Branche

Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik

Von der Kristallzucht über Wafer, Beschichtung und Schleusen bis zur Modullaminierung: Atlas Copco nennt Vakuum von der Waferfertigung bis zur Modulverkapselung, Leybold in fast jedem Fertigungsschritt – Wafer, Dünnschicht, Heterojunction. Die Seite gehört zur Branche Energie. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 354 Modelle von 5 Herstellern.

354 Modelle vergleichenAnwendungen ansehen

  • 354Modelle
  • 26Serien
  • 5Hersteller
  • 4Anwendungen
Solarmodule und Windräder
Solarmodule und Windräder

Kurz gesagt

Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik – das Wichtigste in Kürze

  • LaminierungAtlas Copco nennt für den Laminator, der die Luft aus dem Modul saugt, etwa 200 mbar(a) und die Serien DWS VSD+ und DZS 100–400 VSD+ A.
  • BeschichtungPfeiffer Vacuum nennt für PVD-Schichten 10⁻³ bis 10⁻⁶ hPa und für kristallines Silizium 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa – kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD und PECVD.
  • SaugvermögenLeybold nennt für die Solarindustrie RUVAC mit 250–7000 m³/h, dazu SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE und PowerBoost.
  • Trocken oder ölgeschmiertAtlas Copco nennt für Kristallzucht und Gießen trockene, staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen; Pfeiffer Vacuum nennt für die Solarzellenproduktion trockene und ölgeschmierte Pumpen.

Anwendungen

Wofür Solar und Photovoltaik Vakuumpumpen braucht

Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.

Kristallzucht und Ingots

Beim Ziehen und Züchten von Si- und SiC-Kristallen hält das Vakuum die Prozesskammer frei von Verunreinigungen (Busch) und schafft eine gasarme Umgebung für reines Silizium (Atlas Copco). Atlas Copco nennt dafür trockene, staub- und korrosionsfeste Pumpen und DWS VSD+; Busch COBRA und PANDA; Leybold DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY und TRIVAC B; Pfeiffer Vacuum COBRA DS und COMBI bei 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa. Edwards nennt die Si-Blockzucht mit GXS, EDS und EXS.

Mehr zu Kristallzucht und Ingots →

Beschichtung: PVD, PECVD und Dünnschicht

Antireflexschichten entstehen per CVD/PECVD (Busch, COBRA DS); TCO-Schichten per PVD, CIGS- und CdTe-Schichten sowie CVD bei Heterojunction laufen laut Leybold in Inline-Anlagen mit kurzen Takten, genannt werden POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC. Atlas Copco nennt Sputtern, CVD und PVD, die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte und für Dünnschicht- und Hartbeschichtung DWS und DWS VSD+. Pfeiffer Vacuum nennt kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD und PECVD mit A4 und COBRA DS, Edwards die Solarzellenfertigung für c-Si-, CdTe- und CIGS-Zellen.

Mehr zu Beschichtung: PVD, PECVD und Dünnschicht →

Load-Lock und Schleusen

In der Load-Lock-Kammer werden die Wafer laut Busch ohne Druckstoß eingeschleust; Busch nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY. Edwards nennt Schleusen in der Solarzellenfertigung mit GXS, EDS und EXS. Leybold beschreibt für die Solarzellenbeschichtung Inline-Anlagen mit kurzen Takten.

Mehr zu Load-Lock und Schleusen →

Modullaminierung und Verkapselung

Der Laminator saugt die Luft aus dem Modul; Atlas Copco nennt dafür etwa 200 mbar(a) und DWS VSD+ sowie DZS 100–400 VSD+ A. Leybold beschreibt, dass das Vakuum das Polymer beim Verkleben des Moduls entgast, damit keine Blasen entstehen, und nennt SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001. Busch nennt für das Verbinden der Schichten zum Modul COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV und MINK MM; Atlas Copco nennt dazu die Verkapselung gegen Sauerstoff und Feuchte.

Mehr zu Modullaminierung und Verkapselung →

Hersteller und Serien

5 Hersteller, 26 Serien für Solar und Photovoltaik

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 354 Modelle für Solar und Photovoltaik im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle

DWS 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 14
DWS 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 14
DWS 500Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 7

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco DZS VSD+ Serie 5 Modelle

DZS 100 VSD+Saugvermögen 105 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3
DZS 200 VSD+Saugvermögen 189 m³/h 50 Hz189 m³/h 60 HzEnddruck 50 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 3
DZS 400 VSD+Saugvermögen 398 m³/h 50 Hz398 m³/h 60 HzEnddruck 140 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DZS 600 VSD+Saugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 2
DZS 1200 VSD+Saugvermögen 1.140 m³/h 50 Hz1.140 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 2

Atlas Copco GHS VSD+ Serie 21 Modelle

GHS 350 VSD+Saugvermögen 400 m³/h 50 Hz400 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 29
GHS 402 VSD+Saugvermögen 467 m³/h 50 Hz467 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 4
GHS 585 VSD+Saugvermögen 560 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 30
GHS 602 VSD+Saugvermögen 640 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 7,5 – 11 kW 50 Hz7,5 – 11 kW 60 HzVarianten 4
GHS 730 VSD+Saugvermögen 730 m³/h 50 Hz730 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 30
GHS 752 VSD+Saugvermögen 805 m³/h 50 Hz805 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 11 – 15 kW 50 Hz11 – 15 kW 60 HzVarianten 4
GHS 900 VSD+Saugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 32
GHS 902 VSD+Saugvermögen 917 m³/h 50 Hz917 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 15 – 18,5 kW 50 Hz15 – 18,5 kW 60 HzVarianten 4
GHS 1002 VSD+Saugvermögen 1.039 m³/h 50 Hz1.039 m³/h 60 HzEnddruck 0,35 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
GHS 1202 VSD+Saugvermögen 1.172 m³/h 50 Hz1.172 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9

Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

Atlas Copco ZRS Serie 5 Modelle

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Leybold CLAWVAC Serie 5 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold DURADRY Serie 3 Modelle

Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Auswahl

Vakuumpumpe für Solar und Photovoltaik auswählen

Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.

Staub und Korrosion

Für Kristallzucht und Gießen nennt Atlas Copco trockene Vakuumpumpen, die staub- und korrosionsfest sind. Prüfen Sie, was aus dem Prozess in die Pumpe gelangt, bevor Sie die Bauart festlegen.

Reinheit der Schicht

Pfeiffer Vacuum nennt für PVD und PECVD kohlenstofffreies Hochvakuum, Busch beschreibt beim Kristallziehen eine Prozesskammer frei von Verunreinigungen, Atlas Copco eine gasarme Umgebung für reines Silizium. Die Pumpe darf den Prozess nicht selbst verunreinigen.

Taktzeit und Schleusen

Busch nennt das Einschleusen ohne Druckstoß, Leybold Inline-Anlagen mit kurzen Takten. Für die Glasbeschichtung nennt Leybold 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar und einen Betrieb bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar – ein Maßstab dafür, was eine Schleusenpumpe leisten muss.

Blasenfrei laminieren

Leybold beschreibt, dass das Vakuum das Polymer beim Verkleben des Moduls entgast, damit keine Blasen entstehen; Atlas Copco nennt für den Laminator etwa 200 mbar(a). Ein Grobvakuum reicht hier, die Pumpe muss es aber zuverlässig und wiederholbar erreichen.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Solar und Photovoltaik

Welche Vakuumpumpe für die Laminierung von Solarmodulen?

Atlas Copco nennt für die PV-Laminierung DWS VSD+ und DZS 100–400 VSD+ A, Leybold SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001, Busch COBRA (DS, NC, NX), PANDA WV und MINK MM. Der Laminator saugt die Luft aus dem Modul, das Vakuum entgast das Polymer beim Verkleben, damit keine Blasen bleiben.

Wie viel Vakuum braucht ein Solarlaminator?

Atlas Copco nennt etwa 200 mbar(a) für den Laminator, der die Luft aus dem Modul saugt. Leybold beschreibt dieselbe Aufgabe als Entgasen des Polymers beim Verkleben des Moduls.

Welche Vakuumpumpe für PVD- und PECVD-Beschichtung von Solarzellen?

Pfeiffer Vacuum nennt kohlenstofffreies Hochvakuum für PVD- und PECVD-Schichten mit A4 und COBRA DS. Busch nennt für die CVD/PECVD-Antireflexschicht COBRA DS und für PVD COBRA (NX, DS), PANDA WV und PUMA WY. Leybold nennt für TCO per PVD, CIGS/CdTe und CVD bei Heterojunction POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC, Atlas Copco für Dünnschicht- und Hartbeschichtung DWS und DWS VSD+.

Welcher Druck ist bei der PVD-Beschichtung nötig?

Pfeiffer Vacuum nennt für PVD-Schichten 10⁻³ bis 10⁻⁶ hPa. Leybold nennt für optische Beschichtungen per PVD einen Betrieb bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für Verschleißschutz- und dekorative Schichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar; Atlas Copco spricht für die Vakuumbeschichtung allgemein von Hochvakuum.

Welche Vakuumpumpe für das Kristallziehen von Silizium?

Atlas Copco nennt für Kristallzüchtung und Gießen trockene, staub- und korrosionsfeste Vakuumpumpen und für das Siliziumkristallziehen DWS VSD+. Busch nennt COBRA und PANDA, Leybold DRYVAC, PowerBoost, SCREWLINE SP, VARODRY und TRIVAC B für Si- und SiC-Kristalle. Pfeiffer Vacuum nennt COBRA DS und COMBI und für kristallines Silizium 10⁻³ bis 10⁻⁵ hPa.

Trockene oder ölgeschmierte Vakuumpumpe in der Solarfertigung?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Solarzellenproduktion beides, trockene und ölgeschmierte Pumpen. Atlas Copco nennt für die Kristallzucht ausdrücklich trockene, staub- und korrosionsfeste Pumpen. Leybold nennt für die Solarindustrie SCREWLINE SP 630, DRYVAC, VARODRY, CLAWVAC, SOGEVAC und TRIVAC PFPE, ohne nach Bauart zu trennen.

Welche Vakuumpumpe für Load-Lock-Kammern?

Busch beschreibt, dass die Wafer in der Load-Lock-Kammer ohne Druckstoß eingeschleust werden, und nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY. Edwards nennt die Schleusen in der Solarzellenfertigung mit GXS, EDS und EXS.

Welche Pumpen nennt Leybold für die Solarindustrie?

PowerBoost, SCREWLINE SP 630, DRYVAC, RUVAC mit 250–7000 m³/h, CLAWVAC, VARODRY, SOGEVAC, TRIVAC PFPE und PHOENIX – für Wafer, Dünnschicht und Heterojunction. Für die Solarlaminierung nennt Leybold SCREWLINE SP 630, DRYVAC, CLAWVAC und RUVAC WSU 2001, für die Solarzellenbeschichtung POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC.

Welche Vakuumpumpe für Dünnschichtmodule (CdTe, CIGS)?

Edwards nennt die Solarzellenfertigung für c-Si-, CdTe- und CIGS-Zellen, von der Si-Blockzucht bis zur Dünnschicht, mit GXS, EDS und EXS. Leybold nennt CIGS- und CdTe-Schichten in Inline-Anlagen mit kurzen Takten und dafür POWERBOOST, DRYVAC und RUVAC; Atlas Copco nennt für die Dünnschicht-Beschichtung DWS.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

Anfrage stellenErsatzteile und ZubehörService