Industria
Bombas de vacío para energía solar y fotovoltaica
Desde el crecimiento de cristales, pasando por las obleas, el recubrimiento y las esclusas, hasta el laminado de módulos: Atlas Copco indica el vacío desde la fabricación de obleas hasta el encapsulado de módulos; Leybold, en casi todos los pasos de fabricación (obleas, capa fina, heterounión). Esta página forma parte del sector Energía. A continuación puede ver qué series indican los propios fabricantes para estas tareas: 354 modelos de 5 fabricantes.
Comparar 354 modelosVer las aplicaciones
- 354Modelos
- 26Series
- 5Fabricantes
- 4Aplicaciones
En resumen
Solar y fotovoltaica: bombas de vacío – lo esencial
- LaminadoAtlas Copco indica para el laminador, que aspira el aire del módulo, unos 200 mbar(a) y las series DWS VSD+ y DZS 100–400 VSD+ A.
- RecubrimientoPfeiffer Vacuum indica para capas PVD de 10⁻³ a 10⁻⁶ hPa y para el silicio cristalino de 10⁻³ a 10⁻⁵ hPa: alto vacío libre de carbono para PVD y PECVD.
- Velocidad de bombeoLeybold indica para la industria solar RUVAC con 250–7000 m³/h, además de SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE y PowerBoost.
- Seca o lubricada con aceiteAtlas Copco indica para el crecimiento de cristales y la colada bombas de vacío secas, resistentes al polvo y a la corrosión; Pfeiffer Vacuum indica para la producción de células solares bombas secas y lubricadas con aceite.
Aplicaciones
Solar y fotovoltaica: para qué se usan las bombas de vacío
Para cada aplicación: qué aporta el vacío y qué series indican los fabricantes para ella. Los datos proceden de las páginas de los propios fabricantes.
Crecimiento de cristales y lingotes
Al estirar y hacer crecer cristales de Si y SiC, el vacío mantiene la cámara de proceso libre de impurezas (Busch) y crea un entorno pobre en gases para un silicio puro (Atlas Copco). Atlas Copco indica para ello bombas secas, resistentes al polvo y a la corrosión, y DWS VSD+; Busch, COBRA y PANDA; Leybold, DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY y TRIVAC B; Pfeiffer Vacuum, COBRA DS y COMBI entre 10⁻³ y 10⁻⁵ hPa. Edwards indica el crecimiento de bloques de Si con GXS, EDS y EXS.
- Atlas CopcoDWS VSD+
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, COBRA Semicon
- EdwardsGXS, EDS, EXS menciona el crecimiento de bloques de Si en la información sobre el sector
- LeyboldTRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE
- Pfeiffer VacuumCOBRA Semicon menciona además COMBI
Recubrimiento: PVD, PECVD y capa fina
Las capas antirreflectantes se producen mediante CVD/PECVD (Busch, COBRA DS); según Leybold, las capas TCO mediante PVD, las capas de CIGS y CdTe y el CVD en heterounión se realizan en instalaciones en línea con ciclos cortos; se mencionan POWERBOOST, DRYVAC y RUVAC. Atlas Copco indica la pulverización catódica, el CVD y el PVD, el encapsulado contra el oxígeno y la humedad y, para el recubrimiento de capa fina y el recubrimiento duro, DWS y DWS VSD+. Pfeiffer Vacuum indica alto vacío libre de carbono para PVD y PECVD con A4 y COBRA DS; Edwards, la fabricación de células solares de c-Si, CdTe y CIGS.
- Atlas CopcoDWS, DWS VSD+
- BuschCOBRA Semicon, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- EdwardsGXS, EDS, EXS menciona la capa fina (c-Si, CdTe, CIGS) en la información sobre el sector
- LeyboldDRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU
- Pfeiffer VacuumA4, COBRA Semicon
Load lock y esclusas
En la cámara de esclusa (load lock), según Busch, las obleas se introducen sin golpe de presión; Busch indica COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY. Edwards indica las esclusas en la fabricación de células solares con GXS, EDS y EXS. Leybold describe para el recubrimiento de células solares instalaciones en línea con ciclos cortos.
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, COBRA Semicon
- EdwardsGXS, EDS, EXS menciona las esclusas en la información sobre el sector
Laminado y encapsulado de módulos
El laminador aspira el aire del módulo; Atlas Copco indica para ello unos 200 mbar(a) y DWS VSD+, así como DZS 100–400 VSD+ A. Leybold describe que el vacío desgasifica el polímero al pegar el módulo para que no se formen burbujas, e indica SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC y RUVAC WSU 2001. Busch indica para unir las capas en el módulo COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV y MINK MM; Atlas Copco menciona además el encapsulado contra el oxígeno y la humedad.
- Atlas CopcoDWS VSD+, DZS VSD+
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, MINK
- LeyboldSCREWLINE, DRYVAC, CLAWVAC, RUVAC WS/WSU
- Pfeiffer Vacuumenumera el laminado solo en los detectores de fugas
Fabricantes y series
Solar y fotovoltaica: 5 fabricantes, 26 series
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta industria. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Atlas Copco
55 modelos · 0,75–5.136 m³/h
Busch
174 modelos · 3–12.000 m³/h
Edwards
24 modelos · 160–5.760 m³/h
Leybold
89 modelos · 2,7–4.700 m³/h
Pfeiffer Vacuum
12 modelos · 95–1.650 m³/h
Resumen de productos
Solar y fotovoltaica: los 354 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Atlas Copco Serie DZS VSD+ 5 modelos
DZS 100 VSD+Velocidad de bombeo 105 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzPresión final 50 mbarPotencia nominal del motor 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes 3Atlas Copco Serie GHS VSD+ 21 modelos
GHS 350 VSD+Velocidad de bombeo 400 m³/h 50 Hz400 m³/h 60 HzPresión final 0,35 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVariantes 29Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie GXS 10 modelos
Leybold Serie CLAWVAC 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Atlas Copco Serie DWS 3 modelos
Atlas Copco Serie DWS VSD+ 6 modelos
Atlas Copco Serie DZS VSD+ 5 modelos
Atlas Copco Serie GHS VSD+ 21 modelos
Atlas Copco Serie GLS 2 modelos
Atlas Copco Serie GVD 13 modelos
Atlas Copco Serie ZRS 5 modelos
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Busch Serie MINK 32 modelos
Busch Serie PANDA/PUMA 26 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie EDS 3 modelos
Edwards Serie EXS 11 modelos
Edwards Serie GXS 10 modelos
Leybold Serie CLAWVAC 5 modelos
Leybold Serie DRYVAC 9 modelos
Leybold Serie DURADRY 3 modelos
Leybold Serie NOVADRY 4 modelos
Leybold Serie RUVAC WA/WAU 8 modelos
Leybold Serie RUVAC WH/WHU 7 modelos
Leybold Serie RUVAC WS/WSU 8 modelos
Leybold Serie SCREWLINE 2 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Selección
Solar y fotovoltaica: cómo elegir la bomba de vacío
Lo que los fabricantes destacan para el uso en esta industria.
Polvo y corrosión
Para el crecimiento de cristales y la colada, Atlas Copco indica bombas de vacío secas, resistentes al polvo y a la corrosión. Compruebe qué llega del proceso a la bomba antes de decidir el tipo.
Pureza de la capa
Pfeiffer Vacuum indica para PVD y PECVD alto vacío libre de carbono; Busch describe en el estirado de cristales una cámara de proceso libre de impurezas, y Atlas Copco, un entorno pobre en gases para un silicio puro. La bomba no debe contaminar el proceso por sí misma.
Tiempo de ciclo y esclusas
Busch indica la introducción en la esclusa sin golpe de presión; Leybold, instalaciones en línea con ciclos cortos. Para el recubrimiento de vidrio, Leybold indica 2–3 ciclos por minuto de 1000 a 1 mbar y un funcionamiento entre 10⁻² y 10⁻³ mbar: una referencia de lo que debe rendir una bomba de esclusa.
Laminado sin burbujas
Leybold describe que el vacío desgasifica el polímero al pegar el módulo para que no se formen burbujas; Atlas Copco indica para el laminador unos 200 mbar(a). Aquí basta un vacío grueso, pero la bomba debe alcanzarlo de forma fiable y repetible.
Preguntas frecuentes
Solar y fotovoltaica: preguntas frecuentes sobre bombas de vacío
¿Qué bomba de vacío para el laminado de módulos solares?
Atlas Copco indica para el laminado fotovoltaico DWS VSD+ y DZS 100–400 VSD+ A; Leybold, SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC y RUVAC WSU 2001; Busch, COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV y MINK MM. El laminador aspira el aire del módulo, y el vacío desgasifica el polímero al pegar para que no queden burbujas.
¿Cuánto vacío necesita un laminador solar?
Atlas Copco indica unos 200 mbar(a) para el laminador, que aspira el aire del módulo. Leybold describe la misma tarea como desgasificación del polímero al pegar el módulo.
¿Qué bomba de vacío para el recubrimiento PVD y PECVD de células solares?
Pfeiffer Vacuum indica alto vacío libre de carbono para capas PVD y PECVD con A4 y COBRA DS. Busch indica para la capa antirreflectante por CVD/PECVD COBRA DS y, para PVD, COBRA (NX, DS), PANDA WV y PUMA WY. Leybold indica para TCO por PVD, CIGS/CdTe y CVD en heterounión POWERBOOST, DRYVAC y RUVAC; Atlas Copco, para el recubrimiento de capa fina y el recubrimiento duro, DWS y DWS VSD+.
¿Qué presión se necesita en el recubrimiento PVD?
Pfeiffer Vacuum indica para capas PVD de 10⁻³ a 10⁻⁶ hPa. Leybold indica para recubrimientos ópticos por PVD un funcionamiento entre 10⁻² y 10⁻³ mbar y, para capas antidesgaste y decorativas, de 10⁻² a 10⁻⁶ mbar; Atlas Copco habla de alto vacío para el recubrimiento al vacío en general.
¿Qué bomba de vacío para el estirado de cristales de silicio?
Atlas Copco indica para el crecimiento de cristales y la colada bombas de vacío secas, resistentes al polvo y a la corrosión y, para el estirado de cristales de silicio, DWS VSD+. Busch indica COBRA y PANDA; Leybold, DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY y TRIVAC B para cristales de Si y SiC. Pfeiffer Vacuum indica COBRA DS y COMBI y, para el silicio cristalino, de 10⁻³ a 10⁻⁵ hPa.
¿Bomba de vacío seca o lubricada con aceite en la fabricación solar?
Pfeiffer Vacuum indica ambas para la producción de células solares: bombas secas y lubricadas con aceite. Atlas Copco indica expresamente para el crecimiento de cristales bombas secas, resistentes al polvo y a la corrosión. Leybold indica para la industria solar SCREWLINE SP 630, DRYVAC, VARODRY, CLAWVAC, SOGEVAC y TRIVAC PFPE, sin distinguir por tipo.
¿Qué bomba de vacío para cámaras de esclusa (load lock)?
Busch describe que las obleas se introducen en la cámara de esclusa sin golpe de presión, e indica COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV y PUMA WY. Edwards indica las esclusas en la fabricación de células solares con GXS, EDS y EXS.
¿Qué bombas indica Leybold para la industria solar?
PowerBoost, SCREWLINE SP 630, DRYVAC, RUVAC con 250–7000 m³/h, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE y PHOENIX, para obleas, capa fina y heterounión. Para el laminado solar, Leybold indica SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC y RUVAC WSU 2001, y para el recubrimiento de células solares, POWERBOOST, DRYVAC y RUVAC.
¿Qué bomba de vacío para módulos de capa fina (CdTe, CIGS)?
Edwards indica la fabricación de células solares de c-Si, CdTe y CIGS, desde el crecimiento de bloques de Si hasta la capa fina, con GXS, EDS y EXS. Leybold indica capas de CIGS y CdTe en instalaciones en línea con ciclos cortos y, para ello, POWERBOOST, DRYVAC y RUVAC; Atlas Copco indica DWS para el recubrimiento de capa fina.
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