Aplicación
Bombas de vacío para cámaras load lock y cámaras de esclusa
Una cámara load lock introduce obleas, vidrio u otros sustratos en una instalación de vacío sin que se ventile la cámara de proceso situada detrás: la pequeña esclusa se ventila, se carga y se vuelve a evacuar en cada ciclo. El vacío debe alcanzarse con rapidez: Pfeiffer Vacuum indica de 10⁻¹ a 10⁻² hPa y esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío; Busch, la introducción de obleas sin golpe de presión. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 122 modelos de 5 fabricantes.
Comparar 122 modelosCómo funciona
- 122Modelos
- 9Series
- 5Fabricantes
- 10⁻¹–10⁻² hPaPresión en la esclusa (Pfeiffer Vacuum)
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Cámaras de esclusa (load lock): lo esencial
- Presión en la esclusaPfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa y esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío.
- Velocidad de bombeoPfeiffer Vacuum indica para esclusas y transferencia las A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente.
- Ciclos cortosEdwards indica para cámaras de esclusa la evacuación cíclica rápida con EXS; Leybold, ciclos cortos con RUVAC WA/WAU y WS/WSU; Pfeiffer Vacuum, la evacuación rápida.
- Sin golpe de presiónBusch indica para la fabricación de células solares la introducción de obleas sin golpe de presión con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Cámaras de esclusa (load lock)
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- CargaLa puerta exterior se abre a presión atmosférica, se introduce la oblea o el sustrato y la puerta se cierra; la válvula de transferencia hacia la cámara de proceso permanece cerrada.
- EvacuaciónEl grupo de bombeo evacúa la esclusa hasta la presión de transferencia: según Pfeiffer Vacuum, de 10⁻¹ a 10⁻² hPa, lo más rápido posible (Edwards: evacuación cíclica rápida; Leybold: ciclos cortos) y, según Busch, sin golpe de presión.
- TransferenciaSe abre la válvula de transferencia, el sustrato pasa a la cámara de proceso y la válvula se cierra; la esclusa se ventila y comienza el siguiente ciclo.
Vacío y dimensionado
Cámaras de esclusa (load lock): cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa.
Qué velocidad de bombeo
Pfeiffer Vacuum indica la A 100 L con 100 m³/h y la A 200 L con 200 m³/h. En cuanto a la rapidez, Edwards indica la evacuación cíclica rápida con EXS; Leybold, ciclos cortos con RUVAC; Pfeiffer Vacuum, una evacuación rápida. En su página sobre semiconductores, Busch clasifica load lock y transferencia entre los procesos sencillos.
Qué determina el dimensionamiento
El tiempo de ciclo y el volumen de la esclusa determinan la velocidad de bombeo; para ciclos cortos, Leybold indica bombas Roots RUVAC WA/WAU y WS/WSU delante de la SCREWLINE. Busch indica la introducción sin golpe de presión; Pfeiffer Vacuum, esclusas sin partículas, ya que las partículas acabarían sobre la oblea.
Tecnología
Cámaras de esclusa (load lock): las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de tornillo
77 modelos · 70–7.385 m³/h
Bombas de vacío Roots
45 modelos · 100–12.000 m³/h
Resumen de productos
Cámaras de esclusa (load lock): los 122 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Industrias
Cámaras de esclusa (load lock): dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Semiconductores, electrónica y pantallas
En su página sobre semiconductores, Busch clasifica load lock y transferencia entre los procesos sencillos e indica COBRA; Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia las A 100 L y A 200 L (100 y 200 m³/h respectivamente, de 10⁻¹ a 10⁻² hPa), COBRA DS y, en la página de la familia TORRI, el load lock.
Página de la industria: Semiconductores, electrónica y pantallas →
Solar y fotovoltaica
Busch indica para la fabricación de células solares la introducción de obleas sin golpe de presión con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY.
Preguntas frecuentes
Cámaras de esclusa (load lock): preguntas frecuentes
¿Qué es una cámara load lock?
Una cámara load lock es la esclusa de una instalación de vacío: una pequeña cámara entre la atmósfera y la cámara de proceso que en cada ciclo se ventila, se carga y se vuelve a evacuar. Así, la cámara de proceso permanece siempre bajo vacío. Pfeiffer Vacuum indica para ello de 10⁻¹ a 10⁻² hPa; según Busch, de este modo las obleas se introducen sin golpe de presión.
¿Cómo funciona una cámara de esclusa en una instalación de vacío?
Se abre la puerta exterior, se introduce el sustrato, se cierra la puerta y el grupo de bombeo evacúa la esclusa hasta la presión de transferencia; después se abre la válvula de transferencia hacia la cámara de proceso, se entrega el sustrato y la esclusa se ventila para el siguiente ciclo. Nunca están abiertas las dos válvulas a la vez. Edwards indica para ello la evacuación cíclica rápida; Leybold, ciclos cortos.
¿Cuánto vacío necesita una cámara load lock?
Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa. Edwards, Leybold y Pfeiffer Vacuum destacan además la rapidez con la que debe alcanzarse la presión.
¿Qué bomba de vacío para cámaras load lock?
Pfeiffer Vacuum indica las A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente, así como COBRA DS; Busch indica COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY y, en su página de producto, COBRA Industry y COBRA Semicon; Edwards indica EXS para la evacuación cíclica rápida; Leybold, SCREWLINE con RUVAC WA/WAU y WS/WSU; Atlas Copco, DWS VSD+.
¿Por qué una bomba Roots para cámaras de esclusa?
Leybold indica para cámaras de esclusa las bombas Roots RUVAC WA/WAU y WS/WSU junto con la SCREWLINE y lo justifica con los ciclos cortos; Busch indica también bombas Roots: PANDA WV y PUMA WY. Una bomba Roots delante de la bomba previa aumenta claramente la velocidad de bombeo a bajas presiones y acorta así el tiempo hasta alcanzar la presión de transferencia.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para cámaras de esclusa?
Las series indicadas funcionan en seco: Edwards EXS y Atlas Copco DWS VSD+ son bombas de vacío de tornillo, al igual que Leybold SCREWLINE; Busch COBRA es una bomba de tornillo y PANDA/PUMA son bombas Roots; Pfeiffer Vacuum A 100/200 L son bombas Roots multietapa, en consonancia con las esclusas sin partículas que indica Pfeiffer Vacuum.
¿Con qué rapidez debe evacuarse una esclusa?
Edwards habla de evacuación cíclica rápida; Leybold, de ciclos cortos; y Pfeiffer Vacuum, de evacuar rápidamente a entre 10⁻¹ y 10⁻² hPa. El tiempo de ciclo se deriva de la cadencia de la instalación; de él y del volumen de la esclusa resulta la velocidad de bombeo necesaria.
¿Por qué no debe producirse ningún golpe de presión al introducir el sustrato en la esclusa?
Busch indica para cámaras load lock en la fabricación de células solares la introducción de las obleas sin golpe de presión; Pfeiffer Vacuum, esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío. Un aumento brusco de la presión al ventilar o una evacuación inicial demasiado rápida levanta partículas que pueden depositarse sobre la oblea.
¿Qué bomba de vacío para cámaras load lock en la fabricación de células solares?
Busch indica para la fabricación de células solares COBRA NX y DS, PANDA WV y PUMA WY, con las que las obleas se introducen sin golpe de presión. Para cámaras de esclusa en general, Atlas Copco indica DWS VSD+; Edwards, EXS; Leybold, SCREWLINE y RUVAC.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
