Anwendung

Vorpumpen für Hochvakuum und Beschleuniger

Beschleuniger, Speicherringe, Strahlrohre, Laser und Ionenquellen arbeiten im Hoch- und Ultrahochvakuum, das Turbopumpen oder Kryopumpen erzeugen. Eine Turbopumpe braucht eine Vorpumpe, die den Druck an ihrem Auslass niedrig hält, eine Kryopumpe eine Vorpumpe zum Vorevakuieren und Regenerieren. Pfeiffer Vacuum beschreibt die Pumpenkette, in der die Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa evakuiert, damit die Hochvakuumpumpe Drücke unter 10⁻⁷ hPa erreicht. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 184 Modelle von 4 Herstellern.

184 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 184Modelle
  • 19Serien
  • 4Hersteller
  • ca. 10⁻³ hPaVorvakuum in der UHV-Pumpenkette (Pfeiffer Vacuum)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger – das Wichtigste in Kürze

  • VorvakuumPfeiffer Vacuum beschreibt für die Erzeugung von Ultrahochvakuum eine Pumpenkette, in der die Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa evakuiert; genannt werden HiScroll, ACP und DuoVane.
  • UHV unter 10⁻⁹ mbarLaut Leybold verhindert Ultrahochvakuum unter 10⁻⁹ mbar Oberflächenkontamination und reduziert Störungen in Beschleunigern; Speicherringe brauchen ≤10⁻¹¹ mbar. Als Vorpumpen nennt Leybold SCROLLVAC plus, ECODRY plus und SOGEVAC BI/DI.
  • Vorpumpe für TurboEdwards nennt als Vorpumpen für Turbo- und Hochvakuumpumpen XDS, RV, E2M, nXRi, GV und E2S; die nXRi erreicht unter 0,03 mbar.
  • StrahlungsfestFür Beschleuniger nennt Pfeiffer Vacuum stabiles, strahlungsfestes Ultrahochvakuum für den Teilchenstrahl; Leybold beschreibt Zyklotron-Abschnitte der Protonentherapie, die trotz Magnetfeld und Strahlung Vakuum um 10⁻⁷ mbar brauchen.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. VorevakuierenDie Vorpumpe – bei Bedarf mit Wälzkolbenpumpe – senkt den Kammerdruck; Edwards nennt die Vorevakuierung bei Gravitationswellendetektoren, Pfeiffer Vacuum die Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa.
  2. HochvakuumTurbopumpe oder Kryopumpe übernimmt und erreicht laut Pfeiffer Vacuum Drücke unter 10⁻⁷ hPa; hinter der Turbopumpe hält die Vorpumpe das Vorvakuum.
  3. AusheizenFür Ultrahochvakuum nennt Edwards das Ausheizen der Anlage; im Betrieb muss die Vorpumpe das Vorvakuum dauerhaft halten – Leybold nennt Speicherringe mit ≤10⁻¹¹ mbar.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold: Ultrahochvakuum unter 10⁻⁹ mbar, Speicherringe ≤10⁻¹¹ mbar, Protonentherapie um 10⁻⁷ mbar. Pfeiffer Vacuum: unter 10⁻⁷ hPa für Hochenergie-, Plasma- und Weltraumforschung, Oberflächenanalytik und Photonik, 10⁻⁶ bis 10⁻⁹ hPa an Ionenquelle, Strahlführung und Endstation. Edwards nennt für Ionenfallen im Quantencomputing XHV.

Welche Vorpumpe

Pfeiffer Vacuum: Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa, genannt werden HiScroll, ACP und DuoVane. Edwards: XDS, RV, E2M, nXRi, GV und E2S, die nXRi mit unter 0,03 mbar. Leybold: SCROLLVAC plus, ECODRY plus und SOGEVAC BI/DI, für Hochvakuumsysteme auch NEO D und TRIVAC B. Busch nennt COBRA für Beamlines, Teilchenbeschleuniger, Plasmaphysik und Photonik.

Welches Saugvermögen

Pfeiffer Vacuum nennt für Ionenquelle, Strahlführung und Endstation 1200–3000 l/s. Das Saugvermögen der Vorpumpe richtet sich nach der Hochvakuumpumpe und dem Gasanfall.

Worauf die Hersteller hinweisen

Strahlungsfestigkeit (Pfeiffer Vacuum), Magnetfeld und Strahlung im Zyklotron (Leybold), aggressive Gase bei der Ionenimplantation (Pfeiffer Vacuum), schnelle Zyklen in der Plasmaphysik (Pfeiffer Vacuum) und das Ausheizen für Ultrahochvakuum (Edwards).

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 184 Modelle für Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2M0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 4
Edwards E2M2.5Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVarianten 8
Edwards E2M28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 7
Edwards E2M40Saugvermögen 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzEnddruck 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M80Saugvermögen 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 5
Edwards E2M275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 5

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards E2S45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2S65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2S85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 2

Edwards GV Serie 2 Modelle

Edwards Drystar GV80Saugvermögen 82 m³/h 50 Hz94 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 7
Edwards GV110Saugvermögen 110 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 – 5,5 kW 50 Hz4 – 5,5 kW 60 HzVarianten 3

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards nXR30iSaugvermögen 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR40iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR60iSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR90iSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR120iSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1

Edwards RV Serie 8 Modelle

Edwards RV3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV3 FXSaugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 4
Edwards RV5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV5 FXSaugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 4
Edwards RV8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV8 FXSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 5
Edwards RV12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV12 FXSaugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 5

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Edwards XDS35iSaugvermögen 35 m³/h 50 Hz35 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6
Edwards XDS46iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 2

Leybold ECODRY Serie 5 Modelle

ECODRY 25 plusSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 0,85 kW 50 Hz0,85 kW 60 HzVarianten 1
ECODRY 35 plusSaugvermögen 35 m³/h 50 Hz35 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 0,85 kW 50 Hz0,85 kW 60 HzVarianten 1
ECODRY 40 plusSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 2
ECODRY 65 He plusSaugvermögen 55 m³/h 50 Hz55 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 2
ECODRY 65 plusSaugvermögen 55 m³/h 50 Hz55 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 4

Leybold NEO D Serie 5 Modelle

NEO D 16Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,7 – 0,9 kW 60 HzVarianten 11
NEO SD 16Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,7 – 0,9 kW 60 HzVarianten 7
NEO D 25Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 8
NEO D 40Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,15 – 1,3 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 7
NEO D 65Saugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2 kW 60 HzVarianten 4

Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle

SCROLLVAC 3 plusSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,18 – 0,21 kW 50 Hz0,18 – 0,21 kW 60 HzVarianten 8
SCROLLVAC 7 plusSaugvermögen 5,1 – 6,1 m³/h 50 Hz6,1 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,26 kW 50 Hz0,26 kW 60 HzVarianten 6
SCROLLVAC 10 plusSaugvermögen 9,1 – 10,6 m³/h 50 Hz10,6 m³/h 60 HzEnddruck 9 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 kW 50 Hz0,28 kW 60 HzVarianten 6
SCROLLVAC 15 plusSaugvermögen 12,6 – 14,5 m³/h 50 Hz14,5 m³/h 60 HzEnddruck 9 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,3 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 6
SCROLLVAC 18 plusSaugvermögen 16,7 – 20 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 0,26 kW 50 Hz0,26 kW 60 HzVarianten 6

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

SOGEVAC SV 10 BSaugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 16 DSaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 13
SOGEVAC SV 16 DISaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 4
SOGEVAC SV 16 BSaugvermögen 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 7
SOGEVAC SV 25 BSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 25 DSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 15
SOGEVAC SV 28 BISaugvermögen 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 40 BI FCSaugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 55 BI²Saugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 4
SOGEVAC SV 40 BSaugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 25
SOGEVAC SV 40 BISaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 65 BI FCSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 70 BI²Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 2
SOGEVAC SV 65 BSaugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 22
SOGEVAC SV 100 BSaugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 31
SOGEVAC SV 120 BI FCSaugvermögen 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 120 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 220 BSaugvermögen 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 8
SOGEVAC SV 300 BSaugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 45
SOGEVAC SV 320 BSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 570 BSaugvermögen 470 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 630 BSaugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 34
SOGEVAC SV 750 BSaugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 15

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

TRIVAC D 2,5 ESaugvermögen 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 BSaugvermögen 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 TSaugvermögen 4,3 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 5 LSaugvermögen 5,1 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 TSaugvermögen 8,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 BSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 12 LSaugvermögen 12 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 TSaugvermögen 16,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 BSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 6
TRIVAC D 16 BCSSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 25 BSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 25 BCSSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 30 TSaugvermögen 30,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BCSSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 LSaugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 63 LSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TRIVAC D 65 BCSSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 90 LSaugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 3

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

A 124 HSaugvermögen 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten
A 204 H/XSaugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten
A 604 HSaugvermögen 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 804 H/XSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 1504 XNSaugvermögen 1.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten
A 1804 XNSaugvermögen 1.600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten
A 3004 H/XSaugvermögen 3.000 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 3004 XNSaugvermögen 2.900 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten
A 804 XNSaugvermögen 600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

A 100 LSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 0,012 mbarMotornennleistung Varianten 8
A 100 L ESSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 3
A 200 LSaugvermögen 200 m³/h 50 HzEnddruck 0,013 mbarMotornennleistung Varianten 5

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

ACP 15Saugvermögen 14 m³/h 50 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 9
ACP 28Saugvermögen 27 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 14
ACP 40Saugvermögen 37 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 15
ACP 90Saugvermögen 88 m³/h 50 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

DuoVane 1.6Saugvermögen 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 9
DuoVane 3Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 10
DuoVane 6Saugvermögen 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 2
DuoVane 12Saugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
DuoVane 18Saugvermögen 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 2
DuoVane 22Saugvermögen 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 5
DuoVane 30Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
DuoVane 36Saugvermögen 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 11
DuoVane 70Saugvermögen 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 13
DuoVane 95Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1
DuoVane 135Saugvermögen 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVarianten 3
DuoVane 300Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7
HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7
HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11
HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

TORRI BD 0100 ASaugvermögen 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TORRI BD 0300 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
TORRI BD 0600 ASaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
TORRI BD 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Forschung, Labor und Analytik

Alle vier Hersteller nennen die Vorpumpe hier: Leybold für Speicherringe und Ultrahochvakuum, Edwards für Hochenergiephysik, Gravitationswellendetektoren wie Virgo (2×3 km) und Hochleistungslaser, Pfeiffer Vacuum für Beschleuniger, Plasma- und Photonikforschung, Busch mit COBRA für Beamlines und Teilchenbeschleuniger.

Vakuum in Forschung, Labor und Analytik →

Medizin und Krankenhaus

Leybold beschreibt Zyklotron-Abschnitte der Protonentherapie mit Vakuum um 10⁻⁷ mbar trotz Magnetfeld und Strahlung und nennt SCROLLVAC plus; Pfeiffer Vacuum nennt für medizinische Beschleuniger ACP, DuoVane und HiScroll.

Vakuum in Medizin und Krankenhaus →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum nennt Hochvakuum von 10⁻⁶ bis 10⁻⁹ hPa für Ionenquelle, Strahlführung und Endstation der Ionenimplantation mit aggressiven Gasen und dafür A4 und ACP.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vorpumpe für Hochvakuum und Beschleuniger

Was ist eine Vorpumpe und wozu braucht man sie?

Eine Turbopumpe kann nicht gegen Atmosphärendruck fördern; die Vorpumpe hält den Druck an ihrem Auslass niedrig. Eine Kryopumpe braucht die Vorpumpe zum Vorevakuieren und zum Regenerieren. Pfeiffer Vacuum beschreibt die Pumpenkette so: Die Vorpumpe evakuiert bis etwa 10⁻³ hPa, die Hochvakuumpumpe erreicht dann Drücke unter 10⁻⁷ hPa. Edwards nennt dafür XDS, RV, E2M, nXRi, GV und E2S.

Welche Vorpumpe für eine Turbopumpe?

Edwards nennt als Vorpumpen für Turbo- und Hochvakuumpumpen XDS, RV, E2M, nXRi, GV und E2S, die nXRi mit unter 0,03 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll, ACP und DuoVane, Leybold SCROLLVAC plus, ECODRY plus, SOGEVAC BI/DI, NEO D und TRIVAC B. Busch nennt COBRA für Beamlines und Teilchenbeschleuniger.

Wie viel Vorvakuum braucht eine Turbomolekularpumpe?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Erzeugung von Ultrahochvakuum eine Vorpumpe bis etwa 10⁻³ hPa. Edwards nennt für die nXRi als Vorpumpe einen Enddruck unter 0,03 mbar. Der genaue Wert hängt von der Hochvakuumpumpe und dem Gasanfall ab.

Welcher Druck herrscht in einem Teilchenbeschleuniger?

Leybold nennt für Speicherringe ≤10⁻¹¹ mbar und allgemein Ultrahochvakuum unter 10⁻⁹ mbar, das Oberflächenkontamination verhindert und Störungen in Beschleunigern reduziert. Pfeiffer Vacuum nennt für Beschleuniger stabiles, strahlungsfestes Ultrahochvakuum und für die Hochenergieforschung Drücke unter 10⁻⁷ hPa; an Ionenquelle, Strahlführung und Endstation 10⁻⁶ bis 10⁻⁹ hPa.

Ölfrei oder ölgeschmiert als Vorpumpe im Hochvakuum?

Die Hersteller nennen beides. Leybold führt die trockenen SCROLLVAC plus und ECODRY plus ebenso auf wie die ölgeschmierten SOGEVAC BI/DI, TRIVAC B und NEO D; Pfeiffer Vacuum die trockenen HiScroll und ACP neben der ölgeschmierten DuoVane; Edwards die trockenen XDS, nXRi und GV neben den ölgeschmierten RV, E2M und E2S. Welche Ausführung passt, hängt von der Anlage und den Anforderungen an die Sauberkeit ab.

Warum muss Ultrahochvakuum so niedrig sein?

Laut Leybold verhindert Ultrahochvakuum Oberflächenkontamination und reduziert Störungen in Beschleunigern; Speicherringe brauchen extrem niedrige Drücke. Edwards nennt Ultrahochvakuum für einen stabilen Strahl in der Hochenergiephysik, Pfeiffer Vacuum eine partikelfreie Umgebung für Optik in der Photonik.

Welche Vakuumpumpe für die Protonentherapie?

Leybold beschreibt Zyklotron-Abschnitte, die trotz Magnetfeld und Strahlung Vakuum um 10⁻⁷ mbar brauchen, und nennt SCROLLVAC plus mit TURBOVAC iR und Kryopumpen. Pfeiffer Vacuum nennt für medizinische Beschleuniger ACP, DuoVane und HiScroll.

Welche Vakuumpumpe für die Ionenimplantation?

Pfeiffer Vacuum nennt für Ionenquelle, Strahlführung und Endstation Hochvakuum von 10⁻⁶ bis 10⁻⁹ hPa bei 1200–3000 l/s, dazu aggressive Gase, und als Pumpen A4 und ACP.

Was tun, wenn die Vorpumpe im Magnetfeld oder unter Strahlung arbeiten muss?

Leybold beschreibt genau das für Zyklotron-Abschnitte der Protonentherapie und nennt SCROLLVAC plus; Pfeiffer Vacuum nennt für Beschleuniger strahlungsfestes Ultrahochvakuum mit ACP und HiScroll. Die Auswahl der Pumpe und ihres Aufstellorts gehört dann in die Planung der Anlage.

Welche Vakuumpumpe für Plasmaphysik und Photonikforschung?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Plasmaphysik eine stabile Vakuumregelung bei schnellen Zyklen mit ACP, für die Photonikforschung eine partikelfreie Umgebung für Optik mit A 100/200 L, ACP, HiScroll und TORRI. Busch nennt COBRA für Plasmaphysik und Photonik-Forschung.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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