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Vakuumpumpen für die Batteriefertigung

In der Fertigung von Lithium-Ionen-Zellen brauchen mehrere Schritte Vakuum: Elektrodenpaste blasenfrei mischen, Elektroden trocknen, Elektrolyt füllen, Formationsgase absaugen, Zellen versiegeln und auf Dichtheit prüfen – bis zum Recycling. Leybold beschreibt, dass Vakuum einige Zellfertigungsschritte erst möglich macht und in anderen Reinheit, Qualität und Sicherheit verbessert. Die Seite gehört zur Branche Energie. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 641 Modelle von 5 Herstellern.

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Funktionsprinzip einer ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpe – die Technologie mit den meisten Modellen auf dieser Seite. Zur Technologieseite

Kurz gesagt

Vakuumpumpen für Batteriefertigung – das Wichtigste in Kürze

  • SaugvermögenBusch nennt für die Produktion von Lithium-Batterien R5 RA mit 20–840 m³/h und einem Enddruck von 0,1 hPa (0,5 hPa mit, 0,1 hPa ohne Gasballast), dazu COBRA NC/NX und MINK MM/MV.
  • ElektrodentrocknungLeybold nennt für die Vakuumtrocknung der Elektrodenwickel 12–30 Stunden je Charge; entfernt werden Feuchte und das Lösungsmittel NMP.
  • ElektrolytbefüllungLeybold beschreibt wiederholtes Evakuieren und Teilbefüllen für eine vollständige Benetzung bei minimal etwa 0,01 mbar und nennt dafür DRYVAC.
  • ExplosionsschutzEdwards nennt für Lithium-Ionen-Batterien GXS, EDS, EXS, nES und nXDS sowie die ATEX-Ausführung nES Ex – für Mischen ohne Blasen, Trocknen und Versiegeln.

Anwendungen

Wofür Batteriefertigung Vakuumpumpen braucht

Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.

Elektrodenpaste (Slurry) mischen

Anoden- und Kathodenpaste wird unter Vakuum gemischt und entgast, damit keine Luftblasen bleiben – so beschreiben es Atlas Copco und Leybold. Busch nennt für die Slurrymischung R5 RA und COBRA NC/NX, im Produktfinder auch MINK; Leybold nennt TRIVAC, SOGEVAC, VARODRY und CLAWVAC, Pfeiffer Vacuum HiScroll und HiLobe. Edwards nennt das Mischen ohne Blasen mit GXS, EDS, EXS, nES und nXDS.

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Elektroden trocknen

Beim Trocknen der Elektroden werden Lösungsmittel und Feuchte abgezogen, chargenweise oder kontinuierlich (Atlas Copco). Leybold nennt für die Vakuumtrocknung der Elektrodenwickel 12–30 Stunden je Charge – entfernt werden Feuchte und NMP – und die Serien VARODRY, LEYVAC, DRYVAC und RUVAC. Busch nennt für die schonende Slurrytrocknung R5 RA und COBRA NC/NX, Pfeiffer Vacuum HiLobe, ACP, DuoVane und HiScroll.

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Elektrolyt befüllen

Die Zelle wird evakuiert und dann unter Vakuum befüllt (Busch). Leybold beschreibt wiederholtes Evakuieren und Teilbefüllen für eine vollständige Benetzung bei minimal etwa 0,01 mbar und nennt DRYVAC. Busch nennt R5 RA, COBRA NC/NX und MINK MM/MV, Pfeiffer Vacuum ACP und HiScroll; Atlas Copco beschreibt Befüllen und Entgasen als einen Schritt, der die Zellen füllt und eingeschlossene Gase entfernt.

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Entgasung nach dem Formieren

Nach dem Formieren wird die Zelle laut Leybold in der Vakuumkammer angestochen und das Gas abgepumpt; Leybold nennt DRYVAC. Busch beschreibt das Entfernen von Luftblasen aus dem Elektrolyten mit R5 RA und COBRA NC/NX. Pfeiffer Vacuum nennt das Absaugen der Formationsgase und für die Entgasung HiLobe.

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Zellen versiegeln und Pouch-Folie tiefziehen

Atlas Copco beschreibt den Verschluss unter Vakuum ohne Restluft und Restfeuchte, Edwards nennt das Versiegeln mit GXS, EDS, EXS, nES und nXDS. Die Pouch-Folie wird laut Leybold im Vakuum geformt; Leybold nennt dafür VARODRY, SOGEVAC und CLAWVAC.

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Dichtheitsprüfung und End-of-Line-Test

Leybold beschreibt den Helium-Lecktest der fertigen Zelle und nennt PHOENIX, SCROLLVAC, VARODRY und TRIVAC. Busch nennt für Lecksuche und End-of-Line-Prüfung COBRA, PANDA und R5, im Produktfinder auch MINK. Pfeiffer Vacuum nennt A 100/200 L, ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll.

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Batterierecycling

Busch beschreibt das Recycling von Lithium-Batterien als Schreddern, Trocknen und Destillieren unter Vakuum: Die Luft wird aus dem Schredder abgesaugt und durch Stickstoff ersetzt, der Elektrolyt per Wärme und Vakuum verdampft und per Vakuumdestillation getrennt. Busch nennt eine Recyclingquote über 90 % und die Serien R5, HUCKEPACK, COBRA, DOLPHIN, MINK, PANDA und PUMA. Pfeiffer Vacuum nennt für das Recycling ACP und HiLobe.

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Imprägnieren, Stapeln und Handling

Busch beschreibt die Imprägnierung, die den Kontakt zwischen Elektrode und Elektrolyt sichert, mit R5 RA und COBRA NC/NX. Beim Stapeln positionieren laut Leybold Vakuumgreifer Anode, Separator und Kathode; Leybold nennt dafür das zentrale System VACUBE und für Vakuumheber SOGEVAC, NOVADRY NDi und CLAWVAC CPi.

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Hersteller und Serien

5 Hersteller, 47 Serien für Batteriefertigung

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 641 Modelle für Batteriefertigung im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco AWC Serie 9 Modelle

AWC 30Saugvermögen 27 m³/h 50 Hz32 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 6
AWC 50Saugvermögen 52 m³/h 50 Hz62 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 6
AWC 80Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 6
AWC 110Saugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 3,85 – 4 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 9
AWC 160Saugvermögen 165 m³/h 50 Hz185 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz5,5 – 6,3 kW 60 HzVarianten 15
AWC 220Saugvermögen 230 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz7,5 – 8,2 kW 60 HzVarianten 15
AWC 290Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz310 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz11 – 12,6 kW 60 HzVarianten 15
AWC 390Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 – 16,5 kW 60 HzVarianten 15
AWC 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz535 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 15

Atlas Copco AWS Serie 22 Modelle

AWS 180Saugvermögen 168 m³/h 50 Hz202 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
AWS 280Saugvermögen 246 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 6
AWS 360Saugvermögen 340 m³/h 50 Hz412 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6
AWS 450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz535 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 8
AWS 600Saugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 8
AWS 800Saugvermögen 750 m³/h 50 Hz888 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 8
AWS 1100Saugvermögen 1.080 m³/h 50 Hz1.320 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz45 kW 60 HzVarianten 8
AWS 1300Saugvermögen 1.230 m³/h 50 Hz1.452 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 8
AWS 1600Saugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz2.000 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 45 kW 50 Hz75 kW 60 HzVarianten 8
AWS 2500Saugvermögen 2.450 m³/h 50 Hz2.780 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 75 kW 50 Hz90 kW 60 HzVarianten 8
AWS 3300Saugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.840 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 75 kW 50 Hz110 kW 60 HzVarianten 8
AWS 3800Saugvermögen 3.750 m³/h 50 Hz4.520 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 90 kW 50 Hz132 kW 60 HzVarianten 8
AWS 5500Saugvermögen 5.300 m³/h 50 Hz5.850 m³/h 60 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 160 kW 50 Hz185 kW 60 HzVarianten 8
AWS 6500Saugvermögen 6.510 m³/h 50 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 169 kW 50 HzVarianten 8
AWS 8000Saugvermögen 8.100 m³/h 50 HzEnddruck 33 mbarMotornennleistung 200 kW 50 HzVarianten 8

Atlas Copco DBD Serie 6 Modelle

Atlas Copco DBDt Serie 17 Modelle

Atlas Copco DBS Serie 29 Modelle

Atlas Copco DBSt Serie 12 Modelle

Atlas Copco DRB Serie 4 Modelle

Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle

Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

Atlas Copco GVS VSD+ Serie 4 Modelle

Atlas Copco LRP VSD+ Serie 3 Modelle

Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch DOLPHIN Serie 70 Modelle

Busch HUCKEPACK Serie 4 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Busch SAMOS Serie 31 Modelle

Busch SECO Serie 10 Modelle

Busch TYR Serie 16 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Edwards nES Ex Serie 5 Modelle

Edwards nES Serie 8 Modelle

Edwards nXDS Serie 4 Modelle

Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold ECODRY Serie 5 Modelle

Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Auswahl

Vakuumpumpe für Batteriefertigung auswählen

Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.

Lösemittel und Feuchte

Beim Trocknen nennt Leybold NMP und Feuchte aus den Elektrodenwickeln, Busch Feuchte und Lösemittel, die schonend entfernt werden. Die Pumpe muss diese Dämpfe über 12–30 Stunden je Charge (Leybold) verarbeiten.

Enddruck je Schritt

Busch nennt für R5 RA 0,1 hPa Enddruck, Leybold für die Elektrolytbefüllung minimal etwa 0,01 mbar. Welcher Druck nötig ist, hängt vom Fertigungsschritt ab – fragen Sie nach dem Prozessdruck, bevor Sie eine Serie wählen.

Explosionsschutz und Inertisierung

Edwards nennt für Lithium-Ionen-Batterien die ATEX-Ausführung nES Ex. Beim Recycling beschreibt Busch, dass die Luft aus dem Schredder abgesaugt und durch Stickstoff ersetzt wird.

Gasballast

Busch gibt für R5 RA 0,5 hPa Enddruck mit und 0,1 hPa ohne Gasballast an. Der Gasballast hilft der Pumpe, Dämpfe ohne Kondensation durchzusetzen – bei Feuchte und Lösungsmitteln ein Punkt für die Auswahl.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Batteriefertigung

Welche Vakuumpumpe für die Batteriefertigung?

Busch nennt für die Produktion von Lithium-Batterien R5 RA (20–840 m³/h, Enddruck 0,1 hPa), COBRA NC/NX und MINK MM/MV. Leybold nennt TRIVAC, SOGEVAC, VARODRY, CLAWVAC, VACUBE, LEYVAC, DRYVAC, RUVAC, PHOENIX und SCROLLVAC. Atlas Copco nennt GHS VSD+, DWS VSD+, GVS VSD+ und DWS 200–500, Edwards GXS, EDS, EXS, nES, nES Ex und nXDS, Pfeiffer Vacuum A 100/200 L, ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll. Welche Serie passt, hängt vom Fertigungsschritt ab.

Wofür braucht die Lithium-Ionen-Zellfertigung Vakuum?

Pfeiffer Vacuum zählt auf: blasenfrei mischen, Elektroden trocknen, Elektrolyt füllen, Formationsgase absaugen, End-of-Line- und Lecktest, Recycling. Atlas Copco beschreibt eine kontrollierte, luft- und gasarme Umgebung in mehreren Fertigungsschritten. Leybold beschreibt, dass Vakuum einige Zellfertigungsschritte erst möglich macht und in anderen Reinheit, Qualität und Sicherheit verbessert.

Wie wird Elektrodenslurry unter Vakuum gemischt?

Die Elektrodenpaste wird unter Vakuum gemischt und entgast, damit keine Luftblasen in der Anoden- und Kathodenpaste bleiben (Atlas Copco, Leybold). Busch nennt dafür R5 RA und COBRA NC/NX, Leybold TRIVAC, SOGEVAC, VARODRY und CLAWVAC, Pfeiffer Vacuum HiScroll und HiLobe, Edwards GXS, EDS, EXS, nES und nXDS.

Wie lange dauert die Vakuumtrocknung von Elektroden?

Leybold nennt für die Vakuumtrocknung der Elektrodenwickel 12–30 Stunden je Charge; dabei werden Feuchte und das Lösungsmittel NMP entfernt. Leybold nennt dafür VARODRY, LEYVAC, DRYVAC und RUVAC. Atlas Copco beschreibt das Abziehen von Lösungsmittel und Feuchte chargenweise oder kontinuierlich.

Wie viel Vakuum braucht die Elektrolytbefüllung?

Leybold nennt minimal etwa 0,01 mbar und beschreibt wiederholtes Evakuieren und Teilbefüllen, bis die Zelle vollständig benetzt ist; genannt wird DRYVAC. Busch beschreibt, dass die Zelle evakuiert und dann unter Vakuum befüllt wird, mit R5 RA, COBRA NC/NX und MINK MM/MV. Pfeiffer Vacuum nennt für die Elektrolytbefüllung ACP und HiScroll.

Wie wird eine Batteriezelle nach dem Formieren entgast?

Leybold beschreibt, dass die Zelle in der Vakuumkammer angestochen und das Gas abgepumpt wird; genannt wird DRYVAC. Busch nennt das Entfernen von Luftblasen aus dem Elektrolyten mit R5 RA und COBRA NC/NX, Pfeiffer Vacuum das Absaugen der Formationsgase mit HiLobe.

Wie werden Batteriezellen auf Dichtheit geprüft?

Mit einem Helium-Lecktest der fertigen Zelle, wie Leybold ihn beschreibt; genannt werden PHOENIX, SCROLLVAC, VARODRY und TRIVAC. Für die Helium-Dichtheitsprüfung allgemein gibt Leybold TRIVAC mit 4–90 m³/h, SCROLLVAC mit 3–18 m³/h, ECODRY mit 25–65 m³/h und VARODRY mit 65–200 m³/h an. Busch nennt für Lecksuche und End-of-Line-Prüfung COBRA, PANDA und R5, Pfeiffer Vacuum A 100/200 L, ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll.

Welche Vakuumpumpe für das Batterierecycling?

Busch beschreibt Schreddern, Trocknen und Destillieren unter Vakuum und nennt R5, HUCKEPACK, COBRA, DOLPHIN, MINK, PANDA und PUMA; die Recyclingquote gibt Busch mit über 90 % an. Beim Schreddern wird die Luft abgesaugt und durch Stickstoff ersetzt, der Elektrolyt per Wärme und Vakuum verdampft und per Vakuumdestillation getrennt. Pfeiffer Vacuum nennt für das Recycling ACP und HiLobe.

Brauche ich ATEX-Vakuumpumpen in der Batteriefertigung?

Edwards nennt für Lithium-Ionen-Batterien neben GXS, EDS, EXS, nES und nXDS ausdrücklich die ATEX-Ausführung nES Ex. Busch beschreibt beim Recycling, dass der Schredder mit Stickstoff inertisiert wird. Ob eine ATEX-Ausführung nötig ist, hängt von Lösungsmitteln und Gasen im jeweiligen Schritt ab – nennen Sie uns den Prozess.

Mit oder ohne Gasballast in der Batteriefertigung?

Busch gibt für R5 RA den Enddruck mit 0,5 hPa mit Gasballast und 0,1 hPa ohne Gasballast an. Mit Gasballast setzt die Pumpe Dämpfe besser durch, ohne ihn erreicht sie den tieferen Enddruck. Bei Schritten mit Feuchte oder Lösungsmitteln – Trocknung, Befüllung – ist das die Abwägung.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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