Branche

Vakuumpumpen für Laser und Photonik

In Laseranlagen hält Vakuum Prozessgase im Kreislauf, evakuiert Kammern vor der Schutzgasbefüllung und sorgt in der Photonikforschung für eine partikelfreie, stabile Umgebung. Als Branche nennt nur Becker die Laserindustrie – mit gasdichten, reinraummontierten Gebläsen, die Edelgase wie Helium und Schutzgase saugen und umwälzen; die weiteren Aussagen stammen von den Anwendungsseiten von Edwards, Pfeiffer Vacuum und Busch. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 181 Modelle von 4 Herstellern.

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  • 181Modelle
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Funktionsprinzip einer Schrauben-Vakuumpumpe – die Technologie mit den meisten Modellen auf dieser Seite. Zur Technologieseite

Kurz gesagt

Vakuumpumpen für Laser und Photonik – das Wichtigste in Kürze

  • Eine BranchenaussageBecker führt die Laserindustrie als Markt: Gasdichte, reinraummontierte Gebläse saugen und wälzen Edelgase wie Helium und Schutzgase. Genannt sind die Drehschieber-Serien VT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U und U4 sowie die Seitenkanal- und Radialgebläse SV, VASF, VARIAIR RV und VATP; alle weiteren Angaben auf dieser Seite stammen von Anwendungsseiten.
  • GasumwälzungBecker beschreibt gasdichte Gebläse, die teure Gase verlustfrei im Kreislauf fördern, während Wärmetauscher kühlen – mit KF-Flanschen; genannt sind SV, VASF, VARIAIR RV und VATP. Die Gasumwälzung in CO₂-Lasern führt Becker als Einsatz der Laserindustrie auf.
  • LeckrateFür die Inertgas-Umwälzung in Laserschmelz-3D-Druckern nennt Becker eine Leckrate unter 1×10⁻⁵ mbar·l/s; SV und VASF saugen das Schutzgas ab, filtern es und führen es zurück.
  • VorpumpenEdwards nennt für Hochleistungslaser ein stabiles Vakuum mit der XDS. Pfeiffer Vacuum nennt für die Photonikforschung eine partikelfreie Umgebung für die Optik und für Ultrahochvakuum unter 10⁻⁷ hPa eine Pumpenkette, deren Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa reicht (DuoVane, HiScroll, ACP).

Anwendungen

Wofür Laser und Photonik Vakuumpumpen braucht

Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.

Vorpumpen für Hochleistungslaser und Photonikforschung

Hochvakuumaufbauten in Laser- und Photoniklaboren brauchen eine Vorpumpe, die das Vakuum stabil und sauber hält. Edwards nennt für Hochleistungslaser ein stabiles Vakuum mit der XDS; Pfeiffer Vacuum nennt für die Photonikforschung eine partikelfreie Umgebung für die Optik (A 100/200 L, ACP, HiScroll, TORRI) und für Ultrahochvakuum unter 10⁻⁷ hPa eine Pumpenkette mit Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa (DuoVane, HiScroll, ACP). Busch führt die Photonik-Forschung im Produktfinder mit COBRA Industry und COBRA Semicon.

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Laserschmelzen im 3D-Druck

In Laserschmelz-3D-Druckern wird das Schutzgas laut Becker abgesaugt, gefiltert und zurückgeführt; für diese Inertgas-Umwälzung nennt Becker SV und VASF und eine Leckrate unter 1×10⁻⁵ mbar·l/s. Dieselben Serien führt Becker für das Fördern von Metallpulver unter Inertgas auf; das Evakuieren der Baukammer vor der Inertgasbefüllung nennt Becker ohne Familie.

  • BeckerSV, VASF Baukammer evakuieren ohne Serie genannt

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CO₂-Laser: Prozesskreislauf evakuieren

Becker führt das Evakuieren des CO₂-Laser-Prozesskreislaufs als Einsatz der Laserindustrie auf – ohne Beschreibung und ohne Serie. Auf seiner Anwendungsseite Evakuieren beschreibt Becker, wie Luft oder Gas rasch aus Kammern und Behältern entfernt wird, und nennt dafür VT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, BCV, SV, VASF, VARIAIR RV, VATP, T und DVT.

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Gasumwälzung in CO₂-Lasern

Das Lasergas läuft im Kreislauf und soll nicht verloren gehen: Becker beschreibt gasdichte Gebläse, die teure Gase verlustfrei im Kreislauf fördern, während Wärmetauscher kühlen – mit KF-Flanschen und den Serien SV, VASF, VARIAIR RV und VATP. Die Gasumwälzung in CO₂-Lasern führt Becker als Einsatz der Laserindustrie auf; dort heißt es, dass gasdichte, reinraummontierte Gebläse Edelgase wie Helium und Schutzgase saugen und umwälzen.

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Abbrandabsaugung beim Laserschweißen

Beim Laserschweißen entstehen Rauch und Abbrand, die abgesaugt werden. Becker führt die Abbrandabsaugung beim Laserschweißen als Einsatz der Laserindustrie auf – nur als Stichwort, ohne Beschreibung und ohne Serie.

  • Beckernur gelistet, ohne Serie

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Hersteller und Serien

4 Hersteller, 25 Serien für Laser und Photonik

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 181 Modelle für Laser und Photonik im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Becker BCV Serie 7 Modelle

BCV 100Saugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,2 – 3 kW 60 HzVarianten 4
BCV 150Saugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 – 4 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVarianten 4
BCV 300Saugvermögen 275 m³/h 50 Hz325 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 4
BCV 400Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5
BCV 400 FDSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 4
BCV 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5
BCV 500 FDSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5

Becker DVT Serie 4 Modelle

DVT 3.60Saugvermögen 58 m³/h 50 Hz69 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3,6 kW 60 HzVarianten 6
DVT 3.80Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz82 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten
DVT 3.100Saugvermögen 103 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten
DVT 3.140Saugvermögen 137 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten

Becker KVT Serie 4 Modelle

KVT 3.60Saugvermögen 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVT 3.80Saugvermögen 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVT 3.100Saugvermögen 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten 8
KVT 3.140Saugvermögen 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVarianten 7

Becker KVX Serie 4 Modelle

KVX 3.60Saugvermögen 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVX 3.80Saugvermögen 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVX 3.100Saugvermögen 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten 8
KVX 3.140Saugvermögen 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVarianten 7

Becker O Serie 6 Modelle

O 6.4Saugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,12 kW 50 Hz0,15 kW 60 HzVarianten
O 6.8Saugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,3 kW 50 Hz0,36 kW 60 HzVarianten
O 5.10 (XL)Saugvermögen 10,5 m³/h 50 Hz12,5 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,45 – 0,66 kW 60 HzVarianten 6
O 5.16 (XL)Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 6
O 5.21 (XL)Saugvermögen 23,5 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 6

Becker SV Serie 16 Modelle

Becker T Serie 6 Modelle

Becker U4 Serie 6 Modelle

Becker U Serie 8 Modelle

Becker VADS Serie 3 Modelle

Becker VARIAIR RV Serie 1 Modell

Becker VASF Serie 6 Modelle

Becker VATP Serie 1 Modell

Becker VTLF Serie 6 Modelle

Becker VT Serie 7 Modelle

Becker VXLF Serie 5 Modelle

Becker VX Serie 4 Modelle

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Auswahl

Vakuumpumpe für Laser und Photonik auswählen

Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.

Gasdichtheit

Für Lasergase zählt, dass nichts entweicht: Becker nennt für die Inertgas-Umwälzung in Laserschmelz-3D-Druckern eine Leckrate unter 1×10⁻⁵ mbar·l/s und beschreibt gasdichte Gebläse mit KF-Flanschen, die teure Gase verlustfrei im Kreislauf fördern (SV, VASF, VARIAIR RV, VATP).

Reinraum und Partikel

Becker nennt für die Laserindustrie reinraummontierte Gebläse. Pfeiffer Vacuum nennt für die Photonikforschung eine partikelfreie Umgebung für die Optik und führt dafür A 100/200 L, ACP, HiScroll und TORRI im Produktfinder.

Druckbereich der Pumpenkette

Pfeiffer Vacuum nennt für Ultrahochvakuum unter 10⁻⁷ hPa Design, Werkstoffe und eine Pumpenkette, deren Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa reicht (DuoVane, HiScroll, ACP). Edwards führt als Vorpumpen für Turbo- und Hochvakuumpumpen XDS, RV, E2M, nXRi, GV und E2S und nennt für die nXRi einen Druck unter 0,03 mbar.

Evakuieren vor dem Schutzgas

Becker nennt das Evakuieren der Baukammer vor der Inertgasbefüllung im 3D-Druck und das Evakuieren des CO₂-Laser-Prozesskreislaufs – beides ohne Serie. Auf seiner Seite Evakuieren beschreibt Becker das rasche Entfernen von Luft oder Gas aus Kammern und Behältern mit VT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, BCV, SV, VASF, VARIAIR RV, VATP, T und DVT.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Laser und Photonik

Welche Vakuumpumpe für einen CO₂-Laser?

Becker führt für die Laserindustrie das Evakuieren des CO₂-Laser-Prozesskreislaufs und die Gasumwälzung in CO₂-Lasern auf, dort ohne Serie. Für das Gasumwälzen nennt Becker die gasdichten Gebläse SV, VASF, VARIAIR RV und VATP, für das Evakuieren von Kammern VT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, BCV, SV, VASF, VARIAIR RV, VATP, T und DVT.

Welches Gebläse für die Gasumwälzung im Laser?

Becker beschreibt gasdichte Gebläse, die teure Gase verlustfrei im Kreislauf fördern, während Wärmetauscher kühlen, mit KF-Flanschen: SV, VASF, VARIAIR RV und VATP. Für die Laserindustrie nennt Becker gasdichte, reinraummontierte Gebläse, die Edelgase wie Helium und Schutzgase saugen und umwälzen.

Warum müssen Gebläse für Lasergase gasdicht sein?

Weil das Gas im Kreislauf bleiben soll: Becker beschreibt, dass gasdichte Gebläse teure Gase verlustfrei im Kreislauf fördern. Für die Inertgas-Umwälzung in Laserschmelz-3D-Druckern nennt Becker eine Leckrate unter 1×10⁻⁵ mbar·l/s (SV, VASF).

Welche Vakuumpumpe für das Laserschmelzen im 3D-Druck?

Becker nennt für Laserschmelz-3D-Drucker SV und VASF: Das Schutzgas wird abgesaugt, gefiltert und zurückgeführt, mit einer Leckrate unter 1×10⁻⁵ mbar·l/s. Dieselben Serien führt Becker für das Fördern von Metallpulver unter Inertgas auf. Das Evakuieren der Baukammer vor der Inertgasbefüllung nennt Becker ohne Familie.

Wie wird die Baukammer eines 3D-Druckers vor dem Schutzgas evakuiert?

Becker führt das Evakuieren der Baukammer vor der Inertgasbefüllung als Schritt der additiven Fertigung auf, ohne eine Familie zu nennen. Auf seiner Seite Evakuieren beschreibt Becker das rasche Entfernen von Luft oder Gas aus Kammern und Behältern mit VT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, BCV, SV, VASF, VARIAIR RV, VATP, T und DVT.

Welche Vorpumpe für Hochleistungslaser?

Edwards nennt für Hochleistungslaser ein stabiles Vakuum mit der Scroll-Serie XDS. Als Vorpumpen für Turbo- und Hochvakuumpumpen führt Edwards außerdem RV, E2M, nXRi, GV und E2S und nennt für die nXRi einen Druck unter 0,03 mbar.

Welche Vakuumpumpe für die Photonikforschung?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Photonikforschung eine partikelfreie Umgebung für die Optik und führt im Produktfinder A 100/200 L, ACP, HiScroll und TORRI. Busch führt die Photonik-Forschung im Produktfinder mit COBRA Industry und COBRA Semicon, ohne Beschreibung.

Wie viel Vakuum braucht ein Ultrahochvakuum-Aufbau in der Optik?

Pfeiffer Vacuum nennt für Ultrahochvakuum einen Druck unter 10⁻⁷ hPa und zählt die Photonik zu den Einsatzfeldern. Erreicht wird er laut Pfeiffer über Design, Werkstoffe und die Pumpenkette; die Vorpumpe reicht bis etwa 10⁻³ hPa (DuoVane, HiScroll, ACP).

Gibt es Vakuumpumpen für die Abbrandabsaugung beim Laserschweißen?

Becker führt die Abbrandabsaugung beim Laserschweißen als Einsatz der Laserindustrie auf, nennt dafür aber weder eine Beschreibung noch eine Serie.

Ölfrei oder ölgeschmiert für Laseranwendungen?

Becker nennt für die Laserindustrie die Familien seiner Drehschieber-Vakuumpumpen – trockenlaufend VT, VX, KVT, KVX, VTLF und VXLF, ölgeschmiert O, U und U4 – sowie die Gebläse SV, VASF, VARIAIR RV und VATP. Welche Familie für welchen Einsatz steht, sagt die Seite nicht; die beschriebenen Einsätze Gasumwälzung und Inertgas-Umwälzung nennen ausschließlich die Gebläse.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

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