COBRA DS 3161 C Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA DS 3161 C es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 3200 m³/h y una presión final de 0,001 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

Solicitar presupuesto para este producto Leer más

Velocidad de bombeo 3.200 m³/h 50 Hz 3.200 m³/h 60 Hz
Presión final 1 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 30 kW 50 Hz 30 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800932

Busch COBRA DS 3161 C – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 3161 C es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 3200 m³/h y la presión final, de 0,001 mbar. Potencia nominal del motor 30 kW.

Características

Potente: diseño de tornillo con booster de vacío integrado, para deposición química en fase vapor (CVD), procesos térmicos rápidos (RTP) y deposición de capas atómicas (ALD)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración indirecta por agua, alto caudal de hidrógeno
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común

Aplicaciones típicas

Busch indica: Pantallas (cámaras de esclusa); Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, aplicaciones con alto caudal de gas, grabado de polisilicio, entre otros); Solar (producción de células).

Accesorios

Versión opcional para procesos con polvo disponible (solo para DS 3010 G y DS 3161 C)
Recubrimiento de tántalo opcional

Versiones de la Busch COBRA DS 3161 C

Las 1 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	3.200
Velocidad de bombeo 60Hz	3.200
Presión final	1 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	30
Potencia nominal del motor 60Hz	30
Peso	1.375
Longitud	131,6
Anchura	63,3
Altura	124,9
Brida de conexión de entrada	DN 160
Brida de conexión de salida	DN 63
Nivel de ruido	75 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	3200 m³/h
Presión final	0,001 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	15 kW
Potencia nominal del motor del booster de vacío	15 kW
Velocidad nominal de la bomba previa	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Velocidad nominal del booster de vacío	4500 min⁻¹ (50 Hz) / 5400 min⁻¹ (60 Hz)
Consumo de potencia a presión final	11,8 kW
Consumo de potencia en vacío	9,9 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 75 dB(A)
Consumo de agua	10 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 200 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1316 × 633 × 1249 mm
Peso (aprox.)	1375 kg
Entrada de gas	DN 160
Salida de gas	DN 63