Ehrler & Beck Vakuum- und Drucklufttechnik GmbH
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Busch COBRA DS 9161 B – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA DS 9161 B ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 6220 m³/h, der Enddruck 0,001 mbar. Motornennleistung 35 kW.

Merkmale

  • Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
  • Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor

Beratung und Service

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