Anwendung

Vakuumpumpen für Wärmebehandlung und Vakuumöfen

Bei der Wärmebehandlung im Vakuumofen werden Metallteile ohne Luft erwärmt, gehalten und abgekühlt – zum Härten, Anlassen, Glühen, Aufkohlen oder Nitrieren. Das Vakuum nimmt der Ofenatmosphäre den Sauerstoff: Laut Leybold verhindert die luftfreie Ofenatmosphäre die Oxidation, Pfeiffer Vacuum nennt eine sauerstofffreie Atmosphäre und gleichmäßige Erwärmung. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 359 Modelle von 5 Herstellern.

359 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 359Modelle
  • 29Serien
  • 5Hersteller
  • 10⁻²–10⁻⁵ hPaVakuumwärmebehandlung (Pfeiffer Vacuum)
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Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Wärmebehandlung und Vakuumöfen – das Wichtigste in Kürze

  • OfenatmosphäreLaut Leybold verhindert die luftfreie Ofenatmosphäre die Oxidation; Busch nennt eine sauerstoffarme Ofenatmosphäre, zum Beispiel beim Einsatzhärten, Edwards eine sauerstofffreie Umgebung.
  • TemperaturenBusch nennt für die Heißzone meist 1.200 °C, bei Sonderverfahren über 2.000 °C. Pfeiffer Vacuum nennt je nach Verfahren 150–650 °C beim Anlassen bis 600–1300 °C bei der Vakuumwärmebehandlung.
  • DruckbereichePfeiffer Vacuum nennt für das Anlassen 10 bis 10⁻³ hPa, für das Härten etwa 10⁻³ hPa, für das Niederdruckaufkohlen 1 bis 10⁻² hPa und für das Plasmanitrieren etwa 10⁻² bis 10⁻³ hPa.
  • Serien je VerfahrenLeybold ordnet den Verfahren eigene Serien zu: DRYVAC und SOGEVAC für Nitrieren und Härten, DRYVAC mit RUVAC WH/WSU und SCREWLINE für das Aufkohlen, SOGEVAC und TRIVAC mit RUVAC für das Tempern.
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  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Wärmebehandlung und Vakuumöfen

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. EvakuierenNach dem Beschicken wird der Ofen abgepumpt, bevor die Heizung startet. So bleibt die Ofenatmosphäre laut Leybold luftfrei und die Charge oxidiert nicht.
  2. ErwärmenDie Charge wird auf Prozesstemperatur gebracht und gehalten – Busch nennt für die Heißzone meist 1.200 °C. Beim Aufkohlen oder Nitrieren wird dabei Prozessgas zugeführt; Pfeiffer Vacuum nennt für das Niederdruckaufkohlen 1 bis 10⁻² hPa bei 900–1050 °C.
  3. AbkühlenBeim Vakuumhärten folgt laut Leybold das schnelle Abschrecken, beim Anlassen oder Glühen kühlt die Charge kontrolliert ab. Danach wird der Ofen belüftet und entladen.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Wärmebehandlung und Vakuumöfen braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Pfeiffer Vacuum nennt je Verfahren einen Druckbereich: Anlassen 10 bis 10⁻³ hPa, Normalglühen 10⁻¹ bis 10⁻² hPa, Niederdruckaufkohlen 1 bis 10⁻² hPa, Plasmanitrieren etwa 10⁻² bis 10⁻³ hPa, Härten etwa 10⁻³ hPa, Vakuumwärmebehandlung 10⁻² bis 10⁻⁵ hPa.

Gaslast und Kondensat

Leybold weist beim Vakuum- und Plasmanitrieren auf eine hohe Gaslast rund um die Uhr hin und nennt dafür SOGEVAC und DRYVAC. Beim Vakuumaufkohlen kondensieren kohlenstoffhaltige Nebenprodukte leicht; hier nennt Leybold DRYVAC mit RUVAC WH/WSU und SCREWLINE.

Temperaturen

Busch nennt für die Heißzone meist 1.200 °C, bei Sonderverfahren über 2.000 °C. Pfeiffer Vacuum nennt 150–650 °C beim Anlassen, 800–1000 °C beim Härten, 900–1050 °C beim Niederdruckaufkohlen und 600–1300 °C bei der Vakuumwärmebehandlung.

Welche Pumpen

Leybold nennt SOGEVAC, TRIVAC, RUVAC, DRYVAC und SCREWLINE sowie die Familie VARODRY; Edwards Drehschieber- und Trockenschrauben-Vakuumpumpen sowie EH, Stokes, GV und E2S; Atlas Copco DWS und GLS, für Industrieöfen GVD; Busch R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA; Pfeiffer Vacuum ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll und UnoLine Plus.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Wärmebehandlung und Vakuumöfen nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 359 Modelle für Wärmebehandlung und Vakuumöfen im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS Serie 3 Modelle

DWS 200Saugvermögen 210 m³/h 50 Hz210 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 14
DWS 300Saugvermögen 280 m³/h 50 Hz280 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 14
DWS 500Saugvermögen 460 m³/h 50 Hz460 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung Varianten 7

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle

GLS 250Saugvermögen 234 m³/h 50 Hz234 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
GLS 500Saugvermögen 442 m³/h 50 Hz442 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1
GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1
GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1
GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2
GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards EH Serie 5 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Edwards GV Serie 2 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards Stokes Serie 4 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A4 Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum TORRI Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum UnoLine Plus Serie 1 Modell

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Wärmebehandlung und Vakuumöfen nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Metallurgie und Wärmebehandlung

Busch, Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum führen die Wärmebehandlung unter Metallurgie: Härten, Anlassen, Glühen, Aufkohlen und Nitrieren im Vakuumofen – laut Leybold in luftfreier Atmosphäre, die Oxidation verhindert.

Vakuum in Metallurgie und Wärmebehandlung →

Automobil und Transport

Busch nennt für Automobil und Transport die sauerstoffarme Ofenatmosphäre, zum Beispiel beim Einsatzhärten, mit R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA; Pfeiffer Vacuum führt die Wärmebehandlung ebenfalls in dieser Branche auf.

Vakuum in Automobil und Transport →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum führt die Wärmebehandlung auch unter Halbleiter, Elektronik und Display, ohne sie dort näher zu beschreiben.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Wärmebehandlung und Vakuumöfen

Wie funktioniert die Wärmebehandlung im Vakuumofen?

Der Ofen wird nach dem Beschicken evakuiert, dann wird die Charge erwärmt, gehalten und abgekühlt. Laut Leybold verhindert die luftfreie Ofenatmosphäre die Oxidation; Pfeiffer Vacuum nennt eine sauerstofffreie Atmosphäre und gleichmäßige Erwärmung. Busch beschreibt das Verfahren als Ändern der Materialeigenschaften im Vakuumofen bei hoher Temperatur – meist 1.200 °C in der Heißzone.

Wie viel Vakuum braucht ein Vakuumofen?

Das hängt vom Verfahren ab. Pfeiffer Vacuum nennt für das Anlassen 10 bis 10⁻³ hPa, für das Normalglühen 10⁻¹ bis 10⁻² hPa, für das Niederdruckaufkohlen 1 bis 10⁻² hPa, für das Plasmanitrieren etwa 10⁻² bis 10⁻³ hPa, für das Härten etwa 10⁻³ hPa und für die Vakuumwärmebehandlung 10⁻² bis 10⁻⁵ hPa.

Welche Vakuumpumpe für die Wärmebehandlung?

Leybold nennt SOGEVAC, TRIVAC, RUVAC, DRYVAC und SCREWLINE sowie die Familie VARODRY. Edwards nennt Drehschieber- und Trockenschrauben-Vakuumpumpen sowie EH, Stokes, GV und E2S, für Vakuumöfen nXRi und E2S. Atlas Copco nennt DWS und GLS, für Industrieöfen GVD und für Plasmaverfahren DWS VSD+. Busch nennt R5, MINK, COBRA und PANDA/PUMA, Pfeiffer Vacuum ACP, DuoVane, HiLobe, HiScroll und UnoLine Plus, für das Glühen auch A4, TORRI und COBRA BC/DS.

Ölfrei oder ölgeschmiert für Vakuumöfen?

Die Hersteller nennen beide Bauarten. Edwards führt Drehschieber- und Trockenschrauben-Vakuumpumpen, Atlas Copco die ölgeschmierten GVD und GLS ebenso wie die trockenen Schrauben-Vakuumpumpen DWS. Leybold nennt SOGEVAC und TRIVAC neben den trockenen DRYVAC und SCREWLINE; für das Vakuumaufkohlen, bei dem kohlenstoffhaltige Nebenprodukte leicht kondensieren, nennt Leybold DRYVAC mit RUVAC WH/WSU und SCREWLINE.

Welche Vakuumpumpe für das Nitrieren und Plasmanitrieren?

Leybold nennt für das Vakuum- und Plasmanitrieren SOGEVAC und DRYVAC und weist auf die hohe Gaslast rund um die Uhr hin; das Verfahren erzeugt eine Nitridschicht. Pfeiffer Vacuum nennt für das Plasmanitrieren etwa 10⁻² bis 10⁻³ hPa – das Vakuum ermöglicht das Plasma. Edwards führt EXS für Nitrieren und Plasmanitrieren, Busch COBRA und PANDA/PUMA für das Nitrieren und Atlas Copco DWS VSD+ für Plasmaverfahren, jeweils ohne nähere Beschreibung.

Welche Vakuumpumpe für das Aufkohlen?

Leybold nennt für die Vakuumaufkohlung DRYVAC mit RUVAC WH/WSU und SCREWLINE und weist darauf hin, dass kohlenstoffhaltige Nebenprodukte leicht kondensieren. Pfeiffer Vacuum nennt für das Niederdruckaufkohlen (LPC) 1 bis 10⁻² hPa bei 900–1050 °C für eine kontrollierte Kohlenstoffdiffusion. Busch führt die Aufkohlung mit COBRA und PANDA/PUMA, Edwards das Aufkohlen mit EXS, beide ohne nähere Beschreibung.

Was passiert beim Vakuumhärten?

Laut Leybold wird die Charge erwärmt und schnell abgeschreckt; genannt werden DRYVAC und SOGEVAC. Pfeiffer Vacuum nennt für das Härten etwa 10⁻³ hPa bei 800–1000 °C und eine saubere Atmosphäre bei hoher Temperatur. Busch nennt das Einsatzhärten als Beispiel für die sauerstoffarme Ofenatmosphäre.

Warum oxidiert das Werkstück im Vakuumofen nicht?

Weil kaum Sauerstoff im Ofen ist: Das Vakuum entfernt die Luft, bevor die Heizung startet. Leybold beschreibt die luftfreie Ofenatmosphäre, die Oxidation verhindert, Edwards die sauerstofffreie Umgebung; Pfeiffer Vacuum nennt für das Anlassen eine oxidfreie, reproduzierbare Erwärmung und für das Normalglühen weniger Oxidation und gleichmäßige Wärme.

Welche Temperaturen erreicht ein Vakuumofen?

Busch nennt für die Heißzone meist 1.200 °C, bei Sonderverfahren über 2.000 °C. Pfeiffer Vacuum nennt 150–650 °C für das Anlassen, 800–1000 °C für das Härten, 900–1050 °C für das Niederdruckaufkohlen und 600–1300 °C für die Vakuumwärmebehandlung, etwa beim Hartlöten, Sintern oder in der Kristallzucht.

Was tun, wenn Nebenprodukte aus dem Ofen die Vakuumpumpe belasten?

Leybold weist beim Vakuumaufkohlen darauf hin, dass kohlenstoffhaltige Nebenprodukte leicht kondensieren, und nennt dafür DRYVAC mit RUVAC WH/WSU sowie SCREWLINE; beim Nitrieren rechnet Leybold mit hoher Gaslast rund um die Uhr und nennt SOGEVAC und DRYVAC. Ein Abscheider oder Filter vor der Pumpe hält Staub und Kondensat zurück.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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