Aplicación
Bombas previas para alto vacío y aceleradores
Los aceleradores, los anillos de almacenamiento, los tubos de haz, los láseres y las fuentes de iones trabajan en alto y ultra alto vacío, que generan bombas turbomoleculares o criobombas. Una bomba turbomolecular necesita una bomba previa que mantenga baja la presión en su salida; una criobomba, una bomba previa para la evacuación previa y la regeneración. Pfeiffer Vacuum describe la cadena de bombas en la que la bomba previa evacúa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa para que la bomba de alto vacío alcance presiones por debajo de 10⁻⁷ hPa. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 184 modelos de 4 fabricantes.
Comparar 184 modelosCómo funciona
- 184Modelos
- 19Series
- 4Fabricantes
- aprox. 10⁻³ hPaVacío previo en la cadena de bombas UHV (Pfeiffer Vacuum)
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Bomba previa para alto vacío: lo esencial
- Vacío previoPfeiffer Vacuum describe para la generación de ultra alto vacío una cadena de bombas en la que la bomba previa evacúa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa; se indican HiScroll, ACP y DuoVane.
- UHV por debajo de 10⁻⁹ mbarSegún Leybold, el ultra alto vacío por debajo de 10⁻⁹ mbar evita la contaminación de superficies y reduce las perturbaciones en los aceleradores; los anillos de almacenamiento necesitan ≤10⁻¹¹ mbar. Como bombas previas, Leybold indica SCROLLVAC plus, ECODRY plus y SOGEVAC BI/DI.
- Bomba previa para turboEdwards indica como bombas previas para bombas turbomoleculares y de alto vacío XDS, RV, E2M, nXRi, GV y E2S; la nXRi alcanza menos de 0,03 mbar.
- Resistente a la radiaciónPara aceleradores, Pfeiffer Vacuum indica un ultra alto vacío estable y resistente a la radiación para el haz de partículas; Leybold describe secciones de ciclotrón de la protonterapia que, a pesar del campo magnético y la radiación, necesitan un vacío de alrededor de 10⁻⁷ mbar.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Bomba previa para alto vacío
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- Evacuación previaLa bomba previa, si es necesario con una bomba Roots, reduce la presión de la cámara; Edwards indica la evacuación previa en los detectores de ondas gravitacionales, y Pfeiffer Vacuum, la bomba previa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa.
- Alto vacíoLa bomba turbomolecular o la criobomba toma el relevo y, según Pfeiffer Vacuum, alcanza presiones por debajo de 10⁻⁷ hPa; detrás de la bomba turbomolecular, la bomba previa mantiene el vacío previo.
- HorneadoPara el ultra alto vacío, Edwards indica el horneado (bake-out) de la instalación; en funcionamiento, la bomba previa tiene que mantener el vacío previo de forma permanente: Leybold indica anillos de almacenamiento con ≤10⁻¹¹ mbar.
Vacío y dimensionado
Bomba previa para alto vacío: cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Leybold: ultra alto vacío por debajo de 10⁻⁹ mbar, anillos de almacenamiento ≤10⁻¹¹ mbar, protonterapia alrededor de 10⁻⁷ mbar. Pfeiffer Vacuum: por debajo de 10⁻⁷ hPa para la investigación de altas energías, de plasmas y espacial, el análisis de superficies y la fotónica, de 10⁻⁶ a 10⁻⁹ hPa en la fuente de iones, la línea de haz y la estación final. Edwards indica XHV para las trampas de iones en la computación cuántica.
Qué bomba previa
Pfeiffer Vacuum: bomba previa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa; se indican HiScroll, ACP y DuoVane. Edwards: XDS, RV, E2M, nXRi, GV y E2S, la nXRi con menos de 0,03 mbar. Leybold: SCROLLVAC plus, ECODRY plus y SOGEVAC BI/DI, para sistemas de alto vacío también NEO D y TRIVAC B. Busch indica COBRA para líneas de haz, aceleradores de partículas, física de plasmas y fotónica.
Qué velocidad de bombeo
Pfeiffer Vacuum indica para la fuente de iones, la línea de haz y la estación final 1200–3000 l/s. La velocidad de bombeo de la bomba previa depende de la bomba de alto vacío y de la carga de gas.
Lo que señalan los fabricantes
La resistencia a la radiación (Pfeiffer Vacuum), el campo magnético y la radiación en el ciclotrón (Leybold), los gases agresivos en la implantación iónica (Pfeiffer Vacuum), los ciclos rápidos en la física de plasmas (Pfeiffer Vacuum) y el horneado (bake-out) para el ultra alto vacío (Edwards).
Tecnología
Bomba previa para alto vacío: las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de paletas rotativas lubricadas con aceite
80 modelos · 0,75–755 m³/h
Bombas de vacío de tornillo
58 modelos · 70–7.385 m³/h
Bombas de vacío Roots
33 modelos · 14–1.650 m³/h
Bombas de vacío scroll
11 modelos · 3–43 m³/h
Bombas de vacío de garras
2 modelos · 82–110 m³/h
Resumen de productos
Bomba previa para alto vacío: los 184 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie GV 2 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Edwards Serie RV 8 modelos
Edwards Serie XDS 2 modelos
Leybold Serie ECODRY 5 modelos
Leybold Serie NEO D 5 modelos
Leybold Serie SCROLLVAC 5 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie COBRA Semicon 22 modelos
Edwards Serie E2M 9 modelos
Edwards Serie E2S 3 modelos
Edwards Serie GV 2 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Edwards Serie RV 8 modelos
Edwards Serie XDS 2 modelos
Leybold Serie ECODRY 5 modelos
Leybold Serie NEO D 5 modelos
Leybold Serie SCROLLVAC 5 modelos
Leybold Serie SOGEVAC 23 modelos
Leybold Serie TRIVAC 20 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A4 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie A 100/200 L 3 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie DuoVane 12 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie TORRI 4 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Industrias
Bomba previa para alto vacío: dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Investigación, laboratorio y análisis
Los fabricantes indican aquí la bomba previa: Leybold para anillos de almacenamiento y ultra alto vacío; Edwards para la física de altas energías, detectores de ondas gravitacionales como Virgo (2×3 km) y láseres de alta potencia; Pfeiffer Vacuum para aceleradores y la investigación de plasmas y fotónica; Busch, con COBRA, para líneas de haz y aceleradores de partículas.
Página de la industria: Investigación, laboratorio y análisis →
Medicina y hospitales
Leybold describe secciones de ciclotrón de la protonterapia con un vacío de alrededor de 10⁻⁷ mbar a pesar del campo magnético y la radiación, e indica SCROLLVAC plus; Pfeiffer Vacuum indica para aceleradores médicos ACP, DuoVane y HiScroll.
Semiconductores, electrónica y pantallas
Pfeiffer Vacuum indica un alto vacío de 10⁻⁶ a 10⁻⁹ hPa para la fuente de iones, la línea de haz y la estación final de la implantación iónica con gases agresivos, y para ello A4 y ACP.
Página de la industria: Semiconductores, electrónica y pantallas →
Preguntas frecuentes
Bomba previa para alto vacío: preguntas frecuentes
¿Qué es una bomba previa y para qué se necesita?
Una bomba turbomolecular no puede bombear contra la presión atmosférica; la bomba previa mantiene baja la presión en su salida. Una criobomba necesita la bomba previa para la evacuación previa y para la regeneración. Pfeiffer Vacuum describe así la cadena de bombas: la bomba previa evacúa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa y la bomba de alto vacío alcanza entonces presiones por debajo de 10⁻⁷ hPa. Edwards indica para ello XDS, RV, E2M, nXRi, GV y E2S.
¿Qué bomba previa para una bomba turbomolecular?
Edwards indica como bombas previas para bombas turbomoleculares y de alto vacío XDS, RV, E2M, nXRi, GV y E2S, la nXRi con menos de 0,03 mbar. Pfeiffer Vacuum indica HiScroll, ACP y DuoVane; Leybold, SCROLLVAC plus, ECODRY plus, SOGEVAC BI/DI, NEO D y TRIVAC B. Busch indica COBRA para líneas de haz y aceleradores de partículas.
¿Cuánto vacío previo necesita una bomba turbomolecular?
Pfeiffer Vacuum indica para la generación de ultra alto vacío una bomba previa hasta aproximadamente 10⁻³ hPa. Edwards indica para la nXRi como bomba previa una presión final por debajo de 0,03 mbar. El valor exacto depende de la bomba de alto vacío y de la carga de gas.
¿Qué presión hay en un acelerador de partículas?
Leybold indica para los anillos de almacenamiento ≤10⁻¹¹ mbar y, en general, un ultra alto vacío por debajo de 10⁻⁹ mbar, que evita la contaminación de superficies y reduce las perturbaciones en los aceleradores. Pfeiffer Vacuum indica para aceleradores un ultra alto vacío estable y resistente a la radiación y, para la investigación de altas energías, presiones por debajo de 10⁻⁷ hPa; en la fuente de iones, la línea de haz y la estación final, de 10⁻⁶ a 10⁻⁹ hPa.
¿Sin aceite o lubricada con aceite como bomba previa en alto vacío?
Los fabricantes indican ambas. Leybold incluye las SCROLLVAC plus y ECODRY plus secas igual que las SOGEVAC BI/DI, TRIVAC B y NEO D lubricadas con aceite; Pfeiffer Vacuum, las HiScroll y ACP secas junto a la DuoVane lubricada con aceite; Edwards, las XDS, nXRi y GV secas junto a las RV, E2M y E2S lubricadas con aceite. Qué ejecución es adecuada depende de la instalación y de los requisitos de limpieza.
¿Por qué tiene que ser tan bajo el ultra alto vacío?
Según Leybold, el ultra alto vacío evita la contaminación de superficies y reduce las perturbaciones en los aceleradores; los anillos de almacenamiento necesitan presiones extremadamente bajas. Edwards indica el ultra alto vacío para un haz estable en la física de altas energías; Pfeiffer Vacuum, un entorno libre de partículas para la óptica en la fotónica.
¿Qué bomba de vacío para la protonterapia?
Leybold describe secciones de ciclotrón que, a pesar del campo magnético y la radiación, necesitan un vacío de alrededor de 10⁻⁷ mbar, e indica SCROLLVAC plus con TURBOVAC iR y criobombas. Pfeiffer Vacuum indica para aceleradores médicos ACP, DuoVane y HiScroll.
¿Qué bomba de vacío para la implantación iónica?
Pfeiffer Vacuum indica para la fuente de iones, la línea de haz y la estación final un alto vacío de 10⁻⁶ a 10⁻⁹ hPa con 1200–3000 l/s, además de gases agresivos, y como bombas A4 y ACP.
¿Qué hacer si la bomba previa tiene que trabajar en un campo magnético o bajo radiación?
Leybold describe precisamente eso para secciones de ciclotrón de la protonterapia e indica SCROLLVAC plus; Pfeiffer Vacuum indica para aceleradores un ultra alto vacío resistente a la radiación con ACP y HiScroll. La elección de la bomba y de su lugar de instalación forma parte entonces de la planificación de la instalación.
¿Qué bomba de vacío para la física de plasmas y la investigación en fotónica?
Pfeiffer Vacuum indica para la física de plasmas una regulación estable del vacío con ciclos rápidos con ACP y, para la investigación en fotónica, un entorno libre de partículas para la óptica con A 100/200 L, ACP, HiScroll y TORRI. Busch indica COBRA para la física de plasmas y la investigación en fotónica.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
