COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 9161 B
Die Busch COBRA DS 9161 B ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 6220 m³/h und einem Enddruck von 0,001 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz 6.220 m³/h 60 Hz
- Enddruck 1 × 10-3 mbar
- Motornennleistung 35 kW 50 Hz 35 kW 60 Hz
Busch COBRA DS 9161 B – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 9161 B ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 6220 m³/h, der Enddruck 0,001 mbar. Motornennleistung 35 kW.Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor
Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 6.220 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 6.220 |
| Enddruck | 1 × 10-3 |
| Motornennleistung 50Hz | 35 |
| Motornennleistung 60Hz | 35 |
| Gewicht | 1.875 |
| Länge | 156,7 |
| Breite | 81 |
| Höhe | 161,5 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 200 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 63 |
| Schallpegel | 75 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 6220 m³/h |
| Enddruck | 0,001 mbar |
| Motornennleistung Vorpumpe | 15 kW |
| Motornennleistung Vakuum-Booster | 20 kW |
| Nenndrehzahl Vorpumpe | 3600 min⁻¹ |
| Nenndrehzahl Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 13 kW |
| Leistungsaufnahme im Leerlauf | 11 kW |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 75 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 14 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 1567 × 810 × 1615 mm |
| Gewicht (ca.) | 1875 kg |
| Gaseinlass | DN 200 |
| Gasauslass | DN 63 |
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar