COBRA DS 1800 A X Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición

La Busch COBRA DS 1800 A X es una bomba de vacío de tornillo seca con una velocidad de bombeo nominal de 1700 m³/h y una presión final de 0,003 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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Velocidad de bombeo 1.700 m³/h 50 Hz 1.700 m³/h 60 Hz
Presión final 3 × 10^-3 mbar
Potencia nominal del motor 10,6 kW 50 Hz 10,6 kW 60 Hz

Variantes disponibles
Variante	Número de pieza
Versión según la tienda de Busch, motor y equipamiento a petición (seleccionada)	1361800574

Busch COBRA DS 1800 A X – bomba de vacío de tornillo seca

La Busch COBRA DS 1800 A X es una bomba de vacío de tornillo seca. La velocidad de bombeo nominal es de 1700 m³/h y la presión final, de 0,003 mbar. Potencia nominal del motor 10,6 kW.

Características

Potente: diseño de tornillo con booster de vacío integrado, para aplicaciones solares, de pantallas planas y de semiconductores, así como procesos exigentes con altas temperaturas del gas, como el grabado y la CVD; buena tolerancia al polvo, tornillo recubierto de tántalo
Eficiente: bajos costes de funcionamiento, poco mantenimiento, intervalos de mantenimiento largos, alta disponibilidad, alto caudal de hidrógeno, bajo consumo de energía, regulación variable de la temperatura
Compacta: diseño que ahorra espacio con motor encapsulado acoplado directamente; bomba previa y booster de vacío sobre un bastidor base común, bajas vibraciones

Aplicaciones típicas

Busch indica: Pantallas (deposición física en fase vapor (PVD)); Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, grabado de polisilicio, PECVD, entre otros); Solar (crecimiento de cristales).

Versiones de la Busch COBRA DS 1800 A X

Las 1 versiones se diferencian en el motor, la tensión y el equipamiento; números de pedido y descripciones de la tienda del Busch Group.

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.

Velocidad de bombeo 50Hz	1.700
Velocidad de bombeo 60Hz	1.700
Presión final	3 × 10^-3
Potencia nominal del motor 50Hz	10,6
Potencia nominal del motor 60Hz	10,6
Peso	520
Longitud	112,4
Anchura	42,6
Altura	75
Brida de conexión de entrada	DN 160 ISO-K
Brida de conexión de salida	DN 40 ISO-KF
Nivel de ruido	62 dB(A)
Tipo de refrigeración	Refrigeración por agua
Tipo de aceite	Sin aceite

Datos técnicos adicionales

Datos técnicos	Valor
Velocidad de bombeo nominal	1700 m³/h
Presión final	0,003 mbar
Potencia nominal del motor de la bomba previa	6,6 kW
Potencia nominal del motor del booster de vacío	4,0 kW
Velocidad nominal de la bomba previa	3600 min⁻¹
Velocidad nominal del booster de vacío	5400 min⁻¹
Consumo de potencia a presión final	7,1 kW
Nivel de presión sonora (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 62 dB(A)
Consumo de agua	mín. 7,0 – 8,0 l/min
Consumo de nitrógeno	0 – 75 l/min
Dimensiones (L × An × Al)	1124 × 426 × 750 mm
Peso (aprox.)	520 kg
Entrada de gas	DN 160 ISO-K
Salida de gas	DN 40 ISO-KF