EXS für schnelle Pumpzyklen, Atlas Copco DWS, DWS VSD+ und GLS für die großflächige Glasbeschichtung, Pfeiffer Vacuum ACP 120 und HiLobe für Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline, Busch COBRA, PANDA und R5.

Welche Vakuumpumpe für Verschleißschutz- und Dekorbeschichtungen?

Leybold nennt harte und dekorative Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar mit DRYVAC, SCREWLINE und SOGEVAC plus RUVAC; Pfeiffer Vacuum harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen mit DuoVane (daneben COMBI, HiLobe, HiScroll) und PVD-Farbschichten wie TiN und ZrN mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch Verschleißschutz mit COBRA, PANDA/PUMA und R5 und dekorative Beschichtung zusätzlich mit MINK; Atlas Copco die Hartbeschichtung per CVD/DLC mit DWS VSD+.

Welche Vakuumpumpe für Rolle-zu-Rolle- und Bandbeschichtung?

Leybold beschreibt die Beschichtung flexibler Bahnen per PVD, PECVD oder Verdampfen bei 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar und nennt dafür ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen, Wälzkolben- und Kryopumpen sowie die Turbopumpen TURBOVAC i. Atlas Copco nennt für die Walz- und Bandbeschichtung DWS VSD+, Edwards für die Bahnbeschichtung und das Plasmaspritzen EXS.

Was tun, wenn Prozessgase die Vakuumpumpe angreifen?

Pfeiffer Vacuum nennt für CVD und ALD korrosive oder pulvrige Nebenprodukte – ein Abscheider oder Filter vor der Pumpe hält den Staub zurück. Für Plasmaprozesse nennt Leybold Ausführungen wie TRIVAC B BCS-PFPE, RUVAC mit PFPE, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC; Atlas Copco nennt für Plasmabehandlung und Oberflächenaktivierung GVD und DWS VSD+, Edwards E2S, E2M FX und nXRi.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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