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Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht
Dünne Schichten entstehen im Vakuum: Beim PVD-Sputtern und Verdampfen, bei CVD, PECVD und ALD und in der Plasmabehandlung wird die Kammer erst evakuiert und dann auf Prozessdruck gehalten – laut Leybold bei optischen Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, bei Verschleißschutz und dekorativen Schichten bis 10⁻⁶ mbar. In Glas- und Display-Anlagen takten die Vorpumpen zusätzlich die Schleusen. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 368 Modelle von 4 Herstellern.
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Kurz gesagt
Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht – das Wichtigste in Kürze
- ProzessdruckLeybold nennt für optische Beschichtungen 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für Verschleißschutz und dekorative Schichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
- SchleusentaktBei der Architektur- und Automobilglasbeschichtung takten die Vorpumpen laut Leybold die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar; Edwards nennt für die Glasbeschichtung schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS.
- SaugvermögenFür die Beschichtung nennt Leybold Wälzkolbenpumpen RUVAC mit 250–7000 m³/h und Drehschieberpumpen SOGEVAC mit 16–750 m³/h; Pfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800–4500 m³/h.
- Sauberes VakuumPfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD in Batch- und Inline-Anlagen, Busch die Beschichtung in einer sauberen Vakuumkammer, Edwards den Dampf, der das Substrat rein erreicht – bei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig.
Anwendungen
Wofür Beschichtung und Dünnschicht Vakuumpumpen braucht
Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.
PVD: Verschleißschutz und dekorative Schichten
Beim PVD werden Werkstoffe verdampft oder zerstäubt und kondensieren im Hochvakuum auf dem Werkstück. Leybold nennt harte und dekorative Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar mit DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC als Vorpumpen (außerdem VARODRY, SCREWLINE und POWER BOOST); Pfeiffer Vacuum nennt harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen für Stanzen und Druckguss sowie PVD-Farbschichten wie TiN und ZrN mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch nennt Verschleißschutz und dekorative Beschichtung mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum mit Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe. Leybold und Busch nennen als weiteres Beispiel Schutzschichten auf Bipolarplatten für Brennstoffzellen und Elektrolyseure.
- LeyboldSOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE nennt außerdem VARODRY und POWER BOOST
- Pfeiffer VacuumACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll, A4, TORRI
- BuschR5, MINK, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- EdwardsGXS, EDS, EXS, nES, E2M, EH nennt für PVD Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe; die Serien stammen von seiner Seite zur Dünnfilmbeschichtung
Optische Beschichtung
Entspiegelnde und kratzfeste Mehrlagenschichten entstehen laut Leybold per PVD oder Verdampfen in Chargenanlagen bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar; genannt werden TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC und SCREWLINE sowie VARODRY. Pfeiffer Vacuum nennt Antireflex-, Spiegel- und Filterschichten mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch die optische Beschichtung mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards nennt Touch-, Antireflex- und Kratzschutzschichten auf Mobilgeräten mit trockenen Schraubenpumpen und Boostern.
- LeyboldTRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE nennt außerdem VARODRY
- Pfeiffer VacuumACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll
- BuschR5, MINK, COBRA Industry, PANDA/PUMA
- Edwardsnennt Trockenschrauben und Booster für die Beschichtung von Mobilgeräten, ohne Serie
Glasbeschichtung: Architektur-, Automobil- und Low-E-Glas
Mehrlagige Schichten werden laut Leybold per PVD auf Architektur- und Automobilglas gesputtert; die Vorpumpen takten die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, der Prozess läuft bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Eine Low-E-Schicht reflektiert laut Leybold Sonnenenergie bei voller Transparenz. Pfeiffer Vacuum nennt Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline mit ACP und HiLobe, Edwards schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS, Busch die Glasbeschichtung mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.
- LeyboldSOGEVAC, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, SCREWLINE nennt außerdem POWER BOOST
- Pfeiffer VacuumACP, HiLobe
- EdwardsEDS, EXS
- BuschR5, COBRA Industry, PANDA/PUMA
CVD, PECVD und ALD
Bei CVD reagieren Gase am Substrat, bei ALD Lage für Lage. Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar mit EXS; Pfeiffer Vacuum nennt PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE mit A4 und A4H, ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar mit 1800–4500 m³/h – die Nebenprodukte sind korrosiv oder pulvrig. Busch nennt CVD/PECVD, etwa Antireflexschichten auf Solarzellen, mit COBRA DS; Leybold nennt CVD bei HJT-Solarzellen in Inline-Anlagen mit kurzen Takten mit DRYVAC und RUVAC und für MBE und ALD die Reinheit bei der Schichtbildung.
- EdwardsEXS
- Pfeiffer VacuumA4
- BuschCOBRA Semicon
- LeyboldDRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU nennt außerdem POWERBOOST
Rolle-zu-Rolle, Bahn- und Displaybeschichtung
Flexible Bahnen werden laut Leybold per PVD, PECVD oder Verdampfen bei 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar beschichtet; für Displays (LCD, OLED) nennt Leybold Schleusen mit sehr kurzen Pumpzyklen. Als Pumpen nennt Leybold dafür Turbo-, Kryo-, ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen sowie Wälzkolbenpumpen, ohne eine Serie zu bestimmen. Edwards nennt Bahnbeschichtung und Plasmaspritzen für EXS.
- Leyboldnennt Pumpenarten, keine Serie
- EdwardsEXS
Plasmabehandlung und Parylen
Prozessgase werden laut Leybold im Vakuum zu Plasma, das beschichtet, reinigt, aktiviert oder ätzt; genannt werden PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC. Edwards nennt die Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung und -reinigung mit Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi. Parylen wird laut Leybold per Pyrolyse im Vakuum als porenfreier Film aufgebracht, dafür nennt Leybold NOVADRY, NOVADRY NDi, SCREWLINE SP und Wälzkolbenpumpen.
- LeyboldTRIVAC, DURADRY, DRYVAC, RUVAC WA/WAU, RUVAC WS/WSU, RUVAC WH/WHU, NOVADRY, SCREWLINE nennt außerdem VARODRY HD O2
- EdwardsE2S, E2M, nXRi
- Pfeiffer Vacuumlistet PECVD ohne Serie
Labor- und Versuchsbeschichtung
Für schnelle F&E-Versuche mit Verdampfen, Sputtern und ALD nennt Pfeiffer Vacuum A4, ACP, DuoVane, HiScroll und TORRI. Edwards nennt für experimentelle Beschichtungen Drehschieberpumpen und reproduzierbare Bedingungen; Busch nennt die Beschichtung in Analytik und F&E mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.
- Pfeiffer VacuumA4, ACP, DuoVane, HiScroll, TORRI
- Edwardsnennt Drehschieberpumpen ohne Serie
- BuschR5, COBRA Industry, PANDA/PUMA
Hersteller und Serien
4 Hersteller, 29 Serien für Beschichtung und Dünnschicht
Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.
Busch
174 Modelle · 3–12.000 m³/h
Edwards
54 Modelle · 0,75–5.760 m³/h
Leybold
84 Modelle · 2,7–4.700 m³/h
Pfeiffer Vacuum
56 Modelle · 1,25–13.540 m³/h
Produktübersicht
Alle 368 Modelle für Beschichtung und Dünnschicht im Vergleich
Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.
Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten 
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3
COBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
COBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz610 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 0601 GSaugvermögen 550 m³/h 50 Hz640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,3 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/h 50 Hz960 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,8 kW 60 HzVarianten 2
COBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/h 50 Hz870 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/h 50 Hz1.640 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz13,2 kW 60 HzVarianten 2
COBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 8,4 kW 50 Hz8,4 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 1800 A XSaugvermögen 1.700 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 10,6 kW 50 Hz10,6 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3010 GSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3161 CSaugvermögen 3.200 m³/h 50 Hz3.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 3181 CSaugvermögen 3.500 m³/h 50 Hz3.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 33,5 kW 50 Hz33,5 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 5161 BSaugvermögen 4.300 m³/h 50 Hz4.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8161 FSaugvermögen 6.000 m³/h 50 Hz6.000 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
COBRA DS 9161 BSaugvermögen 6.220 m³/h 50 Hz6.220 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 35 kW 50 Hz35 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8162 FSaugvermögen 7.200 m³/h 50 Hz7.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 50 kW 50 Hz50 kW 60 HzVarianten 
COBRA DS 8163 BSaugvermögen 7.385 m³/h 50 Hz7.385 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 65 kW 50 Hz65 kW 60 HzVarianten Busch MINK Serie 32 Modelle
MINK MB 0018 ASaugvermögen 18 m³/h 50 Hz18 m³/h 60 HzEnddruck 600 mbarMotornennleistung 0,5 kW 50 Hz0,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0040 E ECOTORQUESaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MI 2124 BVSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0060 E ECOTORQUESaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0084 ASaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten MINK MM 1104 BVSaugvermögen 62 m³/h 50 Hz75 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 10
MINK MM 1104 CVMSaugvermögen 62 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 1,3 kW 50 HzVarianten 
MINK MM 0104 ASaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1144 BVSaugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 9
MINK MV 0080 E ECOTORQUESaugvermögen 80 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung Varianten 
MINK MM 0142 ASaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1102 BVSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 6
MINK MM 1102 CVMSaugvermögen 110 m³/h 50 HzEnddruck 400 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 HzVarianten 
MINK MI 2122 BVSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz145 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 5,1 kW 50 Hz6,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 0182 ASaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 40 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1142 BVSaugvermögen 140 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 13
MINK MM 1324 AVSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 60 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2
MINK MM 1202 AVSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 11
MINK MM 1252 AVSaugvermögen 245 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 8MINK MW 0332 BSaugvermögen 280 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,8 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 0312 BSaugvermögen 290 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 4
MINK MM 1322 AVSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz8 kW 60 HzVarianten 10
MINK MV 0310 BSaugvermögen 345 m³/h 50 Hz345 m³/h 60 HzEnddruck 150 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz6 kW 60 HzVarianten MINK MV 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 100 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1402 AVSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0502 BSaugvermögen 400 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 2
MINK MV 0500 BSaugvermögen 470 m³/h 50 Hz470 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 
MINK MM 1502 AVSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 5
MINK MV 0602 BSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 3
MINK MV 0600 BSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 
MINK MV 1202 BSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3MINK MV 1200 B ECOTORQUESaugvermögen 1.150 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 200 mbarMotornennleistung 25 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
PANDA WV 0250 CSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0250 BSaugvermögen 263 m³/h 50 Hz315 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 4PUMA WY 0500 CSaugvermögen 500 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0500 D2Saugvermögen 520 m³/h 50 Hz620 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten PANDA WZ 0500 BSaugvermögen 525 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 0700 DSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PUMA WY 0700 CSaugvermögen 700 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1000 D2Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 1200 ASaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.260 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WY 1250 CSaugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten PUMA WP 1250 D2Saugvermögen 1.295 m³/h 50 Hz1.555 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten PANDA WV 1800 ASaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.920 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4,3 kW 50 Hz5,2 kW 60 HzVarianten 5PUMA WY 2000 CSaugvermögen 2.010 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 2000 D2Saugvermögen 2.020 m³/h 50 Hz2.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz7 kW 60 HzVarianten 5PANDA WZ 2400 ASaugvermögen 2.120 m³/h 50 Hz2.540 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten PANDA WV 2200 ASaugvermögen 2.155 m³/h 50 Hz2.585 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten PUMA WY 3600 ASaugvermögen 3.600 m³/h 50 Hz3.600 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten PANDA WV 4500 BSaugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten 4PUMA WP 4500 B2Saugvermögen 4.500 m³/h 50 Hz5.400 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz12,6 kW 60 HzVarianten PUMA WP 5400 ASaugvermögen 6.480 m³/h 50 Hz6.480 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WP 8100 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten PUMA WY 8000 ASaugvermögen 8.100 m³/h 50 Hz8.100 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten PUMA WG 9600Saugvermögen 12.000 m³/h 50 Hz12.000 m³/h 60 HzEnddruck 130 mbarMotornennleistung Varianten Busch R5 Serie 58 Modelle
R5 PB 0003 DSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0004 CSaugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten R5 PB 0008 CSaugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 
R5 KB 0010 ESaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0012 ASaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten R5 RA 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0016 ESaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 1R5 KD 0020 ASaugvermögen 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten R5 RA 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 RC 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1R5 KB 0020 DSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 1
R5 RB 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 2R5 RC 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KD 0025 ASaugvermögen 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten R5 KB 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 3R5 KB 0040 DSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0040 FSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0040 CSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0063 FSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RE 0063 CSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten R5 RA 0100 FSaugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0155 ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten R5 RA 0165 DSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 
R5 RD 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0165 D ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0200 A ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0205 DSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten R5 RD 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0205 D ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0240 A ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0255 DSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 3R5 RD 0300 ASaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0255 D ECOTORQUESaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0305 DSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten R5 RD 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0305 D ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0400 CSaugvermögen 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 3R5 RA 0520 ASaugvermögen 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0400 C ECOTORQUESaugvermögen 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 CSaugvermögen 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 0520 A ECOTORQUESaugvermögen 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0502 C ECOTORQUESaugvermögen 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0600 A ECOTORQUESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2R5 RA 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 0840 A ECOTORQUESaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 0840 B PLUSSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 BSaugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1000 A PLUSSaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten R5 RA 1000 B ECOTORQUESaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung Varianten R5 RA 1600 BSaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 1R5 RA 1600 A PLUSSaugvermögen 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten Edwards E2M Serie 9 Modelle
Edwards E2M0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 4Edwards E2M2.5Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVarianten 8
Edwards E2M28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 7
Edwards E2M40Saugvermögen 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzEnddruck 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M80Saugvermögen 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 5
Edwards E2M275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 5Edwards E2S Serie 3 Modelle
Edwards E2S45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards E2S65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 2Edwards E2S85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 2Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EDS200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 – 7,5 kW 50 Hz5,5 – 7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards EDS480Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5Edwards EH Serie 5 Modelle
Edwards EH250Saugvermögen 310 m³/h 50 Hz375 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 8
Edwards EH500Saugvermögen 505 m³/h 50 Hz605 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 8
Edwards EH1200Saugvermögen 1.195 m³/h 50 Hz1.435 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 8
Edwards EH2600Saugvermögen 2.590 m³/h 50 Hz3.110 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8
Edwards EH4200Saugvermögen 4.140 m³/h 50 Hz4.985 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards EXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3Edwards EXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS450/2600Saugvermögen 2.130 m³/h 50 Hz2.130 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/2600Saugvermögen 2.280 m³/h 50 Hz2.280 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS450/4200Saugvermögen 3.180 m³/h 50 Hz3.180 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards EXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards EXS750/8000Saugvermögen 5.760 m³/h 50 Hz5.760 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 1Edwards GXS Serie 10 Modelle
Edwards GXS160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS750Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 12Edwards GXS160/1750Saugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.160 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 11Edwards GXS250/2600Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 10Edwards GXS450/2600Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/2600Saugvermögen 2.300 m³/h 50 Hz2.300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 8Edwards GXS450/4200Saugvermögen 3.026 m³/h 50 Hz3.026 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 9Edwards GXS750/4200Saugvermögen 3.450 m³/h 50 Hz3.450 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 29,5 kW 50 Hz29,5 kW 60 HzVarianten 10Edwards nES Serie 8 Modelle
Edwards nES40Saugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,3 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 3Edwards nES65Saugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,8 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 3Edwards nES100Saugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3,6 kW 60 HzVarianten 4Edwards nES220Saugvermögen 179 m³/h 50 Hz214 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 2Edwards nES300Saugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3Edwards nES300SSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,2 kW 60 HzVarianten 2Edwards nES630Saugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 5Edwards nES750Saugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 4Edwards nXRi Serie 5 Modelle
Edwards nXR30iSaugvermögen 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR40iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR60iSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR90iSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Edwards nXR120iSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
DRYVAC DV 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 500Saugvermögen 380 – 460 m³/h 50 Hz380 – 460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,05 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 5
DRYVAC DV 650Saugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 33DRYVAC DV 650 FPSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 8
DRYVAC DV 800Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 11DRYVAC DV 800 FP-rSaugvermögen 800 m³/h 50 Hz800 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 19,6 kW 50 Hz19,6 kW 60 HzVarianten 4
DRYVAC DV 1200Saugvermögen 1.250 m³/h 50 Hz1.250 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 3DRYVAC DV 1600Saugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.600 m³/h 60 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 39,2 kW 50 Hz39,2 kW 60 HzVarianten 1Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
DURADRY DD 160Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 250Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2DURADRY DD 450Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 1Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
NOVADRY ND 65Saugvermögen 63 m³/h 50 Hz63 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
NOVADRY ND 100Saugvermögen 96 m³/h 50 Hz96 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 160Saugvermögen 138 m³/h 50 Hz138 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 3NOVADRY ND 200Saugvermögen 175 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
RUVAC WA 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WA 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WAU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WA 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WAU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 7Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
RUVAC WH 700Saugvermögen 620 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 – 3,8 kW 50 Hz2,6 – 3,8 kW 60 HzVarianten 9
RUVAC WH 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 – 11 kW 50 Hz7,4 – 11 kW 60 HzVarianten 24
RUVAC WHU 2500Saugvermögen 2.200 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 6,2 kW 50 Hz7,4 kW 60 HzVarianten 10
RUVAC WH 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 14
RUVAC WHU 4400Saugvermögen 3.300 m³/h 50 Hz3.900 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 7
RUVAC WH 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 11 – 18,5 kW 50 Hz11 – 18,5 kW 60 HzVarianten 19
RUVAC WHU 7000Saugvermögen 4.700 m³/h 50 Hz5.300 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 3Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
RUVAC WS 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 251Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz251 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-4 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,4 kW 60 HzVarianten 4
RUVAC WS 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 2
RUVAC WSU 501Saugvermögen 410 m³/h 50 Hz530 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 5
RUVAC WS 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 3
RUVAC WSU 1001Saugvermögen 800 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 6
RUVAC WS 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 11
RUVAC WSU 2001Saugvermögen 1.850 m³/h 50 Hz2.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 15Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
SCREWLINE SP 630Saugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 6SCREWLINE SP 630 FSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 11Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
SOGEVAC SV 10 BSaugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 16 DSaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 13SOGEVAC SV 16 DISaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 4
SOGEVAC SV 16 BSaugvermögen 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 7
SOGEVAC SV 25 BSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 25 DSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 15
SOGEVAC SV 28 BISaugvermögen 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 40 BI FCSaugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 55 BI²Saugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 4
SOGEVAC SV 40 BSaugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 25
SOGEVAC SV 40 BISaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVarianten 3SOGEVAC SV 65 BI FCSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 2SOGEVAC SV 70 BI²Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 2
SOGEVAC SV 65 BSaugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 22
SOGEVAC SV 100 BSaugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 31SOGEVAC SV 120 BI FCSaugvermögen 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 120 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 220 BSaugvermögen 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 8
SOGEVAC SV 300 BSaugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 45
SOGEVAC SV 320 BSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 570 BSaugvermögen 470 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 630 BSaugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 34
SOGEVAC SV 750 BSaugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 15Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
TRIVAC D 2,5 ESaugvermögen 2,7 m³/h 50 Hz3,3 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 – 0,29 kW 50 Hz0,3 – 0,31 kW 60 HzVarianten 3
TRIVAC D 4 BSaugvermögen 4,2 m³/h 50 Hz5 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 4 TSaugvermögen 4,3 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,57 kW 50 Hz0,25 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 5 LSaugvermögen 5,1 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 8 TSaugvermögen 8,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,37 – 0,66 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 8 BSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,57 kW 50 Hz0,44 – 0,66 kW 60 HzVarianten 3TRIVAC D 12 LSaugvermögen 12 m³/h 50 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 HzVarianten 2TRIVAC D 16 TSaugvermögen 16,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,55 – 0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 16 BSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 6
TRIVAC D 16 BCSSaugvermögen 16,5 m³/h 50 Hz19,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 25 BSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 0,75 – 0,9 kW 50 Hz0,75 – 0,9 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 25 BCSSaugvermögen 25,7 m³/h 50 Hz30,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 30 TSaugvermögen 30,2 m³/h 50 HzEnddruck 5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,6 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
TRIVAC D 40 BCSSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 40 LSaugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,3 – 1,5 kW 60 HzVarianten 4TRIVAC D 63 LSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 – 2,2 kW 50 Hz1,8 – 2,2 kW 60 HzVarianten 4
TRIVAC D 65 BSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1
TRIVAC D 65 BCSSaugvermögen 65 m³/h 50 Hz78 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2TRIVAC D 90 LSaugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz2,6 – 3 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
A 124 HSaugvermögen 95 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten A 204 H/XSaugvermögen 130 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten A 604 HSaugvermögen 480 m³/h 50 Hz560 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 H/XSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1204 HSaugvermögen 1.050 m³/h 50 Hz1.150 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 H/XSaugvermögen 1.100 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 H/XSaugvermögen 1.650 m³/h 50 Hz1.700 m³/h 60 HzEnddruck 8 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 1504 XNSaugvermögen 1.100 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 1804 XNSaugvermögen 1.600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 H/XSaugvermögen 3.000 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 3004 XNSaugvermögen 2.900 m³/h 60 HzEnddruck 4 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten A 804 XNSaugvermögen 600 m³/h 60 HzEnddruck 0,0145 mbarMotornennleistung Varianten Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle
A 100 LSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 0,012 mbarMotornennleistung Varianten 8A 100 L ESSaugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 3A 200 LSaugvermögen 200 m³/h 50 HzEnddruck 0,013 mbarMotornennleistung Varianten 5Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
ACP 15Saugvermögen 14 m³/h 50 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 9ACP 28Saugvermögen 27 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 14ACP 40Saugvermögen 37 m³/h 50 HzEnddruck 0,04 mbarMotornennleistung Varianten 15ACP 90Saugvermögen 88 m³/h 50 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
DuoVane 1.6Saugvermögen 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 9DuoVane 3Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 10DuoVane 6Saugvermögen 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 12Saugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 18Saugvermögen 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 2DuoVane 22Saugvermögen 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 5DuoVane 30Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 36Saugvermögen 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 11DuoVane 70Saugvermögen 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 13DuoVane 95Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1DuoVane 135Saugvermögen 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVarianten 3DuoVane 300Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
HiLobe 1002Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 1004Saugvermögen 1.050 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1302Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 1304Saugvermögen 1.300 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 2,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2104Saugvermögen 2.100 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 2703Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 2704Saugvermögen 2.700 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 3,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4504Saugvermögen 4.440 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 4503Saugvermögen 4.500 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 5,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6203Saugvermögen 6.200 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 6204Saugvermögen 6.220 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 HzVarianten 2HiLobe 8103Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 8104Saugvermögen 8.120 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 9 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11003Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 11004Saugvermögen 10.830 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 12 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14003Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1HiLobe 14004Saugvermögen 13.540 m³/h 50 HzEnddruck Motornennleistung 15 kW 50 HzVarianten 1Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
TORRI BD 0100 ASaugvermögen 100 m³/h 50 Hz100 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0300 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 0600 ASaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 4,4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten 1TORRI BD 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten Kein Modell entspricht diesen Filtern.
Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle
Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle
Busch MINK Serie 32 Modelle
Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle
Busch R5 Serie 58 Modelle
Edwards E2M Serie 9 Modelle
Edwards E2S Serie 3 Modelle
Edwards EDS Serie 3 Modelle
Edwards EH Serie 5 Modelle
Edwards EXS Serie 11 Modelle
Edwards GXS Serie 10 Modelle
Edwards nES Serie 8 Modelle
Edwards nXRi Serie 5 Modelle
Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle
Leybold DURADRY Serie 3 Modelle
Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle
Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle
Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle
Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle
Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle
Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle
Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle
Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle
Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle
Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.
Auswahl
Vakuumpumpe für Beschichtung und Dünnschicht auswählen
Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.
Prozessdruck und Enddruck
Der Prozess bestimmt den Druck: Leybold nennt für optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar. Für Hochvakuum reicht die Vorpumpe allein nicht: Edwards nennt für PVD Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe, Leybold nennt TURBOVAC und COOLVAC neben den Vorpumpen.
Taktzeit der Schleusen
Inline-Anlagen leben vom Schleusentakt: Leybold nennt für Glas 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solarzellen kurze Takte, Edwards schnelle Pumpzyklen bei der Glasbeschichtung. Das Saugvermögen muss dazu passen – Leybold nennt RUVAC mit 250–7000 m³/h und SOGEVAC mit 16–750 m³/h, Pfeiffer Vacuum für ALD 1800–4500 m³/h.
Prozessgase und Nebenprodukte
Bei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig. Für die Plasmabehandlung nennt Leybold PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2 und DURADRY; Edwards nennt dafür Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi. Welche Gase anfallen, entscheidet über Dichtungen, Öl und Ausführung der Pumpe.
Chargen- oder Inline-Anlage
Leybold nennt optische Beschichtungen in Chargenanlagen, Glas-, Display- und Solarbeschichtung in Inline-Anlagen mit Schleusen; Pfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD in Batch- und Inline-Anlagen. Chargenanlagen werden je Charge auf Prozessdruck gebracht, Inline-Anlagen halten den Prozessdruck und pumpen die Schleusen im Takt.
Häufige Fragen
Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht
Welche Vakuumpumpe eignet sich für PVD-Beschichtung?
Für Verschleißschutz und dekorative Schichten per PVD nennt Leybold DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC (außerdem VARODRY, SCREWLINE, POWER BOOST) bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum mit Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe.
Wie viel Vakuum braucht eine Beschichtungsanlage?
Leybold nennt für optische Beschichtungen 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar. Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar und MBE bei etwa 10⁻¹¹ hPa. Die Vorpumpe schafft den Grobvakuum-Teil; für Hochvakuum kommt laut Edwards und Leybold eine Turbo- oder Kryopumpe dazu.
Welche Vorpumpe für die optische Beschichtung?
Leybold nennt für entspiegelnde und kratzfeste Mehrlagenschichten in Chargenanlagen TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC, SCREWLINE und VARODRY bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für Antireflex-, Spiegel- und Filterschichten ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA.
Welche Vakuumpumpe für die Glasbeschichtung?
Leybold nennt für Architektur- und Automobilglas SCREWLINE, POWER BOOST, DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC; die Vorpumpen takten die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline ACP und HiLobe, Edwards schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS, Busch R5, COBRA und PANDA/PUMA.
Welche Vakuumpumpe für CVD, PECVD und ALD?
Edwards nennt EXS für CVD und ALD ab 10⁻³ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt A4 und A4H für PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE, ALD-Anlagen mit 1800–4500 m³/h bei 10⁻¹ bis 5 mbar, und weist auf korrosive oder pulvrige Nebenprodukte hin. Busch nennt COBRA DS für CVD/PECVD, Leybold DRYVAC und RUVAC für CVD bei HJT-Solarzellen.
Welche Vakuumpumpe für Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen?
Pfeiffer Vacuum nennt harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen, etwa für Stanzen und Druckguss, mit DuoVane, HiLobe und HiScroll (außerdem COMBI). Leybold nennt harte Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen mit DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC, Busch die Verschleißschutzbeschichtung mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.
Ölfrei oder ölgeschmiert für die Vakuumbeschichtung?
Die Hersteller nennen beides: Busch führt die ölgeschmierten Drehschieberpumpen R5 neben den trockenen COBRA, MINK und PANDA/PUMA, Leybold SOGEVAC neben DRYVAC, Edwards E2M neben den trockenen Schraubenpumpen EDS, EXS und GXS. Pfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD, Edwards den Dampf, der das Substrat rein erreichen muss – je näher die Pumpe am Prozess, desto eher fällt die Wahl auf eine trockene Ausführung.
Wie schnell muss die Schleuse einer Beschichtungsanlage evakuiert werden?
Leybold nennt für die Glasbeschichtung 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solarzellen Inline-Anlagen mit kurzen Takten. Dafür nennt Leybold Wälzkolbenpumpen RUVAC mit 250–7000 m³/h vor DRYVAC oder SOGEVAC; Edwards nennt schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS.
Welche Vakuumpumpe für die Plasmabehandlung?
Leybold nennt für Plasma zum Beschichten, Reinigen, Aktivieren und Ätzen PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC. Edwards nennt für die Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi.
Welche Vakuumpumpe für Rolle-zu-Rolle-Beschichtung?
Leybold nennt für flexible Bahnen per PVD, PECVD oder Verdampfen einen Druck von 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar und als Pumpen Turbo-, Kryo-, ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen sowie Wälzkolbenpumpen, ohne eine Serie zu bestimmen. Edwards nennt EXS für Bahnbeschichtung und Plasmaspritzen.
Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?
Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.
Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?
Nennen Sie uns die Anwendung, das Medium und die Zahl der Maschinen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.
