COBRA BC 1200 A Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA BC 1200 A es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 1200 m³/h y una presión final de 0,003 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

Solicitar presupuesto para este producto Leer más

Velocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz 1.200 m³/h 60 Hz
Presión final 3 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz 5,5 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800409

Busch COBRA BC 1200 A – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA BC 1200 A es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 1200 m³/h y la presión final, de 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 5,5 kW.

Características

Potente: diseño de tornillo en forma de campana con tornillos autoequilibrados patentados y booster de vacío integrado; para deposición de capas atómicas en frío, cámaras de esclusa y de transferencia, metrología, litografía, PVD, recocido térmico rápido (RTA) y procesos de grabado (óxido, silicio, metal)
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, refrigeración directa por agua
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común

Aplicaciones típicas

Busch indica: Semiconductores (decapado/calcinación (stripping/ashing), PVD, grabado de polisilicio, entre otros).

Versiones de la Busch COBRA BC 1200 A

Las 1 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	1.200
Velocidad de bombeo 60Hz	1.200
Presión final	3 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	5,5
Potencia nominal del motor 60Hz	5,5
Peso	360
Longitud	105,4
Anchura	42,5
Altura	61,5
Brida de conexión de entrada	DN 160 ISO-K
Brida de conexión de salida	DN 40 ISO-KF
Nivel de ruido	60 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	1200 m³/h
Presión final	0,003 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	1,5 kW
Potencia nominal del motor del booster de vacío	4,0 kW
Velocidad nominal de la bomba previa	3000 min⁻¹
Velocidad nominal del booster de vacío	5400 min⁻¹
Consumo de potencia a presión final	1,9 kW
Consumo de potencia en vacío	1,3 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	60 dB(A)
Consumo de agua	mín. 4,0 – 5,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 70 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1054 × 425 × 615 mm
Peso (aprox.)	360 kg
Entrada de gas	DN 160 ISO-K
Salida de gas	DN 40 ISO-KF