Sector

Bombas de vacío para semiconductores, electrónica y pantallas

La fabricación de obleas, el recubrimiento, la producción de pantallas y el montaje de placas de circuito impreso necesitan vacío en rangos muy distintos: desde el vacío de proceso sin partículas en el grabado y la deposición, pasando por las cámaras de esclusa (load-lock), hasta la depresión para pick & place y la manipulación. Pfeiffer Vacuum y Busch indican para ello bombas previas en seco; Becker y Elmo Rietschle, bombas para montaje, secado y aspiración; Atlas Copco, bombas para el vacío centralizado de la fab. A continuación puede ver qué series indican los propios fabricantes para estas tareas: 516 modelos de 7 fabricantes.

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  • 516Modelos
  • 62Series
  • 7Fabricantes
  • 8Aplicaciones
Placa de circuito con componentes electrónicos
Placa de circuito con componentes electrónicos

En resumen

Semiconductores, electrónica y pantallas: bombas de vacío – lo esencial

  • Vacío de procesoPfeiffer Vacuum indica para el grabado de obleas 10⁻²–10⁻³ hPa, para el decapado (stripping) y la calcinación (ashing) aproximadamente 1 hPa con 600–1800 (3000) m³/h y para ALD 10⁻¹–5 mbar con 1800–4500 m³/h.
  • Bombas previas en secoPara la fabricación de obleas, Pfeiffer Vacuum indica bombas en seco – bombas Roots multietapa, bombas de vacío de tornillo y scroll –, porque los subproductos de muchos procesos son corrosivos o pulverulentos. Busch indica para ello la serie COBRA Semicon.
  • Vacío centralizadoAtlas Copco indica para el vacío centralizado de la fabricación de circuitos integrados 100–400 mbar abs. y 2.000–8.000 m³/h, en las grandes fabs más de 12.000 m³/h, las 24 horas del día, con una recuperación de calor de hasta el 75 %.
  • Pick & PlaceBecker indica para la industria electrónica un vacío preciso, con pocas pulsaciones y vibraciones, sobre todo para pick & place, y un caso práctico con 20.000 horas de funcionamiento sin mantenimiento.

Aplicaciones

Semiconductores, electrónica y pantallas: para qué se usan las bombas de vacío

Para cada aplicación: qué aporta el vacío y qué series indican los fabricantes para ella. Los datos proceden de las páginas de los propios fabricantes.

Grabado, decapado e implantación iónica

En el grabado de dieléctricos, conductores y polisilicio, en el decapado y la calcinación y en el ALE, los procesos trabajan según Pfeiffer Vacuum a 10⁻²–10⁻³ hPa, con bombas previas secas y bombas turbomoleculares; en el decapado a aproximadamente 1 hPa con 600–1800 (3000) m³/h. Busch indica para el grabado de polisilicio y la implantación iónica la serie COBRA Semicon; Pfeiffer Vacuum indica para la implantación ACP y TORRI, para el grabado A4 y COBRA BC/DS y para la litografía EUV un vacío sin partículas con un alto flujo de H₂ en la fuente de luz (ACP, HiLobe).

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Deposición de capas finas: CVD, PECVD, ALD y PVD

Pfeiffer Vacuum indica para PECVD/SACVD, PVD, ALD, LPCVD/difusión y MBE la serie A4 y señala que los subproductos son corrosivos o pulverulentos; para ALD, Pfeiffer indica 10⁻¹–5 mbar con 1800–4500 m³/h, y para MBE aproximadamente 10⁻¹¹ hPa. Busch indica la serie COBRA Semicon para ALD, PECVD, PVD y LPCVD/difusión, y COBRA DS para capas CVD/PECVD como las capas antirreflectantes. Para el recubrimiento decorativo, óptico y de vidrio, ambos fabricantes indican otras series: Busch COBRA Industry, R5, PANDA/PUMA y MINK; Pfeiffer ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll y TORRI.

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Cámaras de esclusa (load-lock) y de transferencia

Según Pfeiffer Vacuum, las esclusas permanecen bajo vacío sin partículas y deben evacuarse con rapidez; se indican A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente para 10⁻¹–10⁻² hPa, así como A4, ACP, TORRI y COBRA DS. Busch indica para las cámaras de esclusa COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY, para que las obleas entren por la esclusa sin golpes de presión.

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Pick & Place, montadoras de chips y manipulación

En la elevación y el traslado automatizados, la depresión mantiene la sujeción de las ventosas. Becker indica para ello el montaje de placas de circuito impreso con montadoras de chips, cargadores y descargadores automáticos y sistemas de pórtico, y como series KVT, VT y SV; un caso práctico menciona 20.000 horas de funcionamiento sin mantenimiento. Para elevadores por vacío, Becker indica SV con 195–1250 m³/h y de −290 a −440 mbar; para pick & place con robots, las bombas de vacío de garras BCV (BCV 100: 50 mbar, BCV 300: 150 mbar). Elmo Rietschle menciona pick & place para la electrónica con las familias G, L y V.

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Vacío centralizado para montaje, transporte, corte y prueba

Atlas Copco indica vacío centralizado para todos los pasos de manipulación de la fabricación de circuitos integrados – montaje, transporte, corte, moldeo, prueba – con 100–400 mbar abs. y 2.000–8.000 m³/h, en las grandes fabs más de 12.000 m³/h. Se indican GHS VSD+, DZS VSD+ (clase 0) y LRP VSD+, un vacío centralizado limpio y estable las 24 horas del día, una recuperación de calor de hasta el 75 % y una regulación de presión precisa para varias líneas. Leybold incluye la fabricación electrónica para NOVADRY NDi con vacío centralizado por debajo de 100 mbar.

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Secado al vacío de componentes y conjuntos

Elmo Rietschle y Becker incluyen el secado de componentes electrónicos sin describirlo con más detalle; Becker menciona además el secado y la impregnación en autoclaves y la evacuación de instalaciones de secado. En general, según Becker, el agua se evapora bajo vacío ya a partir de 20–40 °C (indicado para VADS y U). Elmo Rietschle indica para el secado al vacío versiones con alta tolerancia al vapor de agua (V-VC 40–150, 40–180 m³/h) y, para tiempos de evacuación cortos, la S-VSI 300 con hasta 380 m³/h y 0,1 mbar (abs.).

  • BeckerVADS, U, U4 Las series son las de la página general de secado de Becker (polvos, especias, frutas); Becker menciona los componentes electrónicos sin serie
  • Elmo RietschleV-VGD, V-VTN, V-VCB, V-VCA/VCE, V-VCS, V-VCX, V-KTR, V-VTR Elmo Rietschle también menciona la S-VSI 300

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Inspección y metrología: CD-SEM, análisis, detección de fugas

Para la metrología de obleas con CD-SEM y bajas vibraciones, Pfeiffer Vacuum indica 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa y como bombas previas ACP y HiScroll; para la inspección y la metrología en general, A 100/200 L, ACP y TORRI. Según Pfeiffer, el análisis de gases residuales mide la composición del gas en el vacío (contaminación, fugas, desgasificación) a un máximo de 10⁻⁴ hPa en el analizador. En la detección de fugas con helio, un detector de fugas localiza el helio rociado desde el exterior con aproximadamente 10⁻⁷–10⁻⁹ mbar·l/s; como bombas previas, Pfeiffer indica ACP, DuoVane y HiScroll.

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Fabricación de placas de circuito impreso: fijación, soldadura, procesos húmedos

Becker menciona la fijación en procesos de prueba de semiconductores, la aspiración de vapores de soldadura y el insuflado y el soplado en procesos húmedos de placas de circuito impreso, sin describirlos. En general, según Becker, la sujeción por vacío fija las piezas para que puedan mecanizarse con precisión, y en la aspiración de mezclas de gas, líquido y sólido un separador protege la bomba. Edwards incluye la fabricación de placas de circuito impreso y las pruebas electrónicas entre las aplicaciones de las bombas de vacío scroll.

  • BeckerVT, VX, KVT, KVX, VTLF, VXLF, O, U, U4, VADS, SV, VASF Las series son las de la página de sujeción por vacío de Becker
  • Edwardsincluye la fabricación de placas de circuito impreso y las pruebas electrónicas para bombas de vacío scroll, sin serie

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Fabricantes y series

Semiconductores, electrónica y pantallas: 7 fabricantes, 62 series

Se indican las series que el propio fabricante menciona para este sector. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.

Resumen de productos

Semiconductores, electrónica y pantallas: los 516 modelos comparados

Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.

Atlas Copco Serie AWL 11 modelos

AWL 4000Velocidad de bombeo 4.290 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 160 kW 50 HzVariantes
AWL 5500Velocidad de bombeo 5.580 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 185 kW 50 HzVariantes
AWL 7000Velocidad de bombeo 6.900 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 185 kW 50 HzVariantes 8
AWL 9500Velocidad de bombeo 9.200 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 200 kW 50 HzVariantes 8
AWL 12500Velocidad de bombeo 12.500 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 280 kW 50 HzVariantes 8
AWL 15000Velocidad de bombeo 15.000 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 315 kW 50 HzVariantes 9
AWL 17500Velocidad de bombeo 17.400 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 400 kW 50 HzVariantes 8
AWL 21500Velocidad de bombeo 21.300 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 450 kW 50 HzVariantes 8
AWL 26000Velocidad de bombeo 25.800 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 560 kW 50 HzVariantes 6
AWL 30000Velocidad de bombeo 30.000 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 630 kW 50 HzVariantes 4
AWL 37500Velocidad de bombeo 36.600 m³/h 50 HzPresión final 160 mbarPotencia nominal del motor 800 kW 50 HzVariantes

Atlas Copco Serie DHS VSD+ 1 modelo

DHS 3000 VSD+Velocidad de bombeo 3.044 m³/h 50 Hz3.044 m³/h 60 HzPresión final 350 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVariantes 4

Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos

DWS 160 VSD+Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1
DWS 250 VSD+Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1
DWS 450 VSD+Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3
DWS 750 VSD+Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3
DWS 160/1750 VSD+Velocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 1
DWS 250/2600 VSD+Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1

Atlas Copco Serie DZS 8 modelos

DZS 065AVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 1,8 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 12
DZS 065APVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 5
DZS 150AVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 12
DZS 150APVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 6
DZS 300APVelocidad de bombeo 238 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 19 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 6
DZS 300AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 140 – 200 mbarPotencia nominal del motor 6,2 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 12
DZS 500 VVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 9,2 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 8
DZS 1000 VVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 8

Atlas Copco Serie DZS VSD+ 5 modelos

DZS 100 VSD+Velocidad de bombeo 105 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 3
DZS 200 VSD+Velocidad de bombeo 189 m³/h 50 Hz189 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 3
DZS 400 VSD+Velocidad de bombeo 398 m³/h 50 Hz398 m³/h 60 HzPresión final 140 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3
DZS 600 VSD+Velocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 2
DZS 1200 VSD+Velocidad de bombeo 1.140 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 2

Atlas Copco Serie GHS VSD+ 21 modelos

GHS 350 VSD+Velocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz400 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 29
GHS 402 VSD+Velocidad de bombeo 467 m³/h 50 Hz467 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVariantes 4
GHS 585 VSD+Velocidad de bombeo 560 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 30
GHS 602 VSD+Velocidad de bombeo 640 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 7,5 – 11 kW 50 Hz7,5 – 11 kW 60 HzVariantes 4
GHS 730 VSD+Velocidad de bombeo 730 m³/h 50 Hz730 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 30
GHS 752 VSD+Velocidad de bombeo 805 m³/h 50 Hz805 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 11 – 15 kW 50 Hz11 – 15 kW 60 HzVariantes 4
GHS 900 VSD+Velocidad de bombeo 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 32
GHS 902 VSD+Velocidad de bombeo 917 m³/h 50 Hz917 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 15 – 18,5 kW 50 Hz15 – 18,5 kW 60 HzVariantes 4
GHS 1002 VSD+Velocidad de bombeo 1.039 m³/h 50 Hz1.039 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
GHS 1202 VSD+Velocidad de bombeo 1.172 m³/h 50 Hz1.172 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 9
GHS 1300 VSD+Velocidad de bombeo 1.250 – 1.615 m³/h 50 Hz1.250 – 1.615 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 18 – 22 kW 50 Hz18 – 22 kW 60 HzVariantes 33
GHS 1402 VSD+Velocidad de bombeo 1.383 m³/h 50 Hz1.383 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 9
GHS 1602 VSD+Velocidad de bombeo 1.581 m³/h 50 Hz1.581 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 9
GHS 1600 VSD+Velocidad de bombeo 1.590 – 1.811 m³/h 50 Hz1.590 – 1.811 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 28 – 30 kW 50 Hz28 – 30 kW 60 HzVariantes 33
GHS 2002 VSD+Velocidad de bombeo 1.771 m³/h 50 Hz1.771 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 9
GHS 1900 VSD+Velocidad de bombeo 1.810 m³/h 50 Hz1.810 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 21
GHS 2700 VSD+Velocidad de bombeo 2.674 m³/h 50 Hz2.674 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 45 kW 50 Hz45 kW 60 HzVariantes 8
GHS 3400 VSD+Velocidad de bombeo 3.268 m³/h 50 Hz3.268 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVariantes 8
GHS 3800 VSD+Velocidad de bombeo 3.724 m³/h 50 Hz3.724 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVariantes 9
GHS 4600 VSD+Velocidad de bombeo 4.494 m³/h 50 Hz4.494 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 75 kW 50 Hz75 kW 60 HzVariantes 9
GHS 5400 VSD+Velocidad de bombeo 5.136 m³/h 50 Hz5.136 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 90 kW 50 Hz90 kW 60 HzVariantes 9

Atlas Copco Serie GVS VSD+ 4 modelos

GVS 80 VSD+Velocidad de bombeo 78 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1
GVS 120 VSD+Velocidad de bombeo 117 m³/h 50 Hz117 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 1
GVS 255 VSD+Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1
GVS 400 VSD+Velocidad de bombeo 351 m³/h 50 Hz351 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 1

Atlas Copco Serie LRP VSD+ 3 modelos

LRP 700 VSD+Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 10
LRP 900 VSD+Velocidad de bombeo 940 m³/h 50 Hz940 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes 10
LRP 1000 VSD+Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.050 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 10

Becker Serie BCV 7 modelos

BCV 100Velocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,2 – 3 kW 60 HzVariantes 4
BCV 150Velocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 3 – 4 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVariantes 4
BCV 300Velocidad de bombeo 275 m³/h 50 Hz325 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVariantes 4
BCV 400Velocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVariantes 5
BCV 400 FDVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes 4
BCV 500Velocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVariantes 5
BCV 500 FDVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 9,2 kW 50 Hz11,8 kW 60 HzVariantes 5

Becker Serie KVT 4 modelos

Bomba de vacío KVT 3.60KVT 3.60Velocidad de bombeo 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVariantes 6
Bomba de vacío KVT 3.80KVT 3.80Velocidad de bombeo 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVariantes 6
Bomba de vacío KVT 3.100KVT 3.100Velocidad de bombeo 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVariantes 8
Bomba de vacío KVT 3.140KVT 3.140Velocidad de bombeo 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVariantes 7

Becker Serie KVX 4 modelos

Bomba de vacío KVT 3.60KVX 3.60Velocidad de bombeo 55 m³/h 50 Hz66 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVariantes 6
Bomba de vacío KVT 3.80KVX 3.80Velocidad de bombeo 67 m³/h 50 Hz78,5 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVariantes 6
Bomba de vacío KVT 3.100KVX 3.100Velocidad de bombeo 98 m³/h 50 Hz112 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVariantes 8
Bomba de vacío KVT 3.140KVX 3.140Velocidad de bombeo 129 m³/h 50 Hz154 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,5 – 4,8 kW 60 HzVariantes 7

Becker Serie O 6 modelos

O 6.4Velocidad de bombeo 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,12 kW 50 Hz0,15 kW 60 HzVariantes
O 6.8Velocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,3 kW 50 Hz0,36 kW 60 HzVariantes
O 5.10 (XL)Velocidad de bombeo 10,5 m³/h 50 Hz12,5 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,45 – 0,66 kW 60 HzVariantes 6
O 5.16 (XL)Velocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 6
O 5.21 (XL)Velocidad de bombeo 23,5 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 6
O 5.25 (XL K)Velocidad de bombeo 26 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 6

Becker Serie RBP 3 modelos

RBP 500Velocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,2 – 3 kW 60 HzVariantes 5
RBP 1000Velocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 – 5,5 kW 50 Hz4 – 5,5 kW 60 HzVariantes 5
RBP 2000Velocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVariantes 5

Becker Serie SV 16 modelos

SV 130/2Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 0,55 – 1,1 kW 50 Hz0,66 – 1,3 kW 60 HzVariantes 11
SV 200/2Velocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVariantes 9
SV 201/2Velocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVariantes 9
SV 130/1Velocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 0,55 – 1,5 kW 50 Hz0,66 – 1,8 kW 60 HzVariantes 19
SV 300/2Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 – 3 kW 50 Hz2,65 – 3,6 kW 60 HzVariantes 7
SV 200/1Velocidad de bombeo 180 m³/h 50 Hz230 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,8 kW 60 HzVariantes 9
SV 201/1Velocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz230 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,1 – 2,2 kW 50 Hz1,3 – 2,65 kW 60 HzVariantes 12
SV 400/2Velocidad de bombeo 195 m³/h 50 Hz235 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVariantes 12
SV 500/2Velocidad de bombeo 260 m³/h 50 Hz305 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVariantes 12
SV 300/1Velocidad de bombeo 325 m³/h 50 Hz390 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 – 4 kW 50 Hz2,65 – 4,8 kW 60 HzVariantes 11
SV 700/2Velocidad de bombeo 375 m³/h 50 Hz435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 3
SV 400/1Velocidad de bombeo 390 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 – 5,5 kW 50 Hz3,6 – 6,6 kW 60 HzVariantes 12
SV 1100/2Velocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVariantes 6
SV 500/1Velocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 – 7,5 kW 50 Hz4,8 – 9 kW 60 HzVariantes 12
SV 700/1Velocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz900 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 – 11 kW 50 Hz6,6 – 13,2 kW 60 HzVariantes 10
SV 1100/1Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 – 15 kW 50 Hz9 – 18 kW 60 HzVariantes 9

Becker Serie U 8 modelos

U 5.40 (XL K)Velocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,35 kW 60 HzVariantes 5
U 5.45Velocidad de bombeo 45 m³/h 50 Hz54 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 1,8 kW 50 Hz1,5 – 1,8 kW 60 HzVariantes 4
U 5.65 (XL K)Velocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 – 1,8 kW 50 Hz1,5 – 1,8 kW 60 HzVariantes 4
U 5.71Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 5
U 5.101Velocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 – 2,6 kW 60 HzVariantes 4
U 5.166Velocidad de bombeo 165 m³/h 50 Hz198 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 3 – 4 kW 50 Hz3,6 – 4,8 kW 60 HzVariantes 8
U 5.201Velocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 – 5,5 kW 50 Hz4,5 – 6,6 kW 60 HzVariantes 10
U 5.301Velocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 – 7,5 kW 50 Hz6,6 – 9 kW 60 HzVariantes 9

Becker Serie U4 4 modelos

U 4.400 F/KVelocidad de bombeo 435 m³/h 50 Hz508 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 7
U 4.400 SA/KVelocidad de bombeo 435 m³/h 50 Hz508 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 7
U 4.630 F/KVelocidad de bombeo 624 m³/h 50 Hz732 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVariantes 4
U 4.630 SA/KVelocidad de bombeo 624 m³/h 50 Hz732 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVariantes 4

Becker Serie VADS 3 modelos

VADS 250Velocidad de bombeo 290 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
VADS 1500+ VerdichterVelocidad de bombeo 1.230 m³/h 50 Hz1.230 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VADS 1500+Velocidad de bombeo 1.380 m³/h 50 Hz1.380 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Becker Serie VARIAIR RV 1 modelo

VARIAIR RV 2.1944/10Velocidad de bombeo 1.570 m³/h 50 Hz1.570 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes

Becker Serie VASF 6 modelos

VASF 2.50/2Velocidad de bombeo 24 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VASF 2.80/2Velocidad de bombeo 45 m³/h 50 Hz45 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VASF 2.50/1Velocidad de bombeo 48 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VASF 2.120/2Velocidad de bombeo 71 m³/h 50 Hz71 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VASF 2.80/1Velocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes
VASF 2.120/1Velocidad de bombeo 143 m³/h 50 Hz143 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes

Becker Serie VATP 1 modelo

VATP 1600Velocidad de bombeo 1.570 m³/h 50 Hz1.570 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes

Becker Serie VT 7 modelos

Bomba de vacío VT 4.2VT 4.2Velocidad de bombeo 1,9 m³/h 50 Hz2,3 m³/h 60 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 0,09 kW 50 Hz0,105 kW 60 HzVariantes 1
Bomba de vacío VT 4.4VT 4.4Velocidad de bombeo 4,1 m³/h 50 Hz4,7 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,18 kW 50 Hz0,21 – 0,22 kW 60 HzVariantes 2
Bomba de vacío VT 4.8VT 4.8Velocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,1 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,3 – 0,37 kW 50 Hz0,35 – 0,44 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío VT 4.10VT 4.10Velocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,44 – 0,45 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío VT 4.16VT 4.16Velocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 – 0,7 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VT 4.25VT 4.25Velocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,8 kW 50 Hz0,9 – 1 kW 60 HzVariantes 5
Bomba de vacío VT 4.40VT 4.40Velocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,5 kW 60 HzVariantes 5

Becker Serie VTLF 6 modelos

Bomba de vacío VTLF 2.200VTLF 2.200Velocidad de bombeo 178 m³/h 50 Hz218 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VTLF 2.250VTLF 2.250Velocidad de bombeo 244 m³/h 50 Hz286 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 5
VTLF 2.250 SKVelocidad de bombeo 247 m³/h 50 Hz295 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VTLF 2.360VTLF 2.360Velocidad de bombeo 351 m³/h 50 Hz402 m³/h 60 HzPresión final 250 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VTLF 2.400VTLF 2.400Velocidad de bombeo 390 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVariantes 5
Bomba de vacío VTLF 2.500VTLF 2.500Velocidad de bombeo 495 m³/h 50 Hz570 m³/h 60 HzPresión final 250 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 4

Becker Serie VX 4 modelos

Bomba de vacío VT 4.10VX 4.10Velocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,44 – 0,45 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío VT 4.16VX 4.16Velocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 – 0,7 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VT 4.25VX 4.25Velocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 0,75 – 0,8 kW 50 Hz0,9 – 1 kW 60 HzVariantes 5
Bomba de vacío VT 4.40VX 4.40Velocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,5 kW 60 HzVariantes 5

Becker Serie VXLF 5 modelos

Bomba de vacío VTLF 2.200VXLF 2.200Velocidad de bombeo 178 m³/h 50 Hz218 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VTLF 2.250VXLF 2.250Velocidad de bombeo 244 m³/h 50 Hz286 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 5
VXLF 2.250 SKVelocidad de bombeo 247 m³/h 50 Hz295 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 4
Bomba de vacío VTLF 2.400VXLF 2.400Velocidad de bombeo 390 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 – 11 kW 50 Hz9 – 13,2 kW 60 HzVariantes 5
Bomba de vacío VTLF 2.500VXLF 2.500Velocidad de bombeo 495 m³/h 50 Hz570 m³/h 60 HzPresión final 250 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 4

Busch Serie COBRA Industry 36 modelos

COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0950 AVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0950 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1500 B VRVelocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 2000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2500 CVelocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2000 C VRVelocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2760 AVelocidad de bombeo 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2780 AVelocidad de bombeo 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4560 AVelocidad de bombeo 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4580 AVelocidad de bombeo 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6260 AVelocidad de bombeo 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6280 AVelocidad de bombeo 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes

Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos

COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 3
COBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
COBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3181 CVelocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8161 FVelocidad de bombeo 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 9161 BVelocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8162 FVelocidad de bombeo 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8163 BVelocidad de bombeo 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVariantes

Busch Serie MINK 32 modelos

MINK MB 0018 AVelocidad de bombeo 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzPresión final 600 mbarPotencia nominal del motor 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes
MINK MI 2124 BVVelocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes
MINK MV 0060 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes
MINK MM 0084 AVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1104 BVVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 10
MINK MM 1104 CVMVelocidad de bombeo 62 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 1,3 kW 50 HzVariantes
MINK MM 0104 AVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1144 BVVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUEVelocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor Variantes
MINK MM 0142 AVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1102 BVVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 6
MINK MM 1102 CVMVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 HzPresión final 400 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 HzVariantes
MINK MI 2122 BVVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVariantes
MINK MM 0182 AVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 40 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1142 BVVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 13
MINK MM 1324 AVVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 60 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2
MINK MM 1202 AVVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 11
MINK MM 1252 AVVelocidad de bombeo 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 8
MINK MW 0332 BVelocidad de bombeo 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzPresión final 0,8 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
MINK MV 0312 BVelocidad de bombeo 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVariantes 4
MINK MM 1322 AVVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVariantes 10
MINK MV 0310 BVelocidad de bombeo 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVariantes
MINK MV 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 100 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1402 AVVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0502 BVelocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 2
MINK MV 0500 BVelocidad de bombeo 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
MINK MM 1502 AVVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 5
MINK MV 0602 BVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 0600 BVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
MINK MV 1202 BVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3
MINK MV 1200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 200 mbarPotencia nominal del motor 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes

Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos

PANDA WV 0250 CVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes
PANDA WZ 0250 BVelocidad de bombeo 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 4
PUMA WY 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 0500 D2Velocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes
PANDA WZ 0500 BVelocidad de bombeo 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 0700 DVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 0700 CVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 1000 D2Velocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 5
PANDA WZ 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 1250 CVelocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 1250 D2Velocidad de bombeo 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 1800 AVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 5
PUMA WY 2000 CVelocidad de bombeo 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 2000 D2Velocidad de bombeo 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes 5
PANDA WZ 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 2200 AVelocidad de bombeo 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 3600 AVelocidad de bombeo 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 4500 BVelocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 4
PUMA WP 4500 B2Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 5400 AVelocidad de bombeo 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 8100 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 8000 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
PUMA WG 9600Velocidad de bombeo 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzPresión final 130 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Busch Serie R5 58 modelos

R5 PB 0003 DVelocidad de bombeo 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes
R5 PB 0004 CVelocidad de bombeo 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes
R5 PB 0008 CVelocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes
R5 KB 0010 EVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes 1
R5 KD 0012 AVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1
R5 RC 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1
R5 KB 0016 EVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 1
R5 KD 0020 AVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1
R5 RC 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1
R5 KB 0020 DVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 1
R5 RB 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 2
R5 RC 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
R5 KD 0025 AVelocidad de bombeo 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
R5 KB 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 3
R5 KB 0040 DVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0040 FVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 3
R5 RE 0040 CVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0063 FVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 3
R5 RE 0063 CVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0100 FVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0155 AVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0165 DVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0165 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0200 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0205 DVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0205 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0240 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0255 DVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes 3
R5 RD 0300 AVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0255 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0305 DVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0305 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0400 CVelocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0520 AVelocidad de bombeo 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0400 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0502 CVelocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0520 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0502 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0600 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0840 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0840 B PLUSVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 1000 BVelocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 1000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes
R5 RA 1000 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 1600 BVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 1600 A PLUSVelocidad de bombeo 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes

Edwards Serie GV 2 modelos

Edwards Drystar GV80Velocidad de bombeo 82 m³/h 50 Hz94 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 7
Edwards GV110Velocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4 – 5,5 kW 50 Hz4 – 5,5 kW 60 HzVariantes 3

Edwards Serie GXS 10 modelos

Edwards GXS160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 12
Edwards GXS250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 10
Edwards GXS450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 8
Edwards GXS750Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 12
Edwards GXS160/1750Velocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 11
Edwards GXS250/2600Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 10
Edwards GXS450/2600Velocidad de bombeo 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 9
Edwards GXS750/2600Velocidad de bombeo 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 8
Edwards GXS450/4200Velocidad de bombeo 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 9
Edwards GXS750/4200Velocidad de bombeo 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 10

Elmo Rietschle Serie G-BH1 25 modelos

G-BH1 2BH1 100Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,2 – 0,25 kW 50 Hz0,23 – 0,29 kW 60 HzVariantes 5
G-BH1 2BH1 200Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,25 kW 50 Hz0,29 – 0,32 kW 60 HzVariantes 4
G-BH1 2BH1 300Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,25 – 0,55 kW 50 Hz0,29 – 0,63 kW 60 HzVariantes 8
G-BH1 2BH1 310Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,55 – 0,7 kW 50 Hz0,63 – 0,83 kW 60 HzVariantes 4
G-BH1 2BH1 330Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,25 – 0,7 kW 50 Hz0,29 – 0,83 kW 60 HzVariantes 9
G-BH1 2BH1 400Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,7 – 1,3 kW 50 Hz0,83 – 1,6 kW 60 HzVariantes 13
G-BH1 2BH1 410Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,75 – 2,5 kW 50 Hz2 – 3 kW 60 HzVariantes 10
G-BH1 2BH1 430Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,95 – 1,3 kW 50 Hz1,1 – 1,6 kW 60 HzVariantes 10
G-BH1 2BH1 490Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,95 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 5
G-BH1 2BH1 500Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,95 – 2,5 kW 50 Hz1,1 – 3 kW 60 HzVariantes 20
G-BH1 2BH1 510Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 3,45 – 4,6 kW 50 Hz4 – 5,3 kW 60 HzVariantes 10
G-BH1 2BH1 530Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,3 – 2,5 kW 50 Hz1,6 – 3 kW 60 HzVariantes 15
G-BH1 2BH1 600Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,75 – 4,6 kW 50 Hz2 – 5,3 kW 60 HzVariantes 23
G-BH1 2BH1 610Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,2 – 8,6 kW 50 Hz2,55 – 9,9 kW 60 HzVariantes 32
G-BH1 2BH1 630Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVariantes 18
G-BH1 2BH1 640Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVariantes 15
G-BH1 2BH1 690Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 3,45 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVariantes 12
G-BH1 2BH1 800Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVariantes 29
G-BH1 2BH1 810Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 7,5 – 17,3 kW 50 Hz8,6 – 19,9 kW 60 HzVariantes 18
G-BH1 2BH1 830Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4 – 8,6 kW 50 Hz4,6 – 9,9 kW 60 HzVariantes 29
G-BH1 2BH1 900Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 8,5 – 21,3 kW 50 Hz9,8 – 24,5 kW 60 HzVariantes 34
G-BH1 2BH1 910Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 12,6 – 25,3 kW 50 Hz14,5 – 29 kW 60 HzVariantes 20
G-BH1 2BH1 930Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 8,5 – 21,3 kW 50 Hz9,8 – 24,5 kW 60 HzVariantes 32
G-BH1 2BH1 940Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 29 kW 60 HzVariantes 12
G-BH1 2BH1 943Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 29 kW 60 HzVariantes 15

Elmo Rietschle Serie G-BH2 9 modelos

G-BH2 2BH2 0360-1Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 6,3 kW 50 Hz3 – 7,3 kW 60 HzVariantes 16
G-BH2 2BH2 0360-2Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4,6 – 12,6 kW 50 Hz5,3 – 14,5 kW 60 HzVariantes 17
G-BH2 2BH2 0360-3Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 6,3 – 12,6 kW 50 Hz7,3 – 14,5 kW 60 HzVariantes 12
G-BH2 2BH2 0540-1Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4,6 – 8,6 kW 50 Hz5,3 – 9,9 kW 60 HzVariantes 13
G-BH2 2BH2 0540-2Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 8,6 – 17,3 kW 50 Hz9,9 – 19,9 kW 60 HzVariantes 13
G-BH2 2BH2 0540-3Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 12,6 – 21,3 kW 50 Hz14,5 – 24,5 kW 60 HzVariantes 12
G-BH2 2BH2 0780-1Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 6,3 – 17,3 kW 50 Hz7,3 – 19,9 kW 60 HzVariantes 17
G-BH2 2BH2 0780-2Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 12,6 – 25,3 kW 50 Hz14,5 – 29 kW 60 HzVariantes 16
G-BH2 2BH2 0780-3Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 17,3 – 25,3 kW 50 Hz19,9 – 28,5 kW 60 HzVariantes 12

Elmo Rietschle Serie G-BH7 15 modelos

G-BH7 2BH7 210Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,55 – 1 kW 50 Hz0,63 – 1,1 kW 60 HzVariantes 8
G-BH7 2BH7 220Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,81 – 1,8 kW 50 Hz0,94 – 2 kW 60 HzVariantes 10
G-BH7 2BH7 310Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,55 – 1,3 kW 50 Hz0,63 – 1,6 kW 60 HzVariantes 11
G-BH7 2BH7 320Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,3 – 2,5 kW 50 Hz1,6 – 3 kW 60 HzVariantes 9
G-BH7 2BH7 410Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,3 – 1,8 kW 50 Hz1,6 – 2 kW 60 HzVariantes 6
G-BH7 2BH7 420Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,8 – 3,45 kW 50 Hz2 – 4 kW 60 HzVariantes 12
G-BH7 2BH7 510Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,8 – 2,5 kW 50 Hz2 – 3 kW 60 HzVariantes 6
G-BH7 2BH7 520Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVariantes 9
G-BH7 2BH7 530Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4,6 kW 50 Hz5,3 kW 60 HzVariantes 3
G-BH7 2BH7 610-0AVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 3,5 kW 50 Hz3 – 4 kW 60 HzVariantes 10
G-BH7 2BH7 610-3NVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,5 – 4,6 kW 50 Hz3 – 5,3 kW 60 HzVariantes 15
G-BH7 2BH7 620-0AVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 3,45 – 6,3 kW 50 Hz4 – 7,3 kW 60 HzVariantes 15
G-BH7 2BH7 620-0NVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 3,45 – 6,3 kW 50 Hz4 – 7,3 kW 60 HzVariantes 15
G-BH7 2BH7 630-0AVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 6,3 – 8,6 kW 50 Hz7,3 – 9,9 kW 60 HzVariantes 10
G-BH7 2BH7 630-0NVelocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 6,3 – 8,6 kW 50 Hz7,3 – 9,9 kW 60 HzVariantes 10

Elmo Rietschle Serie G-BH9 1 modelo

G-BH9 2BH9 2300Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 17,3 – 21,3 kW 50 Hz19,9 – 24,5 kW 60 HzVariantes 5

Elmo Rietschle Serie G-BH100 1 modelo

G-BH100 2BH1 002Velocidad de bombeo 35 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor Variantes 2

Elmo Rietschle Serie L-BL2 7 modelos

L-BL2 2BL2 041Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 0,85 kW 50 Hz1,15 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 061Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 1,4 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 101Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 2,4 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 141Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 3,4 kW 50 Hz4,6 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 251Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 4,2 kW 50 Hz5,6 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 281Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVariantes 4
L-BL2 2BL2 341Velocidad de bombeo Presión final Potencia nominal del motor 7 kW 50 Hz9,7 kW 60 HzVariantes 4

Elmo Rietschle Serie L-BV2 4 modelos

L-BV2 2BV2 060Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 0,88 kW 50 Hz1,25 kW 60 HzVariantes 5
L-BV2 2BV2 061Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz2 kW 60 HzVariantes 5
L-BV2 2BV2 070Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 2,6 kW 50 Hz3,5 – 3,7 kW 60 HzVariantes 5
L-BV2 2BV2 071Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz6,1 kW 60 HzVariantes 5

Elmo Rietschle Serie L-BV3 1 modelo

L-BV3 2BV3 151Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 0,3 kW 50 Hz0,4 kW 60 HzVariantes 2

Elmo Rietschle Serie L-BV5 5 modelos

L-BV5 2BV5 110Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 4,2 kW 50 Hz5,6 kW 60 HzVariantes 4
L-BV5 2BV5 111Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVariantes 4
L-BV5 2BV5 121Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 7 kW 50 Hz9,7 kW 60 HzVariantes 4
L-BV5 2BV5 131Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 10,5 kW 50 Hz14,7 kW 60 HzVariantes 4
L-BV5 2BV5 161Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 12,4 kW 50 Hz16 kW 60 HzVariantes 4

Elmo Rietschle Serie L-BV7 3 modelos

L-BV7 2BV7 060Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 0,85 kW 50 Hz1,15 kW 60 HzVariantes 4
L-BV7 2BV7 070Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 2,4 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVariantes 4
L-BV7 2BV7 071Velocidad de bombeo Presión final 33 mbarPotencia nominal del motor 3,4 kW 50 Hz4,6 kW 60 HzVariantes 4

Elmo Rietschle Serie S-SVT 11 modelos

S-SVT 600Velocidad de bombeo 605 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes
S-SVT 800Velocidad de bombeo 735 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 HzVariantes
S-SVT 1000Velocidad de bombeo 905 m³/h 50 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes
S-SVT 1500Velocidad de bombeo 1.386 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 22 kW 50 HzVariantes
S-SVT 1800Velocidad de bombeo 1.672 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 30 kW 50 HzVariantes
S-SVT 2000Velocidad de bombeo 1.936 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 37 kW 50 HzVariantes
S-SVT 3000Velocidad de bombeo 3.135 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 45 kW 50 HzVariantes
S-SVT 4000Velocidad de bombeo 3.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 55 kW 50 HzVariantes
S-SVT 4500Velocidad de bombeo 4.310 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 75 kW 50 HzVariantes
S-SVT 5400Velocidad de bombeo 5.335 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 75 kW 50 HzVariantes
S-SVT 6000Velocidad de bombeo 5.740 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 90 kW 50 HzVariantes

Elmo Rietschle Serie S-VSI 1 modelo

S-VSI 301Velocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,08 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Elmo Rietschle Serie V-KTR 4 modelos

V-KTR 61Velocidad de bombeo 58 m³/h 50 Hz69 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVariantes
V-KTR 81Velocidad de bombeo 66 m³/h 50 Hz82 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
V-KTR 101Velocidad de bombeo 98 m³/h 50 Hz118 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
V-KTR 141Velocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz159 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes

Elmo Rietschle Serie V-VCA/VCE 2 modelos

V-VCA 25Velocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
V-VCE 25Velocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 10 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes

Elmo Rietschle Serie V-VCB 2 modelos

V-VCB 20Velocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
V-VCB 25Velocidad de bombeo 24 m³/h 50 Hz26,5 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes

Elmo Rietschle Serie V-VCS 13 modelos

V-VCS 40Velocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 50Velocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 75Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 100Velocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 150Velocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 200Velocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 300Velocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 400Velocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 500Velocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz660 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 700Velocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 900Velocidad de bombeo 830 m³/h 50 Hz995 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 1100Velocidad de bombeo 1.100 m³/h 50 Hz1.320 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCS 1300Velocidad de bombeo 1.280 m³/h 50 Hz1.535 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Elmo Rietschle Serie V-VCX 7 modelos

V-VCX 40Velocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 50Velocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 75Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz84 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 100Velocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 150Velocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz180 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 200Velocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VCX 300Velocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 3 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Elmo Rietschle Serie V-VGD 2 modelos

V-VGD 10Velocidad de bombeo 10 m³/h 50 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor Variantes
V-VGD 15Velocidad de bombeo 15 m³/h 50 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Elmo Rietschle Serie V-VTN 3 modelos

V-VTN 16Velocidad de bombeo 17 m³/h 50 Hz20,5 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,63 kW 60 HzVariantes
V-VTN 26Velocidad de bombeo 27 m³/h 50 Hz32 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
V-VTN 41Velocidad de bombeo 42 m³/h 50 Hz50,4 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes

Elmo Rietschle Serie V-VTR 2 modelos

V-VTR 100Velocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVariantes
V-VTR 140Velocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz155 m³/h 60 HzPresión final 150 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes

Leybold Serie CLAWVAC 5 modelos

CLAWVAC CP 65 BVelocidad de bombeo 65 m³/h 50 Hz79 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 1,8 – 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 8
CLAWVAC CP 150 BVelocidad de bombeo 152 m³/h 50 Hz184 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 3,7 – 4 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 8
CLAWVAC CP 300 BVelocidad de bombeo 295 m³/h 50 Hz347 m³/h 60 HzPresión final 140 – 200 mbarPotencia nominal del motor 6,2 – 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 8
CLAWVAC CP 500Velocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 150 – 200 mbarPotencia nominal del motor 9,2 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 5
CLAWVAC CP 1000Velocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzPresión final 150 – 200 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 5

Leybold Serie NOVADRY 4 modelos

NOVADRY ND 65Velocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío de tornillo NOVADRYNOVADRY ND 100Velocidad de bombeo 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío de tornillo NOVADRYNOVADRY ND 160Velocidad de bombeo 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 3
Bomba de vacío de tornillo NOVADRYNOVADRY ND 200Velocidad de bombeo 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3

Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos

A 124 HVelocidad de bombeo 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 204 H/XVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 604 HVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 804 H/XVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 1204 HVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 1504 H/XVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 1804 H/XVelocidad de bombeo 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 1504 XNVelocidad de bombeo 1.100 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 1804 XNVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 3004 H/XVelocidad de bombeo 3.000 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 3004 XNVelocidad de bombeo 2.900 m³/h 60 HzPresión final 4 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
A 804 XNVelocidad de bombeo 600 m³/h 60 HzPresión final 0,0145 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos

A 100 LVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 0,012 mbarPotencia nominal del motor Variantes 8
A 100 L ESVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 3
A 200 LVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 HzPresión final 0,013 mbarPotencia nominal del motor Variantes 5

Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos

ACP 15Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes 9
ACP 28Velocidad de bombeo 27 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 14
ACP 40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 15
ACP 90Velocidad de bombeo 88 m³/h 50 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 6

Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos

DuoVane 1.6Velocidad de bombeo 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVariantes 9
DuoVane 3Velocidad de bombeo 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVariantes 10
DuoVane 6Velocidad de bombeo 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 2
DuoVane 12Velocidad de bombeo 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 5
DuoVane 18Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 2
DuoVane 22Velocidad de bombeo 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVariantes 5
DuoVane 30Velocidad de bombeo 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
DuoVane 36Velocidad de bombeo 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVariantes 11
DuoVane 70Velocidad de bombeo 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 13
DuoVane 95Velocidad de bombeo 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzPresión final 6,7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVariantes 1
DuoVane 135Velocidad de bombeo 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzPresión final 2 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVariantes 3
DuoVane 300Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 3

Pfeiffer Vacuum Serie HiLobe 17 modelos

HiLobe 1002Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 1004Velocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 1302Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 1304Velocidad de bombeo 1.300 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 2104Velocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 2703Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 2704Velocidad de bombeo 2.700 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 4504Velocidad de bombeo 4.440 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 4503Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 6203Velocidad de bombeo 6.200 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 6204Velocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 7,5 kW 50 HzVariantes 2
HiLobe 8103Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 8104Velocidad de bombeo 8.120 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 9 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 11003Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 11004Velocidad de bombeo 10.830 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 12 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 14003Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1
HiLobe 14004Velocidad de bombeo 13.540 m³/h 50 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 HzVariantes 1

Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos

HiScroll 6Velocidad de bombeo 6,1 m³/h 50 HzPresión final 0,015 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7
HiScroll 12Velocidad de bombeo 12,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7
HiScroll 18Velocidad de bombeo 18,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11
HiScroll 46Velocidad de bombeo 43 m³/h 50 HzPresión final 7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11

Pfeiffer Vacuum Serie SmartVane 2 modelos

SmartVane 55Velocidad de bombeo 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 HzVariantes 2
SmartVane 70Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzPresión final 0,2 mbarPotencia nominal del motor 1 kW 50 HzVariantes 2

Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos

TORRI BD 0100 AVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 1
TORRI BD 0300 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
TORRI BD 0600 AVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
TORRI BD 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes

Pfeiffer Vacuum Serie UnoLine Plus 1 modelo

UnoLine BA 501Velocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz500 m³/h 60 HzPresión final 0,06 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18 kW 60 HzVariantes 2

Comparación de modelos

Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».

Selección

Semiconductores, electrónica y pantallas: cómo elegir la bomba de vacío

Lo que los fabricantes destacan para el uso en este sector.

Gases de proceso y subproductos

Según Pfeiffer Vacuum, los subproductos de muchos procesos de deposición son corrosivos o pulverulentos; se indican bombas previas en seco (Roots multietapa, tornillo, scroll). Edwards indica para procesos de pantallas como CVD, grabado, PVD, implantación y encapsulado el vacío junto con la depuración de gases de escape. Para aplicaciones con un alto caudal de gas, Busch y Pfeiffer indican la serie COBRA Semicon (COBRA DS).

Partículas, vibración, pulsación

Según Pfeiffer Vacuum, la fabricación de obleas debe mantenerse libre de partículas y contaminación; para CD-SEM y microscopía electrónica, Pfeiffer Vacuum indica bombas de bajas vibraciones. Becker indica para pick & place un vacío preciso, con pocas pulsaciones y vibraciones.

Lugar de instalación

Pfeiffer Vacuum distingue entre bombas en la sala limpia, en el sub-floor (en el punto de uso) y en la sub-fab. Atlas Copco indica un vacío centralizado limpio y estable las 24 horas del día; Leybold indica vacío centralizado por debajo de 100 mbar para la fabricación electrónica.

Energía y regulación de velocidad

Atlas Copco indica para sistemas de vacío centralizado con bombas de velocidad regulada hasta un 50 % menos de energía y de CO2 y una recuperación de calor de hasta el 75 %; Leybold indica para redes con bombas de velocidad regulada a menudo más de un 50 % de ahorro de energía (dato de Leybold).

Preguntas frecuentes

Semiconductores, electrónica y pantallas: preguntas frecuentes sobre bombas de vacío

¿Qué bomba de vacío es adecuada para la fabricación de semiconductores?

Pfeiffer Vacuum indica para la fabricación de obleas bombas previas en seco – bombas Roots multietapa, bombas de vacío de tornillo y scroll – y como series A 100/200 L, A4, ACP, COBRA DS/BC y TORRI, según el proceso en la sala limpia, en el sub-floor o en la sub-fab. Busch indica la serie COBRA Semicon desde las esclusas (load-lock) hasta procesos que generan partículas, como el grabado de polisilicio, el decapado, PECVD, PVD y ALD. Edwards indica para procesos de pantallas GXS y GV junto con la depuración de gases de escape.

¿Cuánto vacío necesita el grabado de obleas?

Pfeiffer Vacuum indica para el grabado de dieléctricos, conductores y polisilicio 10⁻²–10⁻³ hPa, y para el decapado y la calcinación aproximadamente 1 hPa con 600–1800 (3000) m³/h. Se indican A4 y COBRA BC/DS para el grabado y A4 y COBRA BC para el decapado; Busch indica para el grabado de polisilicio y el decapado/calcinación la serie COBRA Semicon.

¿Qué bomba previa para ALD y CVD?

Para ALD, Pfeiffer Vacuum indica 10⁻¹–5 mbar con 1800–4500 m³/h, y para ALD, PECVD y LPCVD/difusión la serie A4 y COBRA DS; según Pfeiffer, los subproductos son corrosivos o pulverulentos. Busch indica para ALD, PECVD, PVD y LPCVD/difusión la serie COBRA Semicon, y para capas CVD/PECVD como las capas antirreflectantes COBRA DS.

¿Qué bomba de vacío para cámaras de esclusa (load-lock)?

Pfeiffer Vacuum indica A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente para 10⁻¹–10⁻² hPa, además de A4, ACP, TORRI y COBRA DS; las esclusas permanecen bajo vacío sin partículas y se evacúan con rapidez. Busch indica COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY, para que las obleas entren por la esclusa sin golpes de presión.

¿Qué bomba de vacío para pick & place y montadoras de chips?

Becker indica para el montaje de placas de circuito impreso con montadoras de chips y para pick & place en general las series KVT, VT y SV y un vacío preciso, con pocas pulsaciones y vibraciones; un caso práctico menciona 20.000 horas de funcionamiento sin mantenimiento. Para pick & place con robots, Becker indica las bombas de vacío de garras BCV (BCV 100: 50 mbar, BCV 300: 150 mbar), y para elevadores de tubo y de columna las soplantes de canal lateral SV con 195–1250 m³/h. Elmo Rietschle menciona pick & place para la electrónica con las familias G, L y V.

¿En seco o lubricada con aceite en la fabricación de semiconductores?

Para la fabricación de obleas, Pfeiffer Vacuum indica exclusivamente bombas previas en seco, porque la fabricación debe mantenerse libre de partículas y contaminación y los subproductos son corrosivos o pulverulentos; Busch indica para ello la serie COBRA Semicon. Fuera de las cámaras de proceso, por ejemplo en pick & place y manipulación, Becker indica para la industria electrónica bombas de paletas rotativas de funcionamiento en seco y lubricadas con aceite, bombas de tornillo, de garras y de canal lateral. Para el vacío centralizado, Atlas Copco indica, además de GHS VSD+ y LRP VSD+, también DZS VSD+ en clase 0.

¿Qué bomba de vacío para la litografía EUV?

Pfeiffer Vacuum indica para la litografía EUV un vacío sin partículas y un alto flujo de H₂ en la fuente de luz, para estructuras por debajo de 10 nm; como bombas previas se indican ACP y HiLobe, y para la litografía en general A 100/200 L, A4, ACP y TORRI.

¿Qué bomba de vacío para microscopios electrónicos de barrido y CD-SEM?

Pfeiffer Vacuum indica para CD-SEM en la metrología de obleas 10⁻⁵–10⁻⁷ hPa y bombas previas de bajas vibraciones, ACP y HiScroll. Según Pfeiffer, la microscopía electrónica necesita un haz de electrones sin dispersión y bombas de bajas vibraciones; se indican bombas de membrana, Roots multietapa y scroll, y como serie HiScroll.

¿Qué bomba de vacío para la fabricación de pantallas (TFT, LCD, OLED)?

Pfeiffer Vacuum indica para la fabricación de pantallas planas (TFT, LCD, AMOLED) la serie A4 y COBRA DS. Busch indica para pantallas COBRA Industry y la serie COBRA Semicon, y alto vacío para la producción de pantallas planas. Edwards indica para procesos de pantallas – CVD, grabado, PVD, implantación, encapsulado – vacío con depuración de gases de escape y las series GXS y GV.

¿Cómo se localizan las fugas en las instalaciones de vacío de la fabricación de semiconductores?

Pfeiffer Vacuum describe la detección de fugas con helio: el helio se rocía desde el exterior y un detector de fugas conectado al sistema localiza las fugas con aproximadamente 10⁻⁷–10⁻⁹ mbar·l/s; se indican los detectores de fugas ASM 340/310/390/392 y como bombas previas ACP, DuoVane y HiScroll. Además, el análisis de gases residuales muestra contaminación, fugas y desgasificación en el vacío.

¿Una bomba en cada máquina o un sistema central de vacío?

Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.

¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?

Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.

¿Qué bomba se adapta a su proceso?

Indíquenos la aplicación, el medio y el número de máquinas: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.

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