COBRA DS 0080 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA DS 0080 G es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 70 m³/h (50 Hz) o 85 m³/h (60 Hz) y una presión final de 0,03 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz 85 m³/h 60 Hz
Presión final 0,03 mbar
Potencia nominal del motor 4 kW 50 Hz 4,4 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361700750
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800250

Busch COBRA DS 0080 G – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 0080 G es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 70 m³/h (50 Hz) o 85 m³/h (60 Hz) y la presión final, de 0,03 mbar. Potencia nominal del motor 4 kW (50 Hz) o 4,4 kW (60 Hz).

Características

Potente: diseño de tornillo, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua, alto caudal de hidrógeno
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente

Aplicaciones típicas

Busch indica: Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros).

Versiones de la Busch COBRA DS 0080 G

Las 2 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	70
Velocidad de bombeo 60Hz	85
Presión final	0,03
Potencia nominal del motor 50Hz	4
Potencia nominal del motor 60Hz	4,4
Peso	276
Longitud	86,5
Anchura	38,5
Altura	66,7
Brida de conexión de entrada	DN 40
Brida de conexión de salida	DN 40
Nivel de ruido	62 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	70 m³/h (50 Hz) / 85 m³/h (60 Hz)
Presión final	0,03 mbar
Potencia nominal del motor	4,0 kW (50 Hz) / 4,4 kW (60 Hz)
Velocidad de giro nominal	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Consumo de potencia a presión final	2,6 kW (50 Hz) / 3,2 kW (60 Hz)
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 62 dB(A)
Consumo de agua	4,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 75 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	865 × 385 × 667 mm
Peso (aprox.)	276 kg
Entrada de gas	DN 40
Salida de gas	DN 40