Technologie
Scroll-Vakuumpumpen
Zwei ineinandergreifende Spiralen verdichten trocken, ohne Öl im Schöpfraum – für sauberes Vakuum bis in den Feinvakuumbereich. 19 aktuelle Modelle von 3 Herstellern – vergleichbar nach Saugvermögen und Enddruck.
19 Modelle vergleichenSo funktioniert die Technik
- 19Modelle
- 6Serien
- 3Hersteller
- 6 × 10⁻³ mbarniedrigster Enddruck
Punkte berühren: Die Bauteile erklären sich selbst.
Hersteller und Serien
3 Hersteller, 6 Serien
Jede Serie führt zu ihrer Seite mit allen Modellen. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.
Edwards
10 Modelle · 3–100 m³/h
Leybold
5 Modelle · 3–20 m³/h
Pfeiffer Vacuum
4 Modelle · 6,1–43 m³/h
Produktübersicht
Alle 19 Modelle im Vergleich
Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.
Edwards EDO Serie 2 Modelle
Edwards EDO65Saugvermögen 65 m³/h 50 Hz80 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 HzVarianten 4Edwards EDO100Saugvermögen 100 m³/h 50 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 HzVarianten 5Edwards mXDS Serie 2 Modelle
Edwards mXDS3Saugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards mXDS3sSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards nXDS Serie 4 Modelle
Edwards nXDS6iSaugvermögen 6,2 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards nXDS10iSaugvermögen 11,4 m³/h 50 Hz11,4 m³/h 60 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards nXDS15iSaugvermögen 15,1 m³/h 50 Hz15,1 m³/h 60 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards nXDS20iSaugvermögen 22 m³/h 50 Hz22 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 3Edwards XDS Serie 2 Modelle
Edwards XDS35iSaugvermögen 35 m³/h 50 Hz35 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6Edwards XDS46iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 2Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle
SCROLLVAC 3 plusSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,18 – 0,21 kW 50 Hz0,18 – 0,21 kW 60 HzVarianten 8SCROLLVAC 7 plusSaugvermögen 5,1 – 6,1 m³/h 50 Hz6,1 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,26 kW 50 Hz0,26 kW 60 HzVarianten 6
SCROLLVAC 10 plusSaugvermögen 9,1 – 10,6 m³/h 50 Hz10,6 m³/h 60 HzEnddruck 9 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,28 kW 50 Hz0,28 kW 60 HzVarianten 6SCROLLVAC 15 plusSaugvermögen 12,6 – 14,5 m³/h 50 Hz14,5 m³/h 60 HzEnddruck 9 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,3 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 6SCROLLVAC 18 plusSaugvermögen 16,7 – 20 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 0,26 kW 50 Hz0,26 kW 60 HzVarianten 6Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11Kein Modell entspricht diesen Filtern.
Edwards EDO Serie 2 Modelle
Edwards mXDS Serie 2 Modelle
Edwards nXDS Serie 4 Modelle
Edwards XDS Serie 2 Modelle
Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle
Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle
Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen nicht in dieser Übersicht, sondern in seinem Bereich „Auslaufmodelle“ – zum Beispiel unter Auslaufmodelle von Leybold.
Funktionsprinzip
So arbeitet eine Scroll-Vakuumpumpe
Eine Spirale steht fest, die zweite bewegt sich auf einer kleinen Kreisbahn, ohne sich selbst zu drehen. Zwischen den Spiralwänden entstehen sichelförmige Kammern: Sie nehmen außen Gas auf, wandern zur Mitte und werden dabei immer kleiner. In der Mitte verlässt das verdichtete Gas die Spiralen.
Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip. Die Bauarten der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.
- AnsaugenAm Rand öffnet sich zwischen den Spiralen eine Kammer (D) und nimmt Gas vom Einlass (A) auf.
- VerdichtenDie Bewegung der Spirale (C) schließt die Kammer ein und schiebt sie zur Mitte; ihr Volumen nimmt dabei ab.
- AusstoßenIn der Mitte wird das verdichtete Gas durch den Auslass (E) ausgestoßen.
Kennwerte
Die Technik in Zahlen
Die Spannen ergeben sich aus den aktuellen Modellen in unserem Programm.
Saugvermögen (50 Hz)
3 bis 100 m³/hin unserem Programm
Enddruck
6 × 10⁻³ bis 1,5 mbarin unserem Programm
Enddruck im Vergleich (mbar, logarithmisch)
Zum Vergleich: Die ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpen in unserem Programm erreichen 1 × 10⁻³ bis 20 mbar.
Was die Technik ausmacht
Trocken verdichtend
Scroll-Vakuumpumpen arbeiten ohne Öl im Schöpfraum.
Spitzendichtungen
Dichtungen an den Spitzen der Spiralwände (Tip-Seals) dichten die Kammern ab. Sie werden bei der Wartung gewechselt.
Gasballast
Viele Modelle haben einen Gasballast, mit dem die Pumpe auch Wasserdampf bewältigt.
Hermetisch abgedichtet
Bei hermetisch abgedichteten Bauarten kommen die Lager nicht mit dem Prozessgas in Berührung, und kein Lagerschmierstoff gelangt ins Vakuum.
Vorteile
Was für die Technik spricht
- Ölfrei: trockenes Scroll-Prinzip
- Enddrücke bis in den Feinvakuumbereich
- Leiser, vibrationsarmer Lauf
- Kompakte Bauweise
- Geringer Wartungsaufwand
- Gasballast, je nach Ausführung
- Hermetisch abgedichtete Bauarten, je nach Serie
Anwendungen
Wo sie arbeiten
- Forschung und LaborUniversitäten, Forschungseinrichtungen, Laborvakuum
- VorpumpeFür Turbomolekularpumpen
- LecksucheLecksucher, Dichtheitsprüfung
- Saubere ProzesseGefriertrocknung, Vakuumtrocknung, Elektronenstrahlschweißen
- FertigungAufnehmen und Platzieren, Leiterplattenfertigung, Halten und Heben, Vakuumentgasung
- AnlagenbauKleine Anlagenbauer und OEMs
Häufige Fragen
Fragen zu Scroll-Vakuumpumpen
Wie funktioniert eine Scroll-Vakuumpumpe?
Eine feste und eine bewegte Spirale greifen ineinander. Die bewegte Spirale läuft auf einer kleinen Kreisbahn um; dabei entstehen Kammern, die das Gas außen aufnehmen, zur Mitte transportieren und verdichten. Die Zeichnung im Abschnitt Funktionsprinzip zeigt jeden Schritt.
Sind Scroll-Vakuumpumpen ölfrei?
Ja: Sie verdichten trocken, ohne Öl im Schöpfraum. Bei hermetisch abgedichteten Bauarten kommt auch kein Lagerschmierstoff mit dem Vakuum in Berührung.
Welchen Enddruck erreichen Scroll-Vakuumpumpen?
Die Modelle in unserem Programm nennen Enddrücke von 6 × 10⁻³ bis 1,5 mbar – je nach Serie und Größe. In der Produktübersicht grenzt der Filter „Enddruck“ die Auswahl ein.
Von welchen Herstellern führt Ehrler & Beck diese Technologie?
Aktuell von Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum. Die Serien stehen im Abschnitt Hersteller und Serien.
Wie finde ich das passende Modell?
In der Produktübersicht grenzen die Filter die Auswahl nach den Kennwerten der Modelle ein. Für die Auslegung nennen Sie uns am besten das geförderte Gas, den Arbeitsdruck und die benötigte Fördermenge – wir beraten Sie gern.
Was bedeuten die Angaben für 50 Hz und 60 Hz?
Fördermenge und Motornennleistung hängen von der Netzfrequenz ab. Die Übersicht zeigt deshalb beide Werte, wo der Hersteller sie angibt, und die Größenfilter lassen sich zwischen 50 Hz und 60 Hz umschalten.
Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?
Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.
Welches Modell passt zu Ihrem Prozess?
Nennen Sie uns das geförderte Gas, den Arbeitsdruck und die benötigte Fördermenge – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.
