COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/hEnddruck 0,03 mbar
COBRA BC 0601 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Die Busch COBRA BC 0601 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 550 m³/h (50 Hz) bzw. 640 m³/h (60 Hz) und einem Enddruck von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Saugvermögen 550 m³/h 50 Hz 640 m³/h 60 Hz
- Enddruck 3 × 10-3 mbar
- Motornennleistung 3 kW 50 Hz 3,3 kW 60 Hz
| Variante | Teilenummer |
|---|---|
| Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt) | 1361800493 |
Busch COBRA BC 0601 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA BC 0601 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 550 m³/h (50 Hz) bzw. 640 m³/h (60 Hz), der Enddruck 0,003 mbar. Motornennleistung 3 kW (50 Hz) bzw. 3,3 kW (60 Hz).Merkmale
- Leistungsstark: Schraubendesign in Glockenbauweise mit patentierten selbstausgleichenden Schrauben und integriertem Vakuum-Booster; für kalte Atomlagenabscheidung, Schleusen- und Transferkammern, Metrologie, Lithografie, PVD, schnelles thermisches Ausheilen (RTA) sowie Ätzprozesse (Oxid, Silizium, Metall)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Typische Anwendungen
Busch nennt: Halbleiter (Strippen/Veraschung, PVD, Poly-Silizium-Ätzen u. a.).Ausführungen der Busch COBRA BC 0601 G
Die 1 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Beratung und Service
Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.| Saugvermögen 50Hz | 550 |
|---|---|
| Saugvermögen 60Hz | 640 |
| Enddruck | 3 × 10-3 |
| Motornennleistung 50Hz | 3 |
| Motornennleistung 60Hz | 3,3 |
| Gewicht | 320 |
| Länge | 90,5 |
| Breite | 35,4 |
| Höhe | 66 |
| Anschlussflansch Eingang | DN 63 ISO-K |
| Anschlussflansch Ausgang | DN 40 ISO-KF |
| Schallpegel | 60 dB(A) |
| Kühlungsart | Wasserkühlung |
| Öltyp | Ölfrei |
Zusätzliche technische Daten
| Technische Daten | Wert |
|---|---|
| Nennsaugvermögen | 550 m³/h (50 Hz) / 640 m³/h (60 Hz) |
| Enddruck | 0,003 mbar |
| Motornennleistung Vorpumpe | 1,5 kW |
| Motornennleistung Vakuum-Booster | 1,5 kW (50 Hz) / 1,8 kW (60 Hz) |
| Nenndrehzahl Vorpumpe | 3000 min⁻¹ |
| Nenndrehzahl Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Leistungsaufnahme am Enddruck | 1,25 kW |
| Leistungsaufnahme im Leerlauf | 1,35 kW |
| Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB) | 60 dB(A) |
| Wasserverbrauch | min. 3,0 – 4,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 70 l/min |
| Abmessungen (L × B × H) | 905 × 354 × 660 mm |
| Gewicht (ca.) | 320 kg |
| Gaseinlass | DN 63 ISO-K |
| Gasauslass | DN 40 ISO-KF |
COBRA DS 0080 GSaugvermögen 70 m³/hEnddruck 0,03 mbarCOBRA BA 0100 CSaugvermögen 85 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA BC 0101 GSaugvermögen 90 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA DS 0160 GSaugvermögen 140 m³/hEnddruck 0,03 mbarCOBRA DS 0700 GSaugvermögen 500 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 0600 ESaugvermögen 600 m³/hEnddruck 0,01 mbarCOBRA DS 1000 GSaugvermögen 775 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GSaugvermögen 870 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 ASaugvermögen 1.200 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GSaugvermögen 1.365 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 ASaugvermögen 1.700 m³/hEnddruck 3 × 10-3 mbar