COBRA BC 0601 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA BC 0601 G es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 550 m³/h (50 Hz) o 640 m³/h (60 Hz) y una presión final de 0,003 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz 640 m³/h 60 Hz
Presión final 3 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 3 kW 50 Hz 3,3 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800493

Busch COBRA BC 0601 G – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA BC 0601 G es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 550 m³/h (50 Hz) o 640 m³/h (60 Hz) y la presión final, de 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 3 kW (50 Hz) o 3,3 kW (60 Hz).

Características

Potente: diseño de tornillo en forma de campana con tornillos autoequilibrados patentados y booster de vacío integrado; para deposición de capas atómicas en frío, cámaras de esclusa y de transferencia, metrología, litografía, PVD, recocido térmico rápido (RTA) y procesos de grabado (óxido, silicio, metal)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración directa por agua
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común

Aplicaciones típicas

Busch indica: Semiconductores (decapado/calcinación (stripping/ashing), PVD, grabado de polisilicio, entre otros).

Versiones de la Busch COBRA BC 0601 G

Las 1 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	550
Velocidad de bombeo 60Hz	640
Presión final	3 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	3
Potencia nominal del motor 60Hz	3,3
Peso	320
Longitud	90,5
Anchura	35,4
Altura	66
Brida de conexión de entrada	DN 63 ISO-K
Brida de conexión de salida	DN 40 ISO-KF
Nivel de ruido	60 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	550 m³/h (50 Hz) / 640 m³/h (60 Hz)
Presión final	0,003 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	1,5 kW
Potencia nominal del motor del booster de vacío	1,5 kW (50 Hz) / 1,8 kW (60 Hz)
Velocidad nominal de la bomba previa	3000 min⁻¹
Velocidad nominal del booster de vacío	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Consumo de potencia a presión final	1,25 kW
Consumo de potencia en vacío	1,35 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	60 dB(A)
Consumo de agua	mín. 3,0 – 4,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 70 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	905 × 354 × 660 mm
Peso (aprox.)	320 kg
Entrada de gas	DN 63 ISO-K
Salida de gas	DN 40 ISO-KF