A 124 HSaugvermögen 95 m³/hEnddruck 0,05 mbar
A 3004 XN
Die Pfeiffer A 3004 XN ist eine trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 2900 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,004 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 2.900 m³/h 60 Hz
- Enddruck 4 × 10-3 mbar
Pfeiffer A 3004 XN – Trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe
Die Pfeiffer A 3004 XN ist eine trockene Mehrstufen-Wälzkolbenpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 2900 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,004 mbar.Merkmale
- Robust: für sehr raue Prozesse, hohe Partikelverträglichkeit, gute Korrosionsbeständigkeit
- Zuverlässig: lange Lebensdauer
- Leistungsstark: laut Pfeiffer das beste Kompressionsverhältnis der Klasse und sehr geringe Leistungsaufnahme
Typische Anwendungen
Pfeiffer nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Strippen/Veraschung, Poly-Silizium-Ätzen u. a.); Solar (Zellproduktion).Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 60Hz | 2.900 |
|---|---|
| Enddruck | 4 × 10-3 |
| Gewicht | 800 |
| Länge | 96,1 |
| Breite | 54,4 |
| Höhe | 109,4 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 160 |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 40 |
| Schallpegel | 72 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 2900 m³/h (60 Hz) |
| Enddruck | 4 · 10⁻³ mbar (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 2,7 kW (60 Hz) |
| Schalldruckpegel | < 72 dB(A) |
| Kühlwasserdurchfluss | 2,5 – 5 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 961 × 544 × 1094 mm |
| Gewicht (ca.) | 800 kg |
| Gaseinlass | DN 160 |
| Gasauslass | DN 40 |
A 124 HSaugvermögen 95 m³/hEnddruck 0,05 mbarA 204 H/XSaugvermögen 130 m³/hEnddruck 0,2 mbarA 604 HSaugvermögen 480 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarA 804 H/XSaugvermögen 600 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarA 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/hEnddruck 8 × 10-3 mbarA 1504 XNEnddruck 0,0145 mbarA 1804 XNEnddruck 0,0145 mbarA 3004 H/XEnddruck 4 × 10-3 mbarA 804 XNEnddruck 0,0145 mbar