COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbar
COBRA BC 0101 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido
Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Velocidad de bombeo nominal von 90 m³/h und einem Presión final von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Velocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz 90 m³/h 60 Hz
- Presión final 0,01 mbar
- Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz 1,5 kW 60 Hz
| Variante | Número de pieza |
|---|---|
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido (seleccionada) | 1361800401 |
Busch COBRA BC 0101 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 90 m³/h, der Presión final 0,01 mbar. Potencia nominal del motor 1,5 kW.Características
- Leistungsstark: Schraubendesign in Glockenbauweise mit patentierten selbstausgleichenden Schrauben; für Schleusen- und Transferkammern, Metrologie, Lithografie, PVD und schnelles thermisches Ausheilen (RTA)
- Effizient: geregelter Antrieb, niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, hohe Verfügbarkeit, direkte Refrigeración por agua
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor, integriertes Bedienfeld
Aplicaciones típicas
Busch nennt: Halbleiter (Strippen/Veraschung, Poly-Silizium-Ätzen, Ionenimplantation u. a.).Versiones der Busch COBRA BC 0101 G
Die 1 Versiones unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipamiento; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 90 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 90 |
| Presión final | 0,01 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 1,5 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 1,5 |
| Peso | 115 |
| Longitud | 52 |
| Anchura | 30 |
| Altura | 34 |
| Brida de conexión de entrada | DN 50 KF |
| Brida de conexión de salida | DN 40 KF |
| Nivel de ruido | 58 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 90 m³/h |
| Presión final | 0,01 mbar |
| Potencia nominal del motor | 1,5 kW |
| Velocidad nominal | 3000 min⁻¹ |
| Consumo de potencia a presión final | 0,7 kW |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | 58 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 1,0 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 520 × 300 × 340 mm |
| Peso (aprox.) | 115 kg |
| Entrada de gas | DN 50 KF |
| Salida de gas | DN 40 KF |
COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbarCOBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/hPresión final 0,01 mbarCOBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/hPresión final 0,03 mbarCOBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 0601 GVelocidad de bombeo 550 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/hPresión final 0,01 mbarCOBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar