Branche
Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik
Von der Kristallzucht über Wafer, Beschichtung und Schleusen bis zur Modullaminierung: Atlas Copco nennt Vakuum von der Waferfertigung bis zur Modulverkapselung, Leybold in fast jedem Fertigungsschritt – Wafer, Dünnschicht, Heterojunction. Die Seite gehört zur Branche Energie. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 354 Modelle von 5 Herstellern.
354 Modelle vergleichenAnwendungen ansehen
- 354Modelle
- 26Serien
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Kurz gesagt
Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik – das Wichtigste in Kürze
- LaminierungAtlas Copco nennt für den Laminator, der die Luft aus dem Modul saugt, etwa 200 mbar(a) und die Serien DWS VSD+ und DZS 100–400 VSD+ A.
- BeschichtungPfeiffer Vacuum nennt für PVD-Schichten 10⁻³ bis 10⁻⁶ hPa und für kristallines Silizium 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa – kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD und PECVD.
- SaugvermögenLeybold nennt für die Solarindustrie RUVAC mit 250–7000 m³/h, dazu SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE und PowerBoost.
- Trocken oder ölgeschmiertAtlas Copco nennt für Kristallzucht und Gießen trockene, staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen; Pfeiffer Vacuum nennt für die Solarzellenproduktion trockene und ölgeschmierte Pumpen.
Anwendungen
Wofür Solar und Photovoltaik Vakuumpumpen braucht
Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.
Kristallzucht und Ingots
Beim Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigungen (Busch) und schafft eine gasarme Umgebung für reines Silizium (Atlas Copco). Atlas Copco nennt dafür trockene, staub- und korrosionsfeste Pumpen und DWS VSD+; Busch COBRA und PANDA; Leybold DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY und TRIVAC B; Pfeiffer Vacuum COBRA DS und COMBI bei 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa. Edwards nennt die Si-Blockzucht mit GXS, EDS und EXS.
- Atlas CopcoDWS VSD+
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, COBRA Semicon
- EdwardsGXS, EDS, EXS nennt die Si-Blockzucht in der Branchenaussage
- LeyboldTRIVAC, DRYVAC, SCREWLINE
- Pfeiffer VacuumCOBRA Semicon nennt außerdem COMBI
Beschichtung: PVD, PECVD und Dünnschicht
Antireflexschichten entstehen per CVD/PECVD (Busch, COBRA DS); TCO-Schichten per PVD, CIGS- und CdTe-Schichten sowie CVD bei Heterojunction laufen laut Leybold in Inline-Anlagen mit kurzen Takten, genannt werden POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC. Atlas Copco nennt Sputtern, CVD und PVD, die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte und für Dünnschicht- und Hartbeschichtung DWS und DWS VSD+. Pfeiffer Vacuum nennt kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD und PECVD mit A4 und COBRA DS, Edwards die Solarzellenfertigung für c-Si-, CdTe- und CIGS-Zellen.
- Atlas CopcoDWS, DWS VSD+
- BuschCOBRA Semicon, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- EdwardsGXS, EDS, EXS nennt Dünnschicht (c-Si, CdTe, CIGS) in der Branchenaussage
- LeyboldDRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU
- Pfeiffer VacuumA4, COBRA Semicon
Load-Lock und Schleusen
In der Load-Lock-Kammer werden die Wafer laut Busch ohne Druckstoß eingeschleust; Busch nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY. Edwards nennt Schleusen in der Solarzellenfertigung mit GXS, EDS und EXS. Leybold beschreibt für die Solarzellenbeschichtung Inline-Anlagen mit kurzen Takten.
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, COBRA Semicon
- EdwardsGXS, EDS, EXS nennt Schleusen in der Branchenaussage
Modullaminierung und Verkapselung
Der Laminator saugt die Luft aus dem Modul; Atlas Copco nennt dafür etwa 200 mbar(a) und DWS VSD+ sowie DZS 100–400 VSD+ A. Leybold beschreibt, dass das Vakuum das Polymer beim Verkleben des Moduls entgast, damit keine Blasen entstehen, und nennt SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001. Busch nennt für das Verbinden der Schichten zum Modul COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV und MINK MM; Atlas Copco nennt dazu die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte.
- Atlas CopcoDWS VSD+, DZS VSD+
- BuschCOBRA Industry, PANDA/PUMA, MINK
- LeyboldSCREWLINE, DRYVAC, CLAWVAC, RUVAC WS/WSU
- Pfeiffer Vacuumführt die Laminierung nur bei den Lecksuchern
Hersteller und Serien
5 Hersteller, 26 Serien für Solar und Photovoltaik
Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.
Atlas Copco
55 Modelle · 0,75–5.136 m³/h
Busch
174 Modelle · 3–12.000 m³/h
Edwards
24 Modelle · 160–5.760 m³/h
Leybold
89 Modelle · 2,7–4.700 m³/h
Pfeiffer Vacuum
12 Modelle · 95–1.650 m³/h
Produktübersicht
Alle 354 Modelle für Solar und Photovoltaik im Vergleich
Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.
Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle
DWS 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 14DWS 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 14DWS 500Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 7Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle
DZS 100 VSD+Saugvermögen 105 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3DZS 200 VSD+Saugvermögen 189 m³/h 50 Hz189 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 3DZS 400 VSD+Saugvermögen 398 m³/h 50 Hz398 m³/h 60 HzEnddruck 140 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3DZS 600 VSD+Saugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 2DZS 1200 VSD+Saugvermögen 1.140 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 2Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle
GHS 350 VSD+Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz400 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 29GHS 402 VSD+Saugvermögen 467 m³/h 50 Hz467 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 4GHS 585 VSD+Saugvermögen 560 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 30GHS 602 VSD+Saugvermögen 640 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz7,5 – 11 kW 60 HzVarianten 4GHS 730 VSD+Saugvermögen 730 m³/h 50 Hz730 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 30GHS 752 VSD+Saugvermögen 805 m³/h 50 Hz805 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 – 15 kW 50 Hz11 – 15 kW 60 HzVarianten 4GHS 900 VSD+Saugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 32GHS 902 VSD+Saugvermögen 917 m³/h 50 Hz917 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 – 18,5 kW 50 Hz15 – 18,5 kW 60 HzVarianten 4GHS 1002 VSD+Saugvermögen 1.039 m³/h 50 Hz1.039 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten GHS 1202 VSD+Saugvermögen 1.172 m³/h 50 Hz1.172 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9GHS 1300 VSD+Saugvermögen 1.250 – 1.615 m³/h 50 Hz1.250 – 1.615 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 18 – 22 kW 50 Hz18 – 22 kW 60 HzVarianten 33GHS 1402 VSD+Saugvermögen 1.383 m³/h 50 Hz1.383 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 9GHS 1602 VSD+Saugvermögen 1.581 m³/h 50 Hz1.581 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 9GHS 1600 VSD+Saugvermögen 1.590 – 1.811 m³/h 50 Hz1.590 – 1.811 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 28 – 30 kW 50 Hz28 – 30 kW 60 HzVarianten 33GHS 2002 VSD+Saugvermögen 1.771 m³/h 50 Hz1.771 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 9GHS 1900 VSD+Saugvermögen 1.810 m³/h 50 Hz1.810 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 21GHS 2700 VSD+Saugvermögen 2.674 m³/h 50 Hz2.674 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 45 kW 50 Hz45 kW 60 HzVarianten 8GHS 3400 VSD+Saugvermögen 3.268 m³/h 50 Hz3.268 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 8GHS 3800 VSD+Saugvermögen 3.724 m³/h 50 Hz3.724 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz55 kW 60 HzVarianten 9GHS 4600 VSD+Saugvermögen 4.494 m³/h 50 Hz4.494 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 75 kW 50 Hz75 kW 60 HzVarianten 9GHS 5400 VSD+Saugvermögen 5.136 m³/h 50 Hz5.136 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 90 kW 50 Hz90 kW 60 HzVarianten 9Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle
Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle
GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle
ZRS 250Saugvermögen 310 m³/h 50 Hz375 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4ZRS 500Saugvermögen 505 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4ZRS 1200Saugvermögen 1.195 m³/h 50 Hz1.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4ZRS 2600Saugvermögen 2.590 m³/h 50 Hz3.110 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 4ZRS 4200Saugvermögen 4.140 m³/h 50 Hz4.985 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 4Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten Busch MINK Serie 32 Modelle
MINK MB 0018 ASaugvermögen 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzEnddruck 600 mbarMotornennleistung 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUESaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MI 2124 BVSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0060 E ECOTORQUESaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0084 ASaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten MINK MM 1104 BVSaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 10
MINK MM 1104 CVMSaugvermögen 62 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 1,3 kW 50 HzVarianten 
MINK MM 0104 ASaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1144 BVSaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUESaugvermögen 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0142 ASaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1102 BVSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 6
MINK MM 1102 CVMSaugvermögen 110 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 HzVarianten 
MINK MI 2122 BVSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 0182 ASaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1142 BVSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 13
MINK MM 1324 AVSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2
MINK MM 1202 AVSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 11
MINK MM 1252 AVSaugvermögen 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 8MINK MW 0332 BSaugvermögen 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,8 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0312 BSaugvermögen 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 4
MINK MM 1322 AVSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVarianten 10
MINK MV 0310 BSaugvermögen 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVarianten MINK MV 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1402 AVSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0502 BSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0500 BSaugvermögen 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1502 AVSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 5
MINK MV 0602 BSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0600 BSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 1202 BSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3MINK MV 1200 B ECOTORQUESaugvermögen 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
PANDA WV 0250 CSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0250 BSaugvermögen 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4PUMA WY 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0500 D2Saugvermögen 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0500 BSaugvermögen 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0700 DSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PUMA WY 0700 CSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1000 D2Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WY 1250 CSaugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1250 D2Saugvermögen 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1800 ASaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 5PUMA WY 2000 CSaugvermögen 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 2000 D2Saugvermögen 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2200 ASaugvermögen 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten PUMA WY 3600 ASaugvermögen 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten PANDA WV 4500 BSaugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 4PUMA WP 4500 B2Saugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 5400 ASaugvermögen 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WP 8100 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten PUMA WY 8000 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WG 9600Saugvermögen 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzEnddruck 130 mbarMotornennleistung Varianten Busch R5 Serie 58 Modelle
R5 PB 0003 DSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0004 CSaugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0008 CSaugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 
R5 KB 0010 ESaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0012 ASaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten R5 RA 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0016 ESaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0020 ASaugvermögen 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten R5 RA 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0020 DSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 1
R5 RB 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 2R5 RC 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KD 0025 ASaugvermögen 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KB 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 3R5 KB 0040 DSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0040 FSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0040 CSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0063 FSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0063 CSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten R5 RA 0100 FSaugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0155 ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0165 DSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
R5 RD 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0165 D ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0200 A ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0205 DSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten R5 RD 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0205 D ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0240 A ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0255 DSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 3R5 RD 0300 ASaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0255 D ECOTORQUESaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0305 DSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten R5 RD 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0305 D ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0400 CSaugvermögen 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0520 ASaugvermögen 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0400 C ECOTORQUESaugvermögen 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 CSaugvermögen 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0520 A ECOTORQUESaugvermögen 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 C ECOTORQUESaugvermögen 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0600 A ECOTORQUESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0840 A ECOTORQUESaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0840 B PLUSSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 BSaugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1000 A PLUSSaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 B ECOTORQUESaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 1600 BSaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1600 A PLUSSaugvermögen 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EDS200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS480Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards EXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450/2600Saugvermögen 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/2600Saugvermögen 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS450/4200Saugvermögen 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS750/8000Saugvermögen 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards GXS Serie 10 Modelle
Edwards GXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 11Edwards GXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450/2600Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/2600Saugvermögen 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS450/4200Saugvermögen 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 10Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle
CLAWVAC CP 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz79 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 1,8 – 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 8
CLAWVAC CP 150 BSaugvermögen 152 m³/h 50 Hz184 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3,7 – 4 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 8
CLAWVAC CP 300 BSaugvermögen 295 m³/h 50 Hz347 m³/h 60 HzEnddruck 140 – 200 mbarMotornennleistung 6,2 – 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 8CLAWVAC CP 500Saugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 150 – 200 mbarMotornennleistung 9,2 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5CLAWVAC CP 1000Saugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 150 – 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 5Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
DRYVAC DV 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 500Saugvermögen 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,05 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5
DRYVAC DV 650Saugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 33DRYVAC DV 650 FPSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 8
DRYVAC DV 800Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 11DRYVAC DV 800 FP-rSaugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 1200Saugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3DRYVAC DV 1600Saugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVarianten 1Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
DURADRY DD 160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 1Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
NOVADRY ND 65Saugvermögen 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
NOVADRY ND 100Saugvermögen 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 160Saugvermögen 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 200Saugvermögen 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
RUVAC WA 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WA 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WAU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 7Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
RUVAC WH 700Saugvermögen 620 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3,8 kW 50 Hz2,6 – 3,8 kW 60 HzVarianten 9
RUVAC WH 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 – 11 kW 50 Hz7,4 – 11 kW 60 HzVarianten 24
RUVAC WHU 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 kW 50 Hz7,4 kW 60 HzVarianten 10
RUVAC WH 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 14
RUVAC WHU 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 7
RUVAC WH 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 19
RUVAC WHU 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
RUVAC WS 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WS 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WS 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WSU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WS 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 11
RUVAC WSU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 15Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
SCREWLINE SP 630Saugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6SCREWLINE SP 630 FSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 11Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
SOGEVAC SV 10 BSaugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 16 DSaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 13SOGEVAC SV 16 DISaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 4
SOGEVAC SV 16 BSaugvermögen 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 7
SOGEVAC SV 25 BSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 25 DSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 15
SOGEVAC SV 28 BISaugvermögen 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 40 BI FCSaugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 55 BI²Saugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 4
SOGEVAC SV 40 BSaugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 25
SOGEVAC SV 40 BISaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 65 BI FCSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 70 BI²Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 2
SOGEVAC SV 65 BSaugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 22
SOGEVAC SV 100 BSaugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 31SOGEVAC SV 120 BI FCSaugvermögen 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 120 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 220 BSaugvermögen 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 8
SOGEVAC SV 300 BSaugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 45
SOGEVAC SV 320 BSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 570 BSaugvermögen 470 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 630 BSaugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 34
SOGEVAC SV 750 BSaugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 15Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
TRIVAC D 2,5 ESaugvermögen 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 BSaugvermögen 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 4 TSaugvermögen 4,3 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 5 LSaugvermögen 5,1 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 8 TSaugvermögen 8,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 BSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 12 LSaugvermögen 12 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 16 TSaugvermögen 16,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 BSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 6
TRIVAC D 16 BCSSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 25 BSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 25 BCSSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 30 TSaugvermögen 30,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BCSSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 40 LSaugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 4TRIVAC D 63 LSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TRIVAC D 65 BCSSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 90 LSaugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
A 124 HSaugvermögen 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten A 204 H/XSaugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten A 604 HSaugvermögen 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 H/XSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 XNSaugvermögen 1.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 XNSaugvermögen 1.600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 H/XSaugvermögen 3.000 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 XNSaugvermögen 2.900 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 XNSaugvermögen 600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten Kein Modell entspricht diesen Filtern.
Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle
Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle
Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle
Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle
Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle
Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle
Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle
Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
Busch MINK Serie 32 Modelle
Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
Busch R5 Serie 58 Modelle
Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards GXS Serie 10 Modelle
Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle
Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.
Auswahl
Vakuumpumpe für Solar und Photovoltaik auswählen
Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.
Staub und Korrosion
Für Kristallzucht und Gießen nennt Atlas Copco trockene Vakuumpumpen, die staub- und korrosionsfest sind. Prüfen Sie, was aus dem Prozess in die Pumpe gelangt, bevor Sie die Bauart festlegen.
Reinheit der Schicht
Pfeiffer Vacuum nennt für PVD und PECVD kohlenstofffreies Hochvakuum, Busch beschreibt beim Kristallziehen eine Prozesskammer frei von Verunreinigungen, Atlas Copco eine gasarme Umgebung für reines Silizium. Die Pumpe darf den Prozess nicht selbst verunreinigen.
Taktzeit und Schleusen
Busch nennt das Einschleusen ohne Druckstoß, Leybold Inline-Anlagen mit kurzen Takten. Für die Glasbeschichtung nennt Leybold 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar und einen Betrieb bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar – ein Maßstab dafür, was eine Schleusenpumpe leisten muss.
Blasenfrei laminieren
Leybold beschreibt, dass das Vakuum das Polymer beim Verkleben des Moduls entgast, damit keine Blasen entstehen; Atlas Copco nennt für den Laminator etwa 200 mbar(a). Ein Grobvakuum reicht hier, die Pumpe muss es aber zuverlässig und wiederholbar erreichen.
Häufige Fragen
Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik
Welche Vakuumpumpe für die Laminierung von Solarmodulen?
Atlas Copco nennt für die PV-Laminierung DWS VSD+ und DZS 100–400 VSD+ A, Leybold SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001, Busch COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV und MINK MM. Der Laminator saugt die Luft aus dem Modul, das Vakuum entgast das Polymer beim Verkleben, damit keine Blasen bleiben.
Wie viel Vakuum braucht ein Solarlaminator?
Atlas Copco nennt etwa 200 mbar(a) für den Laminator, der die Luft aus dem Modul saugt. Leybold beschreibt dieselbe Aufgabe als Entgasen des Polymers beim Verkleben des Moduls.
Welche Vakuumpumpe für PVD- und PECVD-Beschichtung von Solarzellen?
Pfeiffer Vacuum nennt kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD- und PECVD-Schichten mit A4 und COBRA DS. Busch nennt für die CVD/PECVD-Antireflexschicht COBRA DS und für PVD COBRA (NX, DS), PANDA WV und PUMA WY. Leybold nennt für TCO per PVD, CIGS/CdTe und CVD bei Heterojunction POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC, Atlas Copco für Dünnschicht- und Hartbeschichtung DWS und DWS VSD+.
Welcher Druck ist bei der PVD-Beschichtung nötig?
Pfeiffer Vacuum nennt für PVD-Schichten 10⁻³ bis 10⁻⁶ hPa. Leybold nennt für optische Beschichtungen per PVD einen Betrieb bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für Verschleißschutz- und dekorative Schichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar; Atlas Copco spricht für die Vakuumbeschichtung allgemein von Hochvakuum.
Welche Vakuumpumpe für das Kristallziehen von Silizium?
Atlas Copco nennt für Kristallzüchtung und Gießen trockene, staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen und für das Siliziumkristallziehen DWS VSD+. Busch nennt COBRA und PANDA, Leybold DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY und TRIVAC B für Si- und SiC-Kristalle. Pfeiffer Vacuum nennt COBRA DS und COMBI und für kristallines Silizium 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa.
Trockene oder ölgeschmierte Vakuumpumpe in der Solarfertigung?
Pfeiffer Vacuum nennt für die Solarzellenproduktion beides, trockene und ölgeschmierte Pumpen. Atlas Copco nennt für die Kristallzucht ausdrücklich trockene, staub- und korrosionsfeste Pumpen. Leybold nennt für die Solarindustrie SCREWLINE SP 630, DRYVAC, VARODRY, CLAWVAC, SOGEVAC und TRIVAC PFPE, ohne nach Bauart zu trennen.
Welche Vakuumpumpe für Load-Lock-Kammern?
Busch beschreibt, dass die Wafer in der Load-Lock-Kammer ohne Druckstoß eingeschleust werden, und nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY. Edwards nennt die Schleusen in der Solarzellenfertigung mit GXS, EDS und EXS.
Welche Pumpen nennt Leybold für die Solarindustrie?
PowerBoost, SCREWLINE SP 630, DRYVAC, RUVAC mit 250–7000 m³/h, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE und PHOENIX – für Wafer, Dünnschicht und Heterojunction. Für die Solarlaminierung nennt Leybold SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001, für die Solarzellenbeschichtung POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC.
Welche Vakuumpumpe für Dünnschichtmodule (CdTe, CIGS)?
Edwards nennt die Solarzellenfertigung für c-Si-, CdTe- und CIGS-Zellen, von der Si-Blockzucht bis zur Dünnschicht, mit GXS, EDS und EXS. Leybold nennt CIGS- und CdTe-Schichten in Inline-Anlagen mit kurzen Takten und dafür POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC; Atlas Copco nennt für die Dünnschicht-Beschichtung DWS.
Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?
Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.
Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?
Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.
