COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/hEnddruck 0,03 mbar
COBRA DS 1200 A Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Die Busch COBRA DS 1200 A ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 1200 m³/h und einem Enddruck von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz 1.200 m³/h 60 Hz
- Enddruck 3 × 10-3 mbar
- Motornennleistung 8 kW 50 Hz 8,4 kW 60 Hz
| Variante | Teilenummer |
|---|---|
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt) | 1361800415 |
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage | 1361800822 |
Busch COBRA DS 1200 A – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 1200 A ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 1200 m³/h, der Enddruck 0,003 mbar. Motornennleistung 8 kW (50 Hz) bzw. 8,4 kW (60 Hz).Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie raue Prozesse mit hohen Gastemperaturen wie Ätzen und CVD; gute Pulververträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturregelung
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen, geringe Schwingungen
Typische Anwendungen
Busch nennt: Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.); Solar (Kristallziehen).Ausführungen der Busch COBRA DS 1200 A
Die 2 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 1.200 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 1.200 |
| Enddruck | 3 × 10-3 |
| Motornennleistung 50Hz | 8 |
| Motornennleistung 60Hz | 8,4 |
| Gewicht | 500 |
| Länge | 107,3 |
| Breite | 42,6 |
| Höhe | 74 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 160 ISO-K |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 40 ISO-KF |
| Schallpegel | 62 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 1200 m³/h |
| Enddruck | 0,003 mbar |
| Motornennleistung Vorpumpe | 4,0 kW (50 Hz) / 4,4 kW (60 Hz) |
| Motornennleistung Vakuum-Booster | 4,0 kW |
| Nenndrehzahl Vorpumpe | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Nenndrehzahl Vakuum-Booster | 5400 min⁻¹ |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 4,1 kW |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 62 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 7,0–8,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 75 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 1073 × 426 × 740 mm |
| Gewicht (ca.) | 500 kg |
| Gaseinlass | DN 160 ISO-K |
| Gasauslass | DN 40 ISO-KF |
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/hEnddruck 0,03 mbarCOBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/hEnddruck 1 × 10-3 mbar