COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/hEnddruck 0,03 mbar
COBRA DS 0600 E Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 600 m³/h und einem Enddruck von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 600 m³/h 50 Hz 600 m³/h 60 Hz
- Enddruck 0,01 mbar
- Motornennleistung 15 kW 50 Hz 15 kW 60 Hz
| Variante | Teilenummer |
|---|---|
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt) | 1361800185 |
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage | 1361800189 |
Busch COBRA DS 0600 E – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 0600 E ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 600 m³/h, der Enddruck 0,01 mbar. Motornennleistung 15 kW.Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor
Typische Anwendungen
Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).Zubehör
- Tantalbeschichtung für raue Einsatzbedingungen
Ausführungen der Busch COBRA DS 0600 E
Die 2 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 600 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 600 |
| Enddruck | 0,01 |
| Motornennleistung 50Hz | 15 |
| Motornennleistung 60Hz | 15 |
| Gewicht | 745 |
| Länge | 165,4 |
| Breite | 60 |
| Höhe | 74,7 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 100 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 63 |
| Schallpegel | 70 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 600 m³/h |
| Enddruck | 0,01 mbar |
| Motornennleistung | 15 kW |
| Nenndrehzahl | 3600 min⁻¹ |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 9 kW |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 70 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 6 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 200 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 1654 × 600 × 747 mm |
| Gewicht (ca.) | 745 kg |
| Gaseinlass | DN 100 |
| Gasauslass | DN 63 |
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/hEnddruck 0,03 mbarCOBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/hEnddruck 0,03 mbarCOBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar