COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbar
COBRA BC 0601 G Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido
Die Busch COBRA BC 0601 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Velocidad de bombeo nominal von 550 m³/h (50 Hz) bzw. 640 m³/h (60 Hz) und einem Presión final von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Velocidad de bombeo 550 m³/h 50 Hz 640 m³/h 60 Hz
- Presión final 3 × 10-3 mbar
- Potencia nominal del motor 3 kW 50 Hz 3,3 kW 60 Hz
| Variante | Número de pieza |
|---|---|
| Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento bajo pedido (seleccionada) | 1361800493 |
Busch COBRA BC 0601 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA BC 0601 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 550 m³/h (50 Hz) bzw. 640 m³/h (60 Hz), der Presión final 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 3 kW (50 Hz) bzw. 3,3 kW (60 Hz).Características
- Leistungsstark: Schraubendesign in Glockenbauweise mit patentierten selbstausgleichenden Schrauben und integriertem Vakuum-Booster; für kalte Atomlagenabscheidung, Schleusen- und Transferkammern, Metrologie, Lithografie, PVD, schnelles thermisches Ausheilen (RTA) sowie Ätzprozesse (Oxid, Silizium, Metall)
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Refrigeración por agua
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen
Aplicaciones típicas
Busch nennt: Halbleiter (Strippen/Veraschung, PVD, Poly-Silizium-Ätzen u. a.).Versiones der Busch COBRA BC 0601 G
Die 1 Versiones unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipamiento; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Asesoramiento y servicio
Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.| Velocidad de bombeo 50Hz | 550 |
|---|---|
| Velocidad de bombeo 60Hz | 640 |
| Presión final | 3 × 10-3 |
| Potencia nominal del motor 50Hz | 3 |
| Potencia nominal del motor 60Hz | 3,3 |
| Peso | 320 |
| Longitud | 90,5 |
| Anchura | 35,4 |
| Altura | 66 |
| Brida de conexión de entrada | DN 63 ISO-K |
| Brida de conexión de salida | DN 40 ISO-KF |
| Nivel de ruido | 60 dB(A) |
| Tipo de refrigeración | Refrigeración por agua |
| Tipo de aceite | Sin aceite |
Datos técnicos adicionales
| Datos técnicos | Valor |
|---|---|
| Velocidad de bombeo nominal | 550 m³/h (50 Hz) / 640 m³/h (60 Hz) |
| Presión final | 0,003 mbar |
| Potencia nominal del motor Vorpumpe | 1,5 kW |
| Potencia nominal del motor Vakuum-Booster | 1,5 kW (50 Hz) / 1,8 kW (60 Hz) |
| Velocidad nominal Vorpumpe | 3000 min⁻¹ |
| Velocidad nominal Vakuum-Booster | 3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz) |
| Consumo de potencia a presión final | 1,25 kW |
| Consumo de potencia en vacío | 1,35 kW |
| Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB) | 60 dB(A) |
| Wasserverbrauch | min. 3,0 – 4,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 70 l/min |
| Dimensiones (L × An × Al) | 905 × 354 × 660 mm |
| Peso (aprox.) | 320 kg |
| Entrada de gas | DN 63 ISO-K |
| Salida de gas | DN 40 ISO-KF |
COBRA DS 0080 GVelocidad de bombeo 70 m³/hPresión final 0,03 mbar
COBRA BA 0100 CVelocidad de bombeo 85 m³/hPresión final 0,01 mbar
COBRA BC 0101 GVelocidad de bombeo 90 m³/hPresión final 0,01 mbar
COBRA DS 0160 GVelocidad de bombeo 140 m³/hPresión final 0,03 mbar
COBRA DS 0700 GVelocidad de bombeo 500 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 0600 EVelocidad de bombeo 600 m³/hPresión final 0,01 mbar
COBRA DS 1000 GVelocidad de bombeo 775 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA BC 1001 GVelocidad de bombeo 870 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA BC 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1200 AVelocidad de bombeo 1.200 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 2000 GVelocidad de bombeo 1.365 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar
COBRA DS 1800 AVelocidad de bombeo 1.700 m³/hPresión final 3 × 10-3 mbar