Aplicación

Bombas de vacío para cámaras load lock y cámaras de esclusa

Una cámara load lock introduce obleas, vidrio u otros sustratos en una instalación de vacío sin que se ventile la cámara de proceso situada detrás: la pequeña esclusa se ventila, se carga y se vuelve a evacuar en cada ciclo. El vacío debe alcanzarse con rapidez: Pfeiffer Vacuum indica de 10⁻¹ a 10⁻² hPa y esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío; Busch, la introducción de obleas sin golpe de presión. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 122 modelos de 5 fabricantes.

Comparar 122 modelosCómo funciona

  • 122Modelos
  • 9Series
  • 5Fabricantes
  • 10⁻¹–10⁻² hPaPresión en la esclusa (Pfeiffer Vacuum)
ABCDEFG

Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.

En resumen

Cámaras de esclusa (load lock): lo esencial

  • Presión en la esclusaPfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa y esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío.
  • Velocidad de bombeoPfeiffer Vacuum indica para esclusas y transferencia las A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente.
  • Ciclos cortosEdwards indica para cámaras de esclusa la evacuación cíclica rápida con EXS; Leybold, ciclos cortos con RUVAC WA/WAU y WS/WSU; Pfeiffer Vacuum, la evacuación rápida.
  • Sin golpe de presiónBusch indica para la fabricación de células solares la introducción de obleas sin golpe de presión con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY.
ABCDEFG
  • Aire y gas (vacío)
  • Aire de escape

Principio de funcionamiento

Cómo funciona: Cámaras de esclusa (load lock)

El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.

  1. CargaLa puerta exterior se abre a presión atmosférica, se introduce la oblea o el sustrato y la puerta se cierra; la válvula de transferencia hacia la cámara de proceso permanece cerrada.
  2. EvacuaciónEl grupo de bombeo evacúa la esclusa hasta la presión de transferencia: según Pfeiffer Vacuum, de 10⁻¹ a 10⁻² hPa, lo más rápido posible (Edwards: evacuación cíclica rápida; Leybold: ciclos cortos) y, según Busch, sin golpe de presión.
  3. TransferenciaSe abre la válvula de transferencia, el sustrato pasa a la cámara de proceso y la válvula se cierra; la esclusa se ventila y comienza el siguiente ciclo.

Vacío y dimensionado

Cámaras de esclusa (load lock): cuánto vacío se necesita

Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.

Qué vacío

Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa.

Qué velocidad de bombeo

Pfeiffer Vacuum indica la A 100 L con 100 m³/h y la A 200 L con 200 m³/h. En cuanto a la rapidez, Edwards indica la evacuación cíclica rápida con EXS; Leybold, ciclos cortos con RUVAC; Pfeiffer Vacuum, una evacuación rápida. En su página sobre semiconductores, Busch clasifica load lock y transferencia entre los procesos sencillos.

Qué determina el dimensionamiento

El tiempo de ciclo y el volumen de la esclusa determinan la velocidad de bombeo; para ciclos cortos, Leybold indica bombas Roots RUVAC WA/WAU y WS/WSU delante de la SCREWLINE. Busch indica la introducción sin golpe de presión; Pfeiffer Vacuum, esclusas sin partículas, ya que las partículas acabarían sobre la oblea.

Tecnología

Cámaras de esclusa (load lock): las bombas de vacío que indican los fabricantes

Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.

Resumen de productos

Cámaras de esclusa (load lock): los 122 modelos comparados

Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.

Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos

DWS 160 VSD+Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1
DWS 250 VSD+Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 1
DWS 450 VSD+Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3
DWS 750 VSD+Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3
DWS 160/1750 VSD+Velocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 1
DWS 250/2600 VSD+Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1

Busch Serie COBRA Industry 36 modelos

COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0950 AVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0950 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1500 B VRVelocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 2000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2500 CVelocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2000 C VRVelocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2760 AVelocidad de bombeo 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2780 AVelocidad de bombeo 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4560 AVelocidad de bombeo 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4580 AVelocidad de bombeo 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6260 AVelocidad de bombeo 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6280 AVelocidad de bombeo 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes

Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos

COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes 3
COBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
COBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVariantes 2
COBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVariantes 2
COBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 1800 A XVelocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3010 GVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3161 CVelocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 3181 CVelocidad de bombeo 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 5161 BVelocidad de bombeo 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8161 FVelocidad de bombeo 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
COBRA DS 9161 BVelocidad de bombeo 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8162 FVelocidad de bombeo 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVariantes
COBRA DS 8163 BVelocidad de bombeo 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVariantes

Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos

PANDA WV 0250 CVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes
PANDA WZ 0250 BVelocidad de bombeo 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 4
PUMA WY 0500 CVelocidad de bombeo 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 0500 D2Velocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes
PANDA WZ 0500 BVelocidad de bombeo 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 0700 DVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 0700 CVelocidad de bombeo 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 1000 D2Velocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 5
PANDA WZ 1200 AVelocidad de bombeo 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 1250 CVelocidad de bombeo 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 1250 D2Velocidad de bombeo 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 1800 AVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVariantes 5
PUMA WY 2000 CVelocidad de bombeo 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 2000 D2Velocidad de bombeo 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVariantes 5
PANDA WZ 2400 AVelocidad de bombeo 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 2200 AVelocidad de bombeo 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 3600 AVelocidad de bombeo 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
PANDA WV 4500 BVelocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes 4
PUMA WP 4500 B2Velocidad de bombeo 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 5400 AVelocidad de bombeo 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
PUMA WP 8100 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
PUMA WY 8000 AVelocidad de bombeo 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzPresión final Potencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
PUMA WG 9600Velocidad de bombeo 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzPresión final 130 mbarPotencia nominal del motor Variantes

Edwards Serie EXS 11 modelos

Edwards EXS160Velocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS250Velocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS450Velocidad de bombeo 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 3
Edwards EXS750Velocidad de bombeo 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 3
Edwards EXS160/1750Velocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS250/2600Velocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS450/2600Velocidad de bombeo 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS750/2600Velocidad de bombeo 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1
Edwards EXS450/4200Velocidad de bombeo 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2
Edwards EXS750/4200Velocidad de bombeo 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1
Edwards EXS750/8000Velocidad de bombeo 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVariantes 1

Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos

RUVAC WA 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WA 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WAU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WA 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WAU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVariantes 7

Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos

RUVAC WS 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 251Velocidad de bombeo 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzPresión final 8 × 10-4 mbarPotencia nominal del motor 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVariantes 4
RUVAC WS 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 2
RUVAC WSU 501Velocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 5
RUVAC WS 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 3
RUVAC WSU 1001Velocidad de bombeo 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 6
RUVAC WS 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 11
RUVAC WSU 2001Velocidad de bombeo 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVariantes 15

Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos

Bomba de vacío de tornillo SCREWLINE SP 630SCREWLINE SP 630Velocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 6
Bomba de vacío de tornillo SCREWLINE SP 630SCREWLINE SP 630 FVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 11

Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos

A 100 LVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 0,012 mbarPotencia nominal del motor Variantes 8
A 100 L ESVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 HzPresión final 3 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 3
A 200 LVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 HzPresión final 0,013 mbarPotencia nominal del motor Variantes 5

Comparación de modelos

Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».

Sectores

Cámaras de esclusa (load lock): dónde lo indican los fabricantes

Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.

Semiconductores, electrónica y pantallas

En su página sobre semiconductores, Busch clasifica load lock y transferencia entre los procesos sencillos e indica COBRA; Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia las A 100 L y A 200 L (100 y 200 m³/h respectivamente, de 10⁻¹ a 10⁻² hPa), COBRA DS y, en la página de la familia TORRI, el load lock.

Página del sector: Semiconductores, electrónica y pantallas →

Solar y fotovoltaica

Busch indica para la fabricación de células solares la introducción de obleas sin golpe de presión con COBRA NX/DS, PANDA WV y PUMA WY.

Página del sector: Solar y fotovoltaica →

Preguntas frecuentes

Cámaras de esclusa (load lock): preguntas frecuentes

¿Qué es una cámara load lock?

Una cámara load lock es la esclusa de una instalación de vacío: una pequeña cámara entre la atmósfera y la cámara de proceso que en cada ciclo se ventila, se carga y se vuelve a evacuar. Así, la cámara de proceso permanece siempre bajo vacío. Pfeiffer Vacuum indica para ello de 10⁻¹ a 10⁻² hPa; según Busch, de este modo las obleas se introducen sin golpe de presión.

¿Cómo funciona una cámara de esclusa en una instalación de vacío?

Se abre la puerta exterior, se introduce el sustrato, se cierra la puerta y el grupo de bombeo evacúa la esclusa hasta la presión de transferencia; después se abre la válvula de transferencia hacia la cámara de proceso, se entrega el sustrato y la esclusa se ventila para el siguiente ciclo. Nunca están abiertas las dos válvulas a la vez. Edwards indica para ello la evacuación cíclica rápida; Leybold, ciclos cortos.

¿Cuánto vacío necesita una cámara load lock?

Pfeiffer Vacuum indica para cámaras load lock y de transferencia de 10⁻¹ a 10⁻² hPa. Edwards, Leybold y Pfeiffer Vacuum destacan además la rapidez con la que debe alcanzarse la presión.

¿Qué bomba de vacío para cámaras load lock?

Pfeiffer Vacuum indica las A 100 L y A 200 L con 100 y 200 m³/h respectivamente, así como COBRA DS; Busch indica COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY y, en su página de producto, COBRA Industry y COBRA Semicon; Edwards indica EXS para la evacuación cíclica rápida; Leybold, SCREWLINE con RUVAC WA/WAU y WS/WSU; Atlas Copco, DWS VSD+.

¿Por qué una bomba Roots para cámaras de esclusa?

Leybold indica para cámaras de esclusa las bombas Roots RUVAC WA/WAU y WS/WSU junto con la SCREWLINE y lo justifica con los ciclos cortos; Busch indica también bombas Roots: PANDA WV y PUMA WY. Una bomba Roots delante de la bomba previa aumenta claramente la velocidad de bombeo a bajas presiones y acorta así el tiempo hasta alcanzar la presión de transferencia.

¿Sin aceite o lubricada con aceite para cámaras de esclusa?

Las series indicadas funcionan en seco: Edwards EXS y Atlas Copco DWS VSD+ son bombas de vacío de tornillo, al igual que Leybold SCREWLINE; Busch COBRA es una bomba de tornillo y PANDA/PUMA son bombas Roots; Pfeiffer Vacuum A 100/200 L son bombas Roots multietapa, en consonancia con las esclusas sin partículas que indica Pfeiffer Vacuum.

¿Con qué rapidez debe evacuarse una esclusa?

Edwards habla de evacuación cíclica rápida; Leybold, de ciclos cortos; y Pfeiffer Vacuum, de evacuar rápidamente a entre 10⁻¹ y 10⁻² hPa. El tiempo de ciclo se deriva de la cadencia de la instalación; de él y del volumen de la esclusa resulta la velocidad de bombeo necesaria.

¿Por qué no debe producirse ningún golpe de presión al introducir el sustrato en la esclusa?

Busch indica para cámaras load lock en la fabricación de células solares la introducción de las obleas sin golpe de presión; Pfeiffer Vacuum, esclusas que permanecen sin partículas bajo vacío. Un aumento brusco de la presión al ventilar o una evacuación inicial demasiado rápida levanta partículas que pueden depositarse sobre la oblea.

¿Qué bomba de vacío para cámaras load lock en la fabricación de células solares?

Busch indica para la fabricación de células solares COBRA NX y DS, PANDA WV y PUMA WY, con las que las obleas se introducen sin golpe de presión. Para cámaras de esclusa en general, Atlas Copco indica DWS VSD+; Edwards, EXS; Leybold, SCREWLINE y RUVAC.

¿Bomba individual o sistema central de vacío?

Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.

¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?

Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.

¿Qué bomba se adapta a su proceso?

Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.

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