COBRA DS 1200 A Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA DS 1200 A es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 1200 m³/h y una presión final de 0,003 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz 1.200 m³/h 60 Hz
Presión final 3 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 8 kW 50 Hz 8,4 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800415
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición	1361800822

Busch COBRA DS 1200 A – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 1200 A es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 1200 m³/h y la presión final, de 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 8 kW (50 Hz) o 8,4 kW (60 Hz).

Características

Potente: diseño de tornillo con booster de vacío integrado, para aplicaciones solares, de pantallas planas y de semiconductores, así como procesos exigentes con altas temperaturas del gas, como el grabado y la CVD; buena tolerancia al polvo, tornillo recubierto de tántalo
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, alto caudal de hidrógeno, bajo consumo de energía, regulación variable de la temperatura
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común, bajas vibraciones

Aplicaciones típicas

Busch indica: Pantallas (deposición física en fase vapor (PVD)); Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros); Solar (crecimiento de cristales).

Versiones de la Busch COBRA DS 1200 A

Las 2 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	1.200
Velocidad de bombeo 60Hz	1.200
Presión final	3 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	8
Potencia nominal del motor 60Hz	8,4
Peso	500
Longitud	107,3
Anchura	42,6
Altura	74
Brida de conexión de entrada	DN 160 ISO-K
Brida de conexión de salida	DN 40 ISO-KF
Nivel de ruido	62 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	1200 m³/h
Presión final	0,003 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	4,0 kW (50 Hz) / 4,4 kW (60 Hz)
Potencia nominal del motor del booster de vacío	4,0 kW
Velocidad nominal de la bomba previa	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Velocidad nominal del booster de vacío	5400 min⁻¹
Consumo de potencia a presión final	4,1 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 62 dB(A)
Consumo de agua	7,0–8,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 75 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1073 × 426 × 740 mm
Peso (aprox.)	500 kg
Entrada de gas	DN 160 ISO-K
Salida de gas	DN 40 ISO-KF