Branche
Vakuumpumpen für Halbleiter, Elektronik und Display
Waferfertigung, Beschichtung, Displayproduktion und Leiterplattenbestückung brauchen Vakuum in sehr unterschiedlichen Bereichen: vom partikelfreien Prozessvakuum beim Ätzen und Abscheiden über Load-Lock-Kammern bis zum Unterdruck für Pick & Place und Handhabung. Pfeiffer Vacuum und Busch nennen dafür trockene Vorpumpen, Becker und Elmo Rietschle Pumpen für Bestückung, Trocknung und Absaugung, Atlas Copco Pumpen für das Hausvakuum der Fab. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 516 Modelle von 7 Herstellern.
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- 516Modelle
- 62Serien
- 7Hersteller
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Kurz gesagt
Vakuumpumpen für Halbleiter, Elektronik und Display – das Wichtigste in Kürze
- ProzessvakuumPfeiffer Vacuum nennt für das Ätzen von Wafern 10⁻²–10⁻³ hPa, für Strippen und Veraschen etwa 1 hPa bei 600–1800 (3000) m³/h und für ALD 10⁻¹–5 mbar bei 1800–4500 m³/h.
- Trockene VorpumpenFür die Waferfertigung nennt Pfeiffer Vacuum trockene Pumpen – mehrstufige Wälzkolbenpumpen (Roots), Schrauben- und Scroll-Vakuumpumpen –, weil die Nebenprodukte vieler Prozesse korrosiv oder pulvrig sind. Busch nennt dafür die COBRA Semicon Serie.
- HausvakuumAtlas Copco gibt für das zentrale Vakuum der IC-Fertigung 100–400 mbar abs. und 2.000–8.000 m³/h an, in großen Fabs über 12.000 m³/h – rund um die Uhr, mit Wärmerückgewinnung bis 75 %.
- Pick & PlaceBecker nennt für die Elektronikindustrie präzises, pulsations- und vibrationsarmes Vakuum, vor allem für Pick & Place, und eine Fallstudie mit 20.000 wartungsfreien Betriebsstunden.
Anwendungen
Wofür Halbleiter, Elektronik und Display Vakuumpumpen braucht
Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.
Ätzen, Strippen und Ionenimplantation
Beim Dielektrik-, Leiter- und Poly-Silizium-Ätzen, beim Strippen und Veraschen sowie beim ALE arbeiten die Prozesse laut Pfeiffer Vacuum bei 10⁻²–10⁻³ hPa, mit trockenen Vorpumpen und Turbopumpen; beim Strippen bei etwa 1 hPa mit 600–1800 (3000) m³/h. Busch nennt für das Poly-Silizium-Ätzen und die Ionenimplantation die COBRA Semicon Serie; Pfeiffer Vacuum nennt für die Implantation ACP und TORRI, für das Ätzen A4 und COBRA BC/DS und für die EUV-Lithografie partikelfreies Vakuum mit hohem H₂-Fluss in der Lichtquelle (ACP, HiLobe).
- BuschCOBRA Semicon
- Pfeiffer VacuumA4, ACP, TORRI, A 100/200 L, COBRA Semicon HiLobe nennt Pfeiffer Vacuum ebenfalls
Dünnschichtabscheidung: CVD, PECVD, ALD und PVD
Pfeiffer Vacuum nennt für PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE die A4 Serie und weist darauf hin, dass die Nebenprodukte korrosiv oder pulvrig sind; für ALD gibt Pfeiffer 10⁻¹–5 mbar bei 1800–4500 m³/h an, für MBE etwa 10⁻¹¹ hPa. Busch nennt die COBRA Semicon Serie für ALD, PECVD, PVD und LPCVD/Diffusion und COBRA DS für CVD/PECVD-Schichten wie Antireflexschichten. Für dekorative, optische und Glasbeschichtung nennen beide Hersteller weitere Serien – Busch COBRA Industry, R5, PANDA/PUMA und MINK, Pfeiffer ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll und TORRI.
- BuschCOBRA Semicon, COBRA Industry R5, PANDA/PUMA und MINK nennt Busch für dekorative, optische und Glasbeschichtung
- Pfeiffer VacuumA4, ACP, TORRI, COBRA Semicon DuoVane, HiLobe und HiScroll nennt Pfeiffer Vacuum ebenfalls
Load-Lock- und Transferkammern
Schleusen bleiben laut Pfeiffer Vacuum partikelfrei unter Vakuum und müssen schnell abgepumpt werden; genannt werden A 100 L und A 200 L mit 100 bzw. 200 m³/h für 10⁻¹–10⁻² hPa sowie A4, ACP, TORRI und COBRA DS. Busch nennt für Load-Lock-Kammern COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY, damit Wafer ohne Druckstoß eingeschleust werden.
- BuschCOBRA Industry, COBRA Semicon PANDA WV und PUMA WY nennt Busch ebenfalls
- Pfeiffer VacuumA 100/200 L, A4, ACP, TORRI, COBRA Semicon
Pick & Place, Chipmounter und Handhabung
Unterdruck hält die Sauger beim automatisierten Heben und Umsetzen. Becker nennt dafür die Leiterplattenbestückung mit Chipmountern, Be- und Entladeautomaten und Portalanlagen und als Serien KVT, VT und SV; eine Fallstudie nennt 20.000 wartungsfreie Betriebsstunden. Für Vakuumheber gibt Becker SV mit 195–1250 m³/h und −290 bis −440 mbar an, für Roboter-Pick & Place die Klauen-Vakuumpumpen BCV (BCV 100: 50 mbar, BCV 300: 150 mbar). Elmo Rietschle nennt Pick & Place für die Elektronik mit den Familien G, L und V.
Hausvakuum für Bestücken, Transport, Schneiden und Testen
Atlas Copco nennt zentrales Vakuum für alle Handhabungsschritte der IC-Fertigung – Bestücken, Transport, Schneiden, Formen, Testen – mit 100–400 mbar abs. und 2.000–8.000 m³/h, in großen Fabs über 12.000 m³/h. Genannt werden GHS VSD+, DZS VSD+ (Klasse 0) und LRP VSD+, sauberes und stabiles Hausvakuum rund um die Uhr, Wärmerückgewinnung bis 75 % und präzise Druckregelung für mehrere Linien. Leybold listet die Elektronikfertigung für NOVADRY NDi mit Zentralvakuum unter 100 mbar.
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Vakuumtrocknung von Bauteilen und Baugruppen
Elmo Rietschle und Becker listen die Trocknung elektronischer Bauteile, ohne sie näher zu beschreiben; Becker nennt daneben das Trocknen und Imprägnieren in Autoklaven und das Evakuieren von Trocknungsanlagen. Allgemein gilt laut Becker: Wasser verdampft unter Vakuum schon ab 20–40 °C (genannt für VADS und U). Elmo Rietschle nennt für die Vakuumtrocknung Ausführungen mit hoher Wasserdampfverträglichkeit (V-VC 40–150, 40–180 m³/h) und für kurze Evakuierungszeiten die S-VSI 300 mit bis 380 m³/h und 0,1 mbar (abs.).
Inspektion und Messtechnik: CD-SEM, Analytik, Lecksuche
Für vibrationsarme Wafer-Messtechnik mit CD-SEM nennt Pfeiffer Vacuum 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa und als Vorpumpen ACP und HiScroll, für Inspektion und Messtechnik insgesamt A 100/200 L, ACP und TORRI. Die Restgasanalyse misst laut Pfeiffer die Gaszusammensetzung im Vakuum (Verunreinigung, Lecks, Ausgasung) bei höchstens 10⁻⁴ hPa am Analysator. Bei der Helium-Lecksuche ortet ein Lecksucher außen aufgesprühtes Helium mit etwa 10⁻⁷–10⁻⁹ mbar·l/s; als Vorpumpen nennt Pfeiffer ACP, DuoVane und HiScroll.
- Pfeiffer VacuumACP, A 100/200 L, TORRI HiScroll und DuoVane nennt Pfeiffer Vacuum ebenfalls
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Leiterplattenfertigung: Fixieren, Löten, Nassprozesse
Becker nennt das Fixieren in Halbleiter-Prüfprozessen, die Lötdampfabsaugung und das Ein- und Abblasen bei Leiterplatten-Nassprozessen, ohne sie zu beschreiben. Allgemein hält Vakuumspannen laut Becker Teile fest, damit sie präzise bearbeitet werden können, und beim Absaugen von Gemischen aus Gas, Flüssigkeit und Feststoff schützt ein Abscheider die Pumpe. Edwards listet die Leiterplattenfertigung und Elektronik-Prüfungen für Scroll-Vakuumpumpen.
- BeckerVT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, SV, VASF Serien von Beckers Vakuumspannen-Seite
- Edwardslistet Leiterplattenfertigung und Elektronik-Prüfungen für Scroll-Vakuumpumpen ohne Serie
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Hersteller und Serien
7 Hersteller, 62 Serien für Halbleiter, Elektronik und Display
Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.
Atlas Copco
59 Modelle · 65–36.600 m³/h
Becker
85 Modelle · 1,9–2.000 m³/h
Busch
174 Modelle · 3–12.000 m³/h
Edwards
12 Modelle · 82–3.450 m³/h
Elmo Rietschle
118 Modelle · 10–5.740 m³/h
- V-VGD2
- V-VTN3
- V-VCB2
- V-VCA/VCE2
- G-BH1001
- V-VCS13
- V-VCX7
- V-KTR4
- V-VTR2
- S-VSI1
- S-SVT11
- G-BH125
- G-BH29
- G-BH715
- G-BH91
- L-BL27
- L-BV24
- L-BV31
- L-BV55
- L-BV73
Leybold
9 Modelle · 63–950 m³/h
Pfeiffer Vacuum
59 Modelle · 1,25–13.540 m³/h
Produktübersicht
Alle 516 Modelle für Halbleiter, Elektronik und Display im Vergleich
Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.
Atlas Copco AWL Serie 11 Modelle
AWL 4000Saugvermögen 4.290 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 160 kW 50 HzVarianten AWL 5500Saugvermögen 5.580 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 185 kW 50 HzVarianten AWL 7000Saugvermögen 6.900 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 185 kW 50 HzVarianten 8AWL 9500Saugvermögen 9.200 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 200 kW 50 HzVarianten 8AWL 12500Saugvermögen 12.500 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 280 kW 50 HzVarianten 8AWL 15000Saugvermögen 15.000 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 315 kW 50 HzVarianten 9AWL 17500Saugvermögen 17.400 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 400 kW 50 HzVarianten 8AWL 21500Saugvermögen 21.300 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 450 kW 50 HzVarianten 8AWL 26000Saugvermögen 25.800 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 560 kW 50 HzVarianten 6AWL 30000Saugvermögen 30.000 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 630 kW 50 HzVarianten 4AWL 37500Saugvermögen 36.600 m³/h 50 HzEnddruck 160 mbarMotornennleistung 800 kW 50 HzVarianten Atlas Copco DHS VSD+ Serie 1 Modell
DHS 3000 VSD+Saugvermögen 3.044 m³/h 50 Hz3.044 m³/h 60 HzEnddruck 350 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 4Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1Atlas Copco DZS Serie 8 Modelle
DZS 065ASaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 1,8 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 12DZS 065APSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 5DZS 150ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 12DZS 150APSaugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6DZS 300APSaugvermögen 238 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 19 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 6DZS 300ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 140 – 200 mbarMotornennleistung 6,2 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 12DZS 500 VSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8DZS 1000 VSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 8Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle
DZS 100 VSD+Saugvermögen 105 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3DZS 200 VSD+Saugvermögen 189 m³/h 50 Hz189 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 3DZS 400 VSD+Saugvermögen 398 m³/h 50 Hz398 m³/h 60 HzEnddruck 140 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3DZS 600 VSD+Saugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 2DZS 1200 VSD+Saugvermögen 1.140 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 2Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle
GHS 350 VSD+Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz400 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 29GHS 402 VSD+Saugvermögen 467 m³/h 50 Hz467 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 4GHS 585 VSD+Saugvermögen 560 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 30GHS 602 VSD+Saugvermögen 640 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz7,5 – 11 kW 60 HzVarianten 4GHS 730 VSD+Saugvermögen 730 m³/h 50 Hz730 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 30GHS 752 VSD+Saugvermögen 805 m³/h 50 Hz805 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 – 15 kW 50 Hz11 – 15 kW 60 HzVarianten 4GHS 900 VSD+Saugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 32GHS 902 VSD+Saugvermögen 917 m³/h 50 Hz917 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 – 18,5 kW 50 Hz15 – 18,5 kW 60 HzVarianten 4GHS 1002 VSD+Saugvermögen 1.039 m³/h 50 Hz1.039 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten GHS 1202 VSD+Saugvermögen 1.172 m³/h 50 Hz1.172 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9GHS 1300 VSD+Saugvermögen 1.250 – 1.615 m³/h 50 Hz1.250 – 1.615 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 18 – 22 kW 50 Hz18 – 22 kW 60 HzVarianten 33GHS 1402 VSD+Saugvermögen 1.383 m³/h 50 Hz1.383 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 9GHS 1602 VSD+Saugvermögen 1.581 m³/h 50 Hz1.581 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 9GHS 1600 VSD+Saugvermögen 1.590 – 1.811 m³/h 50 Hz1.590 – 1.811 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 28 – 30 kW 50 Hz28 – 30 kW 60 HzVarianten 33GHS 2002 VSD+Saugvermögen 1.771 m³/h 50 Hz1.771 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 9GHS 1900 VSD+Saugvermögen 1.810 m³/h 50 Hz1.810 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 21GHS 2700 VSD+Saugvermögen 2.674 m³/h 50 Hz2.674 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 45 kW 50 Hz45 kW 60 HzVarianten 8GHS 3400 VSD+Saugvermögen 3.268 m³/h 50 Hz3.268 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 8GHS 3800 VSD+Saugvermögen 3.724 m³/h 50 Hz3.724 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 9GHS 4600 VSD+Saugvermögen 4.494 m³/h 50 Hz4.494 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 75 kW 50 Hz75 kW 60 HzVarianten 9GHS 5400 VSD+Saugvermögen 5.136 m³/h 50 Hz5.136 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 90 kW 50 Hz90 kW 60 HzVarianten 9Atlas Copco GVS VSD+ Serie 4 Modelle
GVS 80 VSD+Saugvermögen 78 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
GVS 120 VSD+Saugvermögen 117 m³/h 50 Hz117 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1GVS 255 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1GVS 400 VSD+Saugvermögen 351 m³/h 50 Hz351 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 1Atlas Copco LRP VSD+ Serie 3 Modelle
LRP 700 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 10LRP 900 VSD+Saugvermögen 940 m³/h 50 Hz940 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 10LRP 1000 VSD+Saugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.050 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 10Becker BCV Serie 7 Modelle
BCV 100Saugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,2 – 3 kW 60 HzVarianten 4BCV 150Saugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 – 4 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVarianten 4BCV 300Saugvermögen 275 m³/h 50 Hz325 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 4BCV 400Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5BCV 400 FDSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 4BCV 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5BCV 500 FDSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVarianten 5Becker KVT Serie 4 Modelle
KVT 3.60Saugvermögen 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVT 3.80Saugvermögen 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6
KVT 3.100Saugvermögen 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten 8
KVT 3.140Saugvermögen 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVarianten 7Becker KVX Serie 4 Modelle
KVX 3.60Saugvermögen 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6KVX 3.80Saugvermögen 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 6KVX 3.100Saugvermögen 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten 8KVX 3.140Saugvermögen 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVarianten 7Becker O Serie 6 Modelle
O 6.4Saugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,12 kW 50 Hz0,15 kW 60 HzVarianten O 6.8Saugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,3 kW 50 Hz0,36 kW 60 HzVarianten O 5.10 (XL)Saugvermögen 10,5 m³/h 50 Hz12,5 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,45 – 0,66 kW 60 HzVarianten 6O 5.16 (XL)Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 6O 5.21 (XL)Saugvermögen 23,5 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 6O 5.25 (XL K)Saugvermögen 26 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 6Becker RBP Serie 3 Modelle
RBP 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,2 – 3 kW 60 HzVarianten 5RBP 1000Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 – 5,5 kW 50 Hz4 – 5,5 kW 60 HzVarianten 5RBP 2000Saugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 5Becker SV Serie 16 Modelle
SV 130/2Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 0,55 – 1,1 kW 50 Hz0,66 – 1,3 kW 60 HzVarianten 11
SV 200/2Saugvermögen 90 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVarianten 9SV 201/2Saugvermögen 90 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVarianten 9SV 130/1Saugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 0,55 – 1,5 kW 50 Hz0,66 – 1,8 kW 60 HzVarianten 19SV 300/2Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,65 – 3,6 kW 60 HzVarianten 7SV 200/1Saugvermögen 180 m³/h 50 Hz230 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVarianten 9SV 201/1Saugvermögen 190 m³/h 50 Hz230 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,1 – 2,2 kW 50 Hz1,3 – 2,65 kW 60 HzVarianten 12
SV 400/2Saugvermögen 195 m³/h 50 Hz235 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVarianten 12SV 500/2Saugvermögen 260 m³/h 50 Hz305 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVarianten 12SV 300/1Saugvermögen 325 m³/h 50 Hz390 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 4 kW 50 Hz2,65 – 4,8 kW 60 HzVarianten 11
SV 700/2Saugvermögen 375 m³/h 50 Hz435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3SV 400/1Saugvermögen 390 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVarianten 12SV 1100/2Saugvermögen 510 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6SV 500/1Saugvermögen 510 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 – 7,5 kW 50 Hz4,8 – 9 kW 60 HzVarianten 12SV 700/1Saugvermögen 750 m³/h 50 Hz900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 – 11 kW 50 Hz6,6 – 13,2 kW 60 HzVarianten 10SV 1100/1Saugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 – 15 kW 50 Hz9 – 18 kW 60 HzVarianten 9Becker U4 Serie 4 Modelle
U 4.400 F/KSaugvermögen 435 m³/h 50 Hz508 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 7U 4.400 SA/KSaugvermögen 435 m³/h 50 Hz508 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 7
U 4.630 F/KSaugvermögen 624 m³/h 50 Hz732 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVarianten 4U 4.630 SA/KSaugvermögen 624 m³/h 50 Hz732 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVarianten 4Becker U Serie 8 Modelle
U 5.40 (XL K)Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,35 kW 60 HzVarianten 5U 5.45Saugvermögen 45 m³/h 50 Hz54 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 – 1,8 kW 50 Hz1,5 – 1,8 kW 60 HzVarianten 4U 5.65 (XL K)Saugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 – 1,8 kW 50 Hz1,5 – 1,8 kW 60 HzVarianten 4
U 5.71Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 5
U 5.101Saugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 – 2,6 kW 60 HzVarianten 4
U 5.166Saugvermögen 165 m³/h 50 Hz198 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 3 – 4 kW 50 Hz3,6 – 4,8 kW 60 HzVarianten 8
U 5.201Saugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 – 5,5 kW 50 Hz4,5 – 6,6 kW 60 HzVarianten 10U 5.301Saugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz6,6 – 9 kW 60 HzVarianten 9Becker VADS Serie 3 Modelle
VADS 250Saugvermögen 290 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten VADS 1500+ VerdichterSaugvermögen 1.230 m³/h 50 Hz1.230 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VADS 1500+Saugvermögen 1.380 m³/h 50 Hz1.380 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung Varianten Becker VARIAIR RV Serie 1 Modell
VARIAIR RV 2.1944/10Saugvermögen 1.570 m³/h 50 Hz1.570 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten Becker VASF Serie 6 Modelle
VASF 2.50/2Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VASF 2.80/2Saugvermögen 45 m³/h 50 Hz45 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VASF 2.50/1Saugvermögen 48 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VASF 2.120/2Saugvermögen 71 m³/h 50 Hz71 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VASF 2.80/1Saugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten VASF 2.120/1Saugvermögen 143 m³/h 50 Hz143 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten Becker VATP Serie 1 Modell
VATP 1600Saugvermögen 1.570 m³/h 50 Hz1.570 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten Becker VTLF Serie 6 Modelle
VTLF 2.200Saugvermögen 178 m³/h 50 Hz218 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
VTLF 2.250Saugvermögen 244 m³/h 50 Hz286 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 5
VTLF 2.250 SKSaugvermögen 247 m³/h 50 Hz295 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 4
VTLF 2.360Saugvermögen 351 m³/h 50 Hz402 m³/h 60 HzEnddruck 250 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 4
VTLF 2.400Saugvermögen 390 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVarianten 5
VTLF 2.500Saugvermögen 495 m³/h 50 Hz570 m³/h 60 HzEnddruck 250 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 4Becker VT Serie 7 Modelle
VT 4.2Saugvermögen 1,9 m³/h 50 Hz2,3 m³/h 60 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,105 kW 60 HzVarianten 1
VT 4.4Saugvermögen 4,1 m³/h 50 Hz4,7 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,18 kW 50 Hz0,21 – 0,22 kW 60 HzVarianten 2
VT 4.8Saugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,1 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,3 – 0,37 kW 50 Hz0,35 – 0,44 kW 60 HzVarianten 3
VT 4.10Saugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,44 – 0,45 kW 60 HzVarianten 3
VT 4.16Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 – 0,7 kW 60 HzVarianten 4
VT 4.25Saugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,8 kW 50 Hz0,9 – 1 kW 60 HzVarianten 5
VT 4.40Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,5 kW 60 HzVarianten 5Becker VXLF Serie 5 Modelle
VXLF 2.200Saugvermögen 178 m³/h 50 Hz218 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4VXLF 2.250Saugvermögen 244 m³/h 50 Hz286 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 5VXLF 2.250 SKSaugvermögen 247 m³/h 50 Hz295 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 4VXLF 2.400Saugvermögen 390 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVarianten 5VXLF 2.500Saugvermögen 495 m³/h 50 Hz570 m³/h 60 HzEnddruck 250 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 4Becker VX Serie 4 Modelle
VX 4.10Saugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,44 – 0,45 kW 60 HzVarianten 3VX 4.16Saugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 – 0,7 kW 60 HzVarianten 4VX 4.25Saugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,8 kW 50 Hz0,9 – 1 kW 60 HzVarianten 5VX 4.40Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,5 kW 60 HzVarianten 5Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten Busch MINK Serie 32 Modelle
MINK MB 0018 ASaugvermögen 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzEnddruck 600 mbarMotornennleistung 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUESaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MI 2124 BVSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0060 E ECOTORQUESaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0084 ASaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten MINK MM 1104 BVSaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 10
MINK MM 1104 CVMSaugvermögen 62 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 1,3 kW 50 HzVarianten 
MINK MM 0104 ASaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1144 BVSaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUESaugvermögen 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0142 ASaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1102 BVSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 6
MINK MM 1102 CVMSaugvermögen 110 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 HzVarianten 
MINK MI 2122 BVSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 0182 ASaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1142 BVSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 13
MINK MM 1324 AVSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2
MINK MM 1202 AVSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 11
MINK MM 1252 AVSaugvermögen 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 8MINK MW 0332 BSaugvermögen 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,8 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0312 BSaugvermögen 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 4
MINK MM 1322 AVSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVarianten 10
MINK MV 0310 BSaugvermögen 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVarianten MINK MV 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1402 AVSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0502 BSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0500 BSaugvermögen 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1502 AVSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 5
MINK MV 0602 BSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0600 BSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 1202 BSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3MINK MV 1200 B ECOTORQUESaugvermögen 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
PANDA WV 0250 CSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0250 BSaugvermögen 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4PUMA WY 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0500 D2Saugvermögen 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0500 BSaugvermögen 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0700 DSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PUMA WY 0700 CSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1000 D2Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WY 1250 CSaugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1250 D2Saugvermögen 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1800 ASaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 5PUMA WY 2000 CSaugvermögen 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 2000 D2Saugvermögen 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2200 ASaugvermögen 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten PUMA WY 3600 ASaugvermögen 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten PANDA WV 4500 BSaugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 4PUMA WP 4500 B2Saugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 5400 ASaugvermögen 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WP 8100 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten PUMA WY 8000 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WG 9600Saugvermögen 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzEnddruck 130 mbarMotornennleistung Varianten Busch R5 Serie 58 Modelle
R5 PB 0003 DSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0004 CSaugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0008 CSaugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 
R5 KB 0010 ESaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0012 ASaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten R5 RA 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0016 ESaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0020 ASaugvermögen 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten R5 RA 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0020 DSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 1
R5 RB 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 2R5 RC 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KD 0025 ASaugvermögen 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KB 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 3R5 KB 0040 DSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0040 FSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0040 CSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0063 FSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0063 CSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten R5 RA 0100 FSaugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0155 ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0165 DSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
R5 RD 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0165 D ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0200 A ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0205 DSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten R5 RD 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0205 D ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0240 A ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0255 DSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 3R5 RD 0300 ASaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0255 D ECOTORQUESaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0305 DSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten R5 RD 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0305 D ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0400 CSaugvermögen 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0520 ASaugvermögen 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0400 C ECOTORQUESaugvermögen 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 CSaugvermögen 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0520 A ECOTORQUESaugvermögen 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 C ECOTORQUESaugvermögen 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0600 A ECOTORQUESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0840 A ECOTORQUESaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0840 B PLUSSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 BSaugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1000 A PLUSSaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 B ECOTORQUESaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 1600 BSaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1600 A PLUSSaugvermögen 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten Edwards GV Serie 2 Modelle
Edwards Drystar GV80Saugvermögen 82 m³/h 50 Hz94 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 7Edwards GV110Saugvermögen 110 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 – 5,5 kW 50 Hz4 – 5,5 kW 60 HzVarianten 3Edwards GXS Serie 10 Modelle
Edwards GXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 11Edwards GXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450/2600Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/2600Saugvermögen 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS450/4200Saugvermögen 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 10Elmo Rietschle G-BH1 Serie 25 Modelle
G-BH1 2BH1 100Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,2 – 0,25 kW 50 Hz0,23 – 0,29 kW 60 HzVarianten 5G-BH1 2BH1 200Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,29 – 0,32 kW 60 HzVarianten 4G-BH1 2BH1 300Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,25 – 0,55 kW 50 Hz0,29 – 0,63 kW 60 HzVarianten 8G-BH1 2BH1 310Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,55 – 0,7 kW 50 Hz0,63 – 0,83 kW 60 HzVarianten 4G-BH1 2BH1 330Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,25 – 0,7 kW 50 Hz0,29 – 0,83 kW 60 HzVarianten 9G-BH1 2BH1 400Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,7 – 1,3 kW 50 Hz0,83 – 1,6 kW 60 HzVarianten 13G-BH1 2BH1 410Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,75 – 2,5 kW 50 Hz2 – 3 kW 60 HzVarianten 10G-BH1 2BH1 430Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,95 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,6 kW 60 HzVarianten 10G-BH1 2BH1 490Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,95 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 5G-BH1 2BH1 500Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,95 – 2,5 kW 50 Hz1,1 – 3 kW 60 HzVarianten 20G-BH1 2BH1 510Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 3,45 – 4,6 kW 50 Hz4 – 5,3 kW 60 HzVarianten 10G-BH1 2BH1 530Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,3 – 2,5 kW 50 Hz1,6 – 3 kW 60 HzVarianten 15G-BH1 2BH1 600Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,75 – 4,6 kW 50 Hz2 – 5,3 kW 60 HzVarianten 23G-BH1 2BH1 610Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,2 – 8,6 kW 50 Hz2,55 – 9,9 kW 60 HzVarianten 32G-BH1 2BH1 630Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVarianten 18G-BH1 2BH1 640Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVarianten 15G-BH1 2BH1 690Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 3,45 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVarianten 12G-BH1 2BH1 800Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVarianten 29G-BH1 2BH1 810Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 7,5 – 17,3 kW 50 Hz8,6 – 19,9 kW 60 HzVarianten 18G-BH1 2BH1 830Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVarianten 29G-BH1 2BH1 900Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 8,5 – 21,3 kW 50 Hz9,8 – 24,5 kW 60 HzVarianten 34G-BH1 2BH1 910Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 12,6 – 25,3 kW 50 Hz14,5 – 29 kW 60 HzVarianten 20G-BH1 2BH1 930Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 8,5 – 21,3 kW 50 Hz9,8 – 24,5 kW 60 HzVarianten 32G-BH1 2BH1 940Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 29 kW 60 HzVarianten 12G-BH1 2BH1 943Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 29 kW 60 HzVarianten 15Elmo Rietschle G-BH2 Serie 9 Modelle
G-BH2 2BH2 0360-1Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 6,3 kW 50 Hz3 – 7,3 kW 60 HzVarianten 16G-BH2 2BH2 0360-2Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4,6 – 12,6 kW 50 Hz5,3 – 14,5 kW 60 HzVarianten 17G-BH2 2BH2 0360-3Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 6,3 – 12,6 kW 50 Hz7,3 – 14,5 kW 60 HzVarianten 12G-BH2 2BH2 0540-1Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4,6 – 8,6 kW 50 Hz5,3 – 9,9 kW 60 HzVarianten 13G-BH2 2BH2 0540-2Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 8,6 – 17,3 kW 50 Hz9,9 – 19,9 kW 60 HzVarianten 13G-BH2 2BH2 0540-3Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 12,6 – 21,3 kW 50 Hz14,5 – 24,5 kW 60 HzVarianten 12G-BH2 2BH2 0780-1Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 6,3 – 17,3 kW 50 Hz7,3 – 19,9 kW 60 HzVarianten 17G-BH2 2BH2 0780-2Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 12,6 – 25,3 kW 50 Hz14,5 – 29 kW 60 HzVarianten 16G-BH2 2BH2 0780-3Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 28,5 kW 60 HzVarianten 12Elmo Rietschle G-BH7 Serie 15 Modelle
G-BH7 2BH7 210Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,55 – 1 kW 50 Hz0,63 – 1,1 kW 60 HzVarianten 8G-BH7 2BH7 220Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,81 – 1,8 kW 50 Hz0,94 – 2 kW 60 HzVarianten 10G-BH7 2BH7 310Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,55 – 1,3 kW 50 Hz0,63 – 1,6 kW 60 HzVarianten 11G-BH7 2BH7 320Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,3 – 2,5 kW 50 Hz1,6 – 3 kW 60 HzVarianten 9G-BH7 2BH7 410Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,3 – 1,8 kW 50 Hz1,6 – 2 kW 60 HzVarianten 6G-BH7 2BH7 420Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,8 – 3,45 kW 50 Hz2 – 4 kW 60 HzVarianten 12G-BH7 2BH7 510Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,8 – 2,5 kW 50 Hz2 – 3 kW 60 HzVarianten 6G-BH7 2BH7 520Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVarianten 9G-BH7 2BH7 530Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4,6 kW 50 Hz5,3 kW 60 HzVarianten 3G-BH7 2BH7 610-0ASaugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 3,5 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVarianten 10G-BH7 2BH7 610-3NSaugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVarianten 15G-BH7 2BH7 620-0ASaugvermögen Enddruck Motornennleistung 3,45 – 6,3 kW 50 Hz4 – 7,3 kW 60 HzVarianten 15G-BH7 2BH7 620-0NSaugvermögen Enddruck Motornennleistung 3,45 – 6,3 kW 50 Hz4 – 7,3 kW 60 HzVarianten 15G-BH7 2BH7 630-0ASaugvermögen Enddruck Motornennleistung 6,3 – 8,6 kW 50 Hz7,3 – 9,9 kW 60 HzVarianten 10G-BH7 2BH7 630-0NSaugvermögen Enddruck Motornennleistung 6,3 – 8,6 kW 50 Hz7,3 – 9,9 kW 60 HzVarianten 10Elmo Rietschle G-BH9 Serie 1 Modell
G-BH9 2BH9 2300Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 17,3 – 21,3 kW 50 Hz19,9 – 24,5 kW 60 HzVarianten 5Elmo Rietschle G-BH100 Serie 1 Modell
G-BH100 2BH1 002Saugvermögen 35 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung Varianten 2Elmo Rietschle L-BL2 Serie 7 Modelle
L-BL2 2BL2 041Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 0,85 kW 50 Hz1,15 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 061Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 101Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 141Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 3,4 kW 50 Hz4,6 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 251Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 4,2 kW 50 Hz5,6 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 281Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVarianten 4L-BL2 2BL2 341Saugvermögen Enddruck Motornennleistung 7 kW 50 Hz9,7 kW 60 HzVarianten 4Elmo Rietschle L-BV2 Serie 4 Modelle
L-BV2 2BV2 060Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 0,88 kW 50 Hz1,25 kW 60 HzVarianten 5L-BV2 2BV2 061Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2 kW 60 HzVarianten 5L-BV2 2BV2 070Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 2,6 kW 50 Hz3,5 – 3,7 kW 60 HzVarianten 5L-BV2 2BV2 071Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz6,1 kW 60 HzVarianten 5Elmo Rietschle L-BV3 Serie 1 Modell
L-BV3 2BV3 151Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 0,3 kW 50 Hz0,4 kW 60 HzVarianten 2Elmo Rietschle L-BV5 Serie 5 Modelle
L-BV5 2BV5 110Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 4,2 kW 50 Hz5,6 kW 60 HzVarianten 4L-BV5 2BV5 111Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVarianten 4L-BV5 2BV5 121Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 7 kW 50 Hz9,7 kW 60 HzVarianten 4L-BV5 2BV5 131Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 10,5 kW 50 Hz14,7 kW 60 HzVarianten 4L-BV5 2BV5 161Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 12,4 kW 50 Hz16 kW 60 HzVarianten 4Elmo Rietschle L-BV7 Serie 3 Modelle
L-BV7 2BV7 060Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 0,85 kW 50 Hz1,15 kW 60 HzVarianten 4L-BV7 2BV7 070Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 4L-BV7 2BV7 071Saugvermögen Enddruck 33 mbarMotornennleistung 3,4 kW 50 Hz4,6 kW 60 HzVarianten 4Elmo Rietschle S-SVT Serie 11 Modelle
S-SVT 600Saugvermögen 605 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten S-SVT 800Saugvermögen 735 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 HzVarianten S-SVT 1000Saugvermögen 905 m³/h 50 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 HzVarianten S-SVT 1500Saugvermögen 1.386 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 22 kW 50 HzVarianten S-SVT 1800Saugvermögen 1.672 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 30 kW 50 HzVarianten S-SVT 2000Saugvermögen 1.936 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 37 kW 50 HzVarianten S-SVT 3000Saugvermögen 3.135 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 45 kW 50 HzVarianten S-SVT 4000Saugvermögen 3.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 55 kW 50 HzVarianten S-SVT 4500Saugvermögen 4.310 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 75 kW 50 HzVarianten S-SVT 5400Saugvermögen 5.335 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 75 kW 50 HzVarianten S-SVT 6000Saugvermögen 5.740 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 90 kW 50 HzVarianten Elmo Rietschle S-VSI Serie 1 Modell
S-VSI 301Saugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung Varianten Elmo Rietschle V-KTR Serie 4 Modelle
V-KTR 61Saugvermögen 58 m³/h 50 Hz69 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten V-KTR 81Saugvermögen 66 m³/h 50 Hz82 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten V-KTR 101Saugvermögen 98 m³/h 50 Hz118 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten V-KTR 141Saugvermögen 135 m³/h 50 Hz159 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten Elmo Rietschle V-VCA/VCE Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VCB Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VCS Serie 13 Modelle
V-VCS 40Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 50Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 75Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 100Saugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 150Saugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 200Saugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 300Saugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 400Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 500Saugvermögen 550 m³/h 50 Hz660 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 700Saugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 900Saugvermögen 830 m³/h 50 Hz995 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 1100Saugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.320 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung Varianten V-VCS 1300Saugvermögen 1.280 m³/h 50 Hz1.535 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung Varianten Elmo Rietschle V-VCX Serie 7 Modelle
V-VCX 40Saugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 50Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 75Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 100Saugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 150Saugvermögen 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 200Saugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten V-VCX 300Saugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 3 mbarMotornennleistung Varianten Elmo Rietschle V-VGD Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VTN Serie 3 Modelle
V-VTN 16Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,5 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,63 kW 60 HzVarianten V-VTN 26Saugvermögen 27 m³/h 50 Hz32 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten V-VTN 41Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50,4 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten Elmo Rietschle V-VTR Serie 2 Modelle
Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle
CLAWVAC CP 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz79 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 1,8 – 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 8
CLAWVAC CP 150 BSaugvermögen 152 m³/h 50 Hz184 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3,7 – 4 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 8
CLAWVAC CP 300 BSaugvermögen 295 m³/h 50 Hz347 m³/h 60 HzEnddruck 140 – 200 mbarMotornennleistung 6,2 – 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 8CLAWVAC CP 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 150 – 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5CLAWVAC CP 1000Saugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 150 – 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 5Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
NOVADRY ND 65Saugvermögen 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
NOVADRY ND 100Saugvermögen 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 160Saugvermögen 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 200Saugvermögen 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
A 124 HSaugvermögen 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten A 204 H/XSaugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten A 604 HSaugvermögen 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 H/XSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 XNSaugvermögen 1.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 XNSaugvermögen 1.600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 H/XSaugvermögen 3.000 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 XNSaugvermögen 2.900 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 XNSaugvermögen 600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle
A 100 LSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 0,012 mbarMotornennleistung Varianten 8A 100 L ESSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 3A 200 LSaugvermögen 200 m³/h 50 HzEnddruck 0,013 mbarMotornennleistung Varianten 5Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
ACP 15Saugvermögen 14 m³/h 50 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 9ACP 28Saugvermögen 27 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 14ACP 40Saugvermögen 37 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 15ACP 90Saugvermögen 88 m³/h 50 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
DuoVane 1.6Saugvermögen 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 9DuoVane 3Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 10DuoVane 6Saugvermögen 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 12Saugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 18Saugvermögen 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 22Saugvermögen 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 30Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 36Saugvermögen 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 11DuoVane 70Saugvermögen 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 13DuoVane 95Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 135Saugvermögen 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVarianten 3DuoVane 300Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
HiLobe 1002Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 1004Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1302Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1304Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2104Saugvermögen 2.100 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2703Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 2704Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4504Saugvermögen 4.440 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4503Saugvermögen 4.500 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6203Saugvermögen 6.200 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6204Saugvermögen 6.220 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 8103Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 8104Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11003Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11004Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14003Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14004Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11Pfeiffer Vacuum SmartVane Serie 2 Modelle
SmartVane 55Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 HzVarianten 2SmartVane 70Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1 kW 50 HzVarianten 2Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
TORRI BD 0100 ASaugvermögen 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0300 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0600 ASaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten Pfeiffer Vacuum UnoLine Plus Serie 1 Modell
UnoLine BA 501Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz500 m³/h 60 HzEnddruck 0,06 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVarianten 2Kein Modell entspricht diesen Filtern.
Atlas Copco AWL Serie 11 Modelle
Atlas Copco DHS VSD+ Serie 1 Modell
Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
Atlas Copco DZS Serie 8 Modelle
Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle
Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle
Atlas Copco GVS VSD+ Serie 4 Modelle
Atlas Copco LRP VSD+ Serie 3 Modelle
Becker BCV Serie 7 Modelle
Becker KVT Serie 4 Modelle
Becker KVX Serie 4 Modelle
Becker O Serie 6 Modelle
Becker RBP Serie 3 Modelle
Becker SV Serie 16 Modelle
Becker U4 Serie 4 Modelle
Becker U Serie 8 Modelle
Becker VADS Serie 3 Modelle
Becker VARIAIR RV Serie 1 Modell
Becker VASF Serie 6 Modelle
Becker VATP Serie 1 Modell
Becker VTLF Serie 6 Modelle
Becker VT Serie 7 Modelle
Becker VXLF Serie 5 Modelle
Becker VX Serie 4 Modelle
Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
Busch MINK Serie 32 Modelle
Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
Busch R5 Serie 58 Modelle
Edwards GV Serie 2 Modelle
Edwards GXS Serie 10 Modelle
Elmo Rietschle G-BH1 Serie 25 Modelle
Elmo Rietschle G-BH2 Serie 9 Modelle
Elmo Rietschle G-BH7 Serie 15 Modelle
Elmo Rietschle G-BH9 Serie 1 Modell
Elmo Rietschle G-BH100 Serie 1 Modell
Elmo Rietschle L-BL2 Serie 7 Modelle
Elmo Rietschle L-BV2 Serie 4 Modelle
Elmo Rietschle L-BV3 Serie 1 Modell
Elmo Rietschle L-BV5 Serie 5 Modelle
Elmo Rietschle L-BV7 Serie 3 Modelle
Elmo Rietschle S-SVT Serie 11 Modelle
Elmo Rietschle S-VSI Serie 1 Modell
Elmo Rietschle V-KTR Serie 4 Modelle
Elmo Rietschle V-VCA/VCE Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VCB Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VCS Serie 13 Modelle
Elmo Rietschle V-VCX Serie 7 Modelle
Elmo Rietschle V-VGD Serie 2 Modelle
Elmo Rietschle V-VTN Serie 3 Modelle
Elmo Rietschle V-VTR Serie 2 Modelle
Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle
Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle
Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum SmartVane Serie 2 Modelle
Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum UnoLine Plus Serie 1 Modell
Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.
Auswahl
Vakuumpumpe für Halbleiter, Elektronik und Display auswählen
Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.
Prozessgase und Nebenprodukte
Nach Pfeiffer Vacuum sind die Nebenprodukte vieler Abscheideprozesse korrosiv oder pulvrig; genannt werden trockene Vorpumpen (mehrstufige Wälzkolben, Schrauben, Scroll). Edwards nennt für Display-Prozesse wie CVD, Ätzen, PVD, Implantation und Kapselung Vakuum zusammen mit Abgasreinigung. Für Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz nennen Busch und Pfeiffer die COBRA Semicon Serie (COBRA DS).
Partikel, Vibration, Pulsation
Laut Pfeiffer Vacuum muss die Waferfertigung partikel- und kontaminationsfrei bleiben; für CD-SEM und Elektronenmikroskopie nennt Pfeiffer Vacuum vibrationsarme Pumpen. Becker nennt für Pick & Place präzises, pulsations- und vibrationsarmes Vakuum.
Aufstellort
Pfeiffer Vacuum unterscheidet Pumpen im Reinraum, im Sub-Floor (Point-of-Use) und im Sub-Fab. Atlas Copco nennt sauberes, stabiles Hausvakuum rund um die Uhr; Leybold nennt Zentralvakuum unter 100 mbar für die Elektronikfertigung.
Energie und Drehzahlregelung
Atlas Copco gibt für zentrale Vakuumsysteme mit drehzahlgeregelten Pumpen bis 50 % weniger Energie und CO2 an und Wärmerückgewinnung bis 75 %; Leybold nennt für Netze mit drehzahlgeregelten Pumpen oft über 50 % Energieersparnis (Leybold-Angabe).
Häufige Fragen
Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Halbleiter, Elektronik und Display
Welche Vakuumpumpe eignet sich für die Halbleiterfertigung?
Pfeiffer Vacuum nennt für die Waferfertigung trockene Vorpumpen – mehrstufige Wälzkolbenpumpen (Roots), Schrauben- und Scroll-Vakuumpumpen – und als Serien A 100/200 L, A4, ACP, COBRA DS/BC und TORRI, je nach Prozess im Reinraum, im Sub-Floor oder im Sub-Fab. Busch nennt die COBRA Semicon Serie von Load-Lock bis zu partikelerzeugenden Prozessen wie Poly-Silizium-Ätzen, Strippen, PECVD, PVD und ALD. Edwards nennt für Display-Prozesse GXS und GV zusammen mit Abgasreinigung.
Wie viel Vakuum braucht das Ätzen von Wafern?
Pfeiffer Vacuum gibt für Dielektrik-, Leiter- und Poly-Silizium-Ätzen 10⁻²–10⁻³ hPa an, für Strippen und Veraschen etwa 1 hPa bei 600–1800 (3000) m³/h. Genannt werden A4 und COBRA BC/DS für das Ätzen und A4 und COBRA BC für das Strippen; Busch nennt für Poly-Silizium-Ätzen und Strippen/Veraschung die COBRA Semicon Serie.
Welche Vorpumpe für ALD und CVD?
Für ALD nennt Pfeiffer Vacuum 10⁻¹–5 mbar bei 1800–4500 m³/h, für ALD, PECVD und LPCVD/Diffusion die A4 Serie und COBRA DS; die Nebenprodukte sind laut Pfeiffer korrosiv oder pulvrig. Busch nennt für ALD, PECVD, PVD und LPCVD/Diffusion die COBRA Semicon Serie und für CVD/PECVD-Schichten wie Antireflexschichten COBRA DS.
Welche Vakuumpumpe für Load-Lock-Kammern?
Pfeiffer Vacuum nennt A 100 L und A 200 L mit 100 bzw. 200 m³/h für 10⁻¹–10⁻² hPa, dazu A4, ACP, TORRI und COBRA DS; die Schleusen bleiben partikelfrei unter Vakuum und werden schnell abgepumpt. Busch nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY, damit Wafer ohne Druckstoß eingeschleust werden.
Welche Vakuumpumpe für Pick & Place und Chipmounter?
Becker nennt für die Leiterplattenbestückung mit Chipmountern und für Pick & Place allgemein die Serien KVT, VT und SV und präzises, pulsations- und vibrationsarmes Vakuum; eine Fallstudie nennt 20.000 wartungsfreie Betriebsstunden. Für Roboter-Pick & Place nennt Becker die Klauen-Vakuumpumpen BCV (BCV 100: 50 mbar, BCV 300: 150 mbar), für Schlauch- und Säulenheber die Seitenkanalgebläse SV mit 195–1250 m³/h. Elmo Rietschle nennt Pick & Place für die Elektronik mit den Familien G, L und V.
Trockenlaufend oder ölgeschmiert in der Halbleiterfertigung?
Für die Waferfertigung nennt Pfeiffer Vacuum ausschließlich trockene Vorpumpen, weil die Fertigung partikel- und kontaminationsfrei bleiben muss und die Nebenprodukte korrosiv oder pulvrig sind; Busch nennt dafür die COBRA Semicon Serie. Außerhalb der Prozesskammern, etwa bei Pick & Place und Handhabung, nennt Becker für die Elektronikindustrie trockenlaufende und ölgeschmierte Drehschieber-, Schrauben-, Klauen- und Seitenkanal-Pumpen. Für das Hausvakuum nennt Atlas Copco neben GHS VSD+ und LRP VSD+ auch DZS VSD+ in Klasse 0.
Welche Vakuumpumpe für EUV-Lithografie?
Pfeiffer Vacuum nennt für die EUV-Lithografie partikelfreies Vakuum und einen hohen H₂-Fluss in der Lichtquelle, für Strukturen unter 10 nm; als Vorpumpen werden ACP und HiLobe genannt, für die Lithografie allgemein A 100/200 L, A4, ACP und TORRI.
Welche Vakuumpumpe für Rasterelektronenmikroskope und CD-SEM?
Pfeiffer Vacuum nennt für CD-SEM in der Wafer-Messtechnik 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa und vibrationsarme Vorpumpen, ACP und HiScroll. Die Elektronenmikroskopie braucht laut Pfeiffer einen streuungsfreien Elektronenstrahl und vibrationsarme Pumpen; genannt werden Membran-, mehrstufige Roots- und Scroll-Pumpen, als Serie HiScroll.
Welche Vakuumpumpe für die Displayfertigung (TFT, LCD, OLED)?
Pfeiffer Vacuum nennt für die Fertigung von Flachbildschirmen (TFT, LCD, AMOLED) die A4 Serie und COBRA DS. Busch nennt für Display die COBRA Industry und die COBRA Semicon Serie und Hochvakuum für die Produktion von Flachbildschirmen. Edwards nennt für Display-Prozesse – CVD, Ätzen, PVD, Implantation, Kapselung – Vakuum mit Abgasreinigung und die Serien GXS und GV.
Wie findet man Lecks in Vakuumanlagen der Halbleiterfertigung?
Pfeiffer Vacuum beschreibt die Helium-Lecksuche: Helium wird außen aufgesprüht, ein Lecksucher am System ortet die Lecks mit etwa 10⁻⁷–10⁻⁹ mbar·l/s; genannt werden die Lecksucher ASM 340/310/390/392 und als Vorpumpen ACP, DuoVane und HiScroll. Die Restgasanalyse zeigt daneben Verunreinigungen, Lecks und Ausgasung im Vakuum an.
Einzelpumpe an jeder Maschine oder zentrale Vakuumanlage?
Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.
Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?
Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.
Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?
Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.
