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Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht

Dünne Schichten entstehen im Vakuum: Beim PVD-Sputtern und Verdampfen, bei CVD, PECVD und ALD und in der Plasmabehandlung wird die Kammer erst evakuiert und dann auf Prozessdruck gehalten – laut Leybold bei optischen Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, bei Verschleißschutz und dekorativen Schichten bis 10⁻⁶ mbar. In Glas- und Display-Anlagen takten die Vorpumpen zusätzlich die Schleusen. Hier sehen Sie, welche Serien die Hersteller selbst für diese Aufgaben nennen – 368 Modelle von 4 Herstellern.

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Funktionsprinzip einer ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpe – die Technologie mit den meisten Modellen auf dieser Seite. Zur Technologieseite

Kurz gesagt

Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht – das Wichtigste in Kürze

  • ProzessdruckLeybold nennt für optische Beschichtungen 10⁻² bis 10⁻³ mbar und für Verschleißschutz und dekorative Schichten 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar.
  • SchleusentaktBei der Architektur- und Automobilglasbeschichtung takten die Vorpumpen laut Leybold die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar; Edwards nennt für die Glasbeschichtung schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS.
  • SaugvermögenFür die Beschichtung nennt Leybold Wälzkolbenpumpen RUVAC mit 250–7000 m³/h und Drehschieberpumpen SOGEVAC mit 16–750 m³/h; Pfeiffer Vacuum nennt für ALD-Anlagen 1800–4500 m³/h.
  • Sauberes VakuumPfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD in Batch- und Inline-Anlagen, Busch die Beschichtung in einer sauberen Vakuumkammer, Edwards den Dampf, der das Substrat rein erreicht – bei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig.

Anwendungen

Wofür Beschichtung und Dünnschicht Vakuumpumpen braucht

Für jede Anwendung: was das Vakuum leistet und welche Serien die Hersteller dafür nennen. Die Angaben stammen von den Seiten der Hersteller.

PVD: Verschleißschutz und dekorative Schichten

Beim PVD werden Werkstoffe verdampft oder zerstäubt und kondensieren im Hochvakuum auf dem Werkstück. Leybold nennt harte und dekorative Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar mit DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC als Vorpumpen (außerdem VARODRY, SCREWLINE und POWER BOOST); Pfeiffer Vacuum nennt harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen für Stanzen und Druckguss sowie PVD-Farbschichten wie TiN und ZrN mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll; Busch nennt Verschleißschutz und dekorative Beschichtung mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum mit Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe. Leybold und Busch nennen als weiteres Beispiel Schutzschichten auf Bipolarplatten für Brennstoffzellen und Elektrolyseure.

Mehr zu PVD: Verschleißschutz und dekorative Schichten →

Optische Beschichtung

Entspiegelnde und kratzfeste Mehrlagenschichten entstehen laut Leybold per PVD oder Verdampfen in Chargenanlagen bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar; genannt werden TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC und SCREWLINE sowie VARODRY. Pfeiffer Vacuum nennt Antireflex-, Spiegel- und Filterschichten mit ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch die optische Beschichtung mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards nennt Touch-, Antireflex- und Kratzschutzschichten auf Mobilgeräten mit trockenen Schraubenpumpen und Boostern.

Glasbeschichtung: Architektur-, Automobil- und Low-E-Glas

Mehrlagige Schichten werden laut Leybold per PVD auf Architektur- und Automobilglas gesputtert; die Vorpumpen takten die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, der Prozess läuft bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Eine Low-E-Schicht reflektiert laut Leybold Sonnenenergie bei voller Transparenz. Pfeiffer Vacuum nennt Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline mit ACP und HiLobe, Edwards schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS, Busch die Glasbeschichtung mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.

CVD, PECVD und ALD

Bei CVD reagieren Gase am Substrat, bei ALD Lage für Lage. Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar mit EXS; Pfeiffer Vacuum nennt PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE mit A4 und A4H, ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar mit 1800–4500 m³/h – die Nebenprodukte sind korrosiv oder pulvrig. Busch nennt CVD/PECVD, etwa Antireflexschichten auf Solarzellen, mit COBRA DS; Leybold nennt CVD bei HJT-Solarzellen in Inline-Anlagen mit kurzen Takten mit DRYVAC und RUVAC und für MBE und ALD die Reinheit bei der Schichtbildung.

Rolle-zu-Rolle, Bahn- und Displaybeschichtung

Flexible Bahnen werden laut Leybold per PVD, PECVD oder Verdampfen bei 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar beschichtet; für Displays (LCD, OLED) nennt Leybold Schleusen mit sehr kurzen Pumpzyklen. Als Pumpen nennt Leybold dafür Turbo-, Kryo-, ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen sowie Wälzkolbenpumpen, ohne eine Serie zu bestimmen. Edwards nennt Bahnbeschichtung und Plasmaspritzen für EXS.

  • Leyboldnennt Pumpenarten, keine Serie
  • EdwardsEXS

Plasmabehandlung und Parylen

Prozessgase werden laut Leybold im Vakuum zu Plasma, das beschichtet, reinigt, aktiviert oder ätzt; genannt werden PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC. Edwards nennt die Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung und -reinigung mit Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi. Parylen wird laut Leybold per Pyrolyse im Vakuum als porenfreier Film aufgebracht, dafür nennt Leybold NOVADRY, NOVADRY NDi, SCREWLINE SP und Wälzkolbenpumpen.

Labor- und Versuchsbeschichtung

Für schnelle F&E-Versuche mit Verdampfen, Sputtern und ALD nennt Pfeiffer Vacuum A4, ACP, DuoVane, HiScroll und TORRI. Edwards nennt für experimentelle Beschichtungen Drehschieberpumpen und reproduzierbare Bedingungen; Busch nennt die Beschichtung in Analytik und F&E mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.

Hersteller und Serien

4 Hersteller, 29 Serien für Beschichtung und Dünnschicht

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Branche nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 368 Modelle für Beschichtung und Dünnschicht im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards EDS Serie 3 Modelle

Edwards EH Serie 5 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GXS Serie 10 Modelle

Edwards nES Serie 8 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold DURADRY Serie 3 Modelle

Leybold NOVADRY Serie 4 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Auswahl

Vakuumpumpe für Beschichtung und Dünnschicht auswählen

Was die Hersteller für den Einsatz in dieser Branche hervorheben.

Prozessdruck und Enddruck

Der Prozess bestimmt den Druck: Leybold nennt für optische Schichten 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar; Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar. Für Hochvakuum reicht die Vorpumpe allein nicht: Edwards nennt für PVD Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe, Leybold nennt TURBOVAC und COOLVAC neben den Vorpumpen.

Taktzeit der Schleusen

Inline-Anlagen leben vom Schleusentakt: Leybold nennt für Glas 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solarzellen kurze Takte, Edwards schnelle Pumpzyklen bei der Glasbeschichtung. Das Saugvermögen muss dazu passen – Leybold nennt RUVAC mit 250–7000 m³/h und SOGEVAC mit 16–750 m³/h, Pfeiffer Vacuum für ALD 1800–4500 m³/h.

Prozessgase und Nebenprodukte

Bei CVD und ALD sind die Nebenprodukte laut Pfeiffer Vacuum korrosiv oder pulvrig. Für die Plasmabehandlung nennt Leybold PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2 und DURADRY; Edwards nennt dafür Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi. Welche Gase anfallen, entscheidet über Dichtungen, Öl und Ausführung der Pumpe.

Chargen- oder Inline-Anlage

Leybold nennt optische Beschichtungen in Chargenanlagen, Glas-, Display- und Solarbeschichtung in Inline-Anlagen mit Schleusen; Pfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD in Batch- und Inline-Anlagen. Chargenanlagen werden je Charge auf Prozessdruck gebracht, Inline-Anlagen halten den Prozessdruck und pumpen die Schleusen im Takt.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Vakuumpumpen für Beschichtung und Dünnschicht

Welche Vakuumpumpe eignet sich für PVD-Beschichtung?

Für Verschleißschutz und dekorative Schichten per PVD nennt Leybold DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC (außerdem VARODRY, SCREWLINE, POWER BOOST) bei 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA. Edwards beschreibt PVD als Verdampfen und Kondensieren im Hochvakuum mit Vorpumpe plus Turbo- oder Kryopumpe.

Wie viel Vakuum braucht eine Beschichtungsanlage?

Leybold nennt für optische Beschichtungen 10⁻² bis 10⁻³ mbar, für Verschleißschutz und Dekor 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar und für Rolle-zu-Rolle 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar. Edwards nennt CVD und ALD ab 10⁻³ mbar, Pfeiffer Vacuum ALD bei 10⁻¹ bis 5 mbar und MBE bei etwa 10⁻¹¹ hPa. Die Vorpumpe schafft den Grobvakuum-Teil; für Hochvakuum kommt laut Edwards und Leybold eine Turbo- oder Kryopumpe dazu.

Welche Vorpumpe für die optische Beschichtung?

Leybold nennt für entspiegelnde und kratzfeste Mehrlagenschichten in Chargenanlagen TRIVAC, SOGEVAC, DRYVAC, RUVAC, SCREWLINE und VARODRY bei 10⁻² bis 10⁻³ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für Antireflex-, Spiegel- und Filterschichten ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll, Busch R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA.

Welche Vakuumpumpe für die Glasbeschichtung?

Leybold nennt für Architektur- und Automobilglas SCREWLINE, POWER BOOST, DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC; die Vorpumpen takten die Schleusen mit 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt für Low-E-, Sonnenschutz- und AR-Schichten inline ACP und HiLobe, Edwards schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS, Busch R5, COBRA und PANDA/PUMA.

Welche Vakuumpumpe für CVD, PECVD und ALD?

Edwards nennt EXS für CVD und ALD ab 10⁻³ mbar. Pfeiffer Vacuum nennt A4 und A4H für PECVD/SACVD, ALD, LPCVD/Diffusion und MBE, ALD-Anlagen mit 1800–4500 m³/h bei 10⁻¹ bis 5 mbar, und weist auf korrosive oder pulvrige Nebenprodukte hin. Busch nennt COBRA DS für CVD/PECVD, Leybold DRYVAC und RUVAC für CVD bei HJT-Solarzellen.

Welche Vakuumpumpe für Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen?

Pfeiffer Vacuum nennt harte Schichten wie TiN und DLC auf Werkzeugen, etwa für Stanzen und Druckguss, mit DuoVane, HiLobe und HiScroll (außerdem COMBI). Leybold nennt harte Dünnschichten auf Werkzeugen, Metall- und Kunststoffteilen mit DRYVAC, SOGEVAC und RUVAC, Busch die Verschleißschutzbeschichtung mit R5, COBRA und PANDA/PUMA.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Vakuumbeschichtung?

Die Hersteller nennen beides: Busch führt die ölgeschmierten Drehschieberpumpen R5 neben den trockenen COBRA, MINK und PANDA/PUMA, Leybold SOGEVAC neben DRYVAC, Edwards E2M neben den trockenen Schraubenpumpen EDS, EXS und GXS. Pfeiffer Vacuum nennt sauberes Vakuum für PVD, CVD/PECVD und ALD, Edwards den Dampf, der das Substrat rein erreichen muss – je näher die Pumpe am Prozess, desto eher fällt die Wahl auf eine trockene Ausführung.

Wie schnell muss die Schleuse einer Beschichtungsanlage evakuiert werden?

Leybold nennt für die Glasbeschichtung 2–3 Zyklen pro Minute von 1000 auf 1 mbar, für Displays sehr kurze Pumpzyklen und für Solarzellen Inline-Anlagen mit kurzen Takten. Dafür nennt Leybold Wälzkolbenpumpen RUVAC mit 250–7000 m³/h vor DRYVAC oder SOGEVAC; Edwards nennt schnelle Pumpzyklen mit EDS und EXS.

Welche Vakuumpumpe für die Plasmabehandlung?

Leybold nennt für Plasma zum Beschichten, Reinigen, Aktivieren und Ätzen PFPE-Ausführungen von TRIVAC B und RUVAC, VARODRY HD O2, DURADRY und DRYVAC. Edwards nennt für die Plasmazündung zur Oberflächenaktivierung Schraube plus Roots, E2S, E2M FX und nXRi.

Welche Vakuumpumpe für Rolle-zu-Rolle-Beschichtung?

Leybold nennt für flexible Bahnen per PVD, PECVD oder Verdampfen einen Druck von 10⁻¹ bis 10⁻³ mbar und als Pumpen Turbo-, Kryo-, ölgedichtete, Diffusions- und trockene Industriepumpen sowie Wälzkolbenpumpen, ohne eine Serie zu bestimmen. Edwards nennt EXS für Bahnbeschichtung und Plasmaspritzen.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

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