COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbarCOBRA BC 0101 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición
La Busch COBRA BC 0101 G es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 90 m³/h y una presión final de 0,01 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.
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- Velocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz 90 m³/h 60 Hz
- Presión final 0,01 mbar
- Potencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz 1,5 kW 60 Hz
| Variante | Número de pieza |
|---|---|
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada) | 1361800401 |
Busch COBRA BC 0101 G – bomba de vacío de tornillo seca
La Busch COBRA BC 0101 G es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 90 m³/h y la presión final, de 0,01 mbar. Potencia nominal del motor 1,5 kW.Características
- Potente: diseño de tornillo en forma de campana con tornillos autoequilibrados patentados; para cámaras de esclusa y de transferencia, metrología, litografía, PVD y recocido térmico rápido (RTA)
- Eficiente: accionamiento regulado, bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, alta disponibilidad, refrigeración directa por agua
- Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente, panel de mando integrado
Aplicaciones típicas
Busch indica: Semiconductores (decapado/calcinación (stripping/ashing), grabado de polisilicio, implantación iónica, entre otros).Versiones de la Busch COBRA BC 0101 G
Las 1 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 90 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 90 |
| Presión final | 0,01 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 1,5 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 1,5 |
| Peso | 115 |
| Longitud | 52 |
| Anchura | 30 |
| Altura | 34 |
| Brida de conexión de entrada | DN 50 KF |
| Brida de conexión de salida | DN 40 KF |
| Nivel de ruido | 58 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 90 m³/h |
| Presión final | 0,01 mbar |
| Potencia nominal del motor | 1,5 kW |
| Velocidad de giro nominal | 3000 min⁻¹ |
| Consumo de potencia a presión final | 0,7 kW |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | 58 dB(A) |
| Consumo de agua | 1,0 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 520 × 300 × 340 mm |
| Peso (aprox.) | 115 kg |
| Entrada de gas | DN 50 KF |
| Salida de gas | DN 40 KF |














