Anwendung

Vakuumpumpen für Load-Lock- und Schleusenkammern

Eine Load-Lock-Kammer schleust Wafer, Glas oder andere Substrate in eine Vakuumanlage ein, ohne dass die Prozesskammer dahinter belüftet wird: Die kleine Schleuse wird bei jedem Zyklus belüftet, beladen und wieder abgepumpt. Das Vakuum muss dabei schnell erreicht werden – Pfeiffer Vacuum nennt 10⁻¹ bis 10⁻² hPa und Schleusen, die unter Vakuum partikelfrei bleiben; Busch nennt das Einschleusen von Wafern ohne Druckstoß. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 122 Modelle von 5 Herstellern.

122 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 122Modelle
  • 9Serien
  • 5Hersteller
  • 10⁻¹–10⁻² hPaSchleusendruck (Pfeiffer Vacuum)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Load-Lock- und Schleusenkammern – das Wichtigste in Kürze

  • SchleusendruckPfeiffer Vacuum nennt für Load-Lock- und Transferkammern 10⁻¹ bis 10⁻² hPa und Schleusen, die unter Vakuum partikelfrei bleiben.
  • SaugvermögenPfeiffer Vacuum nennt für Schleusen und Transfer die A 100 L und A 200 L mit 100 beziehungsweise 200 m³/h.
  • Kurze ZyklenEdwards nennt für Schleusenkammern die schnelle Zyklus-Evakuierung mit EXS, Leybold kurze Zyklen mit RUVAC WA/WAU und WS/WSU, Pfeiffer Vacuum das schnelle Abpumpen.
  • Ohne DruckstoßBusch nennt für die Solarzellenfertigung das Einschleusen von Wafern ohne Druckstoß mit COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Load-Lock- und Schleusenkammern

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. BeladenDas Außentor öffnet bei Atmosphärendruck, der Wafer oder das Substrat wird eingelegt, das Tor schließt; das Transferventil zur Prozesskammer bleibt zu.
  2. AbpumpenDer Pumpstand evakuiert die Schleuse auf den Transferdruck – laut Pfeiffer Vacuum 10⁻¹ bis 10⁻² hPa, so schnell wie möglich (Edwards: schnelle Zyklus-Evakuierung, Leybold: kurze Zyklen) und laut Busch ohne Druckstoß.
  3. TransferDas Transferventil öffnet, das Substrat wird in die Prozesskammer übergeben, das Ventil schließt; die Schleuse wird belüftet und der nächste Zyklus beginnt.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Load-Lock- und Schleusenkammern braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Pfeiffer Vacuum nennt für Load-Lock- und Transferkammern 10⁻¹ bis 10⁻² hPa.

Welches Saugvermögen

Pfeiffer Vacuum nennt die A 100 L mit 100 m³/h und die A 200 L mit 200 m³/h. Zur Geschwindigkeit nennen Edwards die schnelle Zyklus-Evakuierung mit EXS, Leybold kurze Zyklen mit RUVAC, Pfeiffer Vacuum schnelles Abpumpen. Auf seiner Halbleiterseite ordnet Busch Load-Lock und Transfer den einfachen Prozessen zu.

Was die Auslegung bestimmt

Zykluszeit und Schleusenvolumen bestimmen das Saugvermögen; für kurze Zyklen nennt Leybold Wälzkolbenpumpen RUVAC WA/WAU und WS/WSU vor der SCREWLINE. Busch nennt das Einschleusen ohne Druckstoß, Pfeiffer Vacuum partikelfreie Schleusen – Partikel würden auf dem Wafer landen.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Load-Lock- und Schleusenkammern nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 122 Modelle für Load-Lock- und Schleusenkammern im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DWS VSD+ Serie 6 Modelle

DWS 160 VSD+Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz160 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250 VSD+Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz250 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1
DWS 450 VSD+Saugvermögen 450 m³/h 50 Hz450 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten 3
DWS 750 VSD+Saugvermögen 740 m³/h 50 Hz740 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten 3
DWS 160/1750 VSD+Saugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 12 kW 50 Hz12 kW 60 HzVarianten 1
DWS 250/2600 VSD+Saugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten

Busch COBRA Semicon Serie 22 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Edwards EXS Serie 11 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCREWLINE Serie 2 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Load-Lock- und Schleusenkammern nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Halbleiter, Elektronik und Display

Busch ordnet Load-Lock und Transfer auf seiner Halbleiterseite den einfachen Prozessen zu und nennt COBRA; Pfeiffer Vacuum nennt für Load-Lock- und Transferkammern die A 100 L und A 200 L (100 beziehungsweise 200 m³/h, 10⁻¹ bis 10⁻² hPa), COBRA DS und auf der TORRI-Familienseite den Load-Lock.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Solar und Photovoltaik

Busch nennt für die Solarzellenfertigung das Einschleusen von Wafern ohne Druckstoß mit COBRA NX/DS, PANDA WV und PUMA WY.

Vakuum in Solar und Photovoltaik →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Load-Lock- und Schleusenkammern

Was ist eine Load-Lock-Kammer?

Eine Load-Lock-Kammer ist die Schleuse einer Vakuumanlage: eine kleine Kammer zwischen Atmosphäre und Prozesskammer, die bei jedem Zyklus belüftet, beladen und wieder abgepumpt wird. So bleibt die Prozesskammer dauerhaft unter Vakuum. Pfeiffer Vacuum nennt dafür 10⁻¹ bis 10⁻² hPa; laut Busch werden Wafer so ohne Druckstoß eingeschleust.

Wie funktioniert eine Schleusenkammer in einer Vakuumanlage?

Das Außentor öffnet, das Substrat wird eingelegt, das Tor schließt, der Pumpstand evakuiert die Schleuse auf den Transferdruck; dann öffnet das Transferventil zur Prozesskammer, das Substrat wird übergeben und die Schleuse wird für den nächsten Zyklus belüftet. Nie sind beide Ventile zugleich offen. Edwards nennt dafür die schnelle Zyklus-Evakuierung, Leybold kurze Zyklen.

Wie viel Vakuum braucht eine Load-Lock-Kammer?

Pfeiffer Vacuum nennt für Load-Lock- und Transferkammern 10⁻¹ bis 10⁻² hPa. Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum betonen außerdem, wie schnell der Druck erreicht werden muss.

Welche Vakuumpumpe für Load-Lock-Kammern?

Pfeiffer Vacuum nennt die A 100 L und A 200 L mit 100 beziehungsweise 200 m³/h sowie COBRA DS; Busch nennt COBRA (NX, DS, NC), PANDA WV und PUMA WY, auf seiner Produktseite COBRA Industry und COBRA Semicon; Edwards nennt EXS für die schnelle Zyklus-Evakuierung, Leybold SCREWLINE mit RUVAC WA/WAU und WS/WSU, Atlas Copco DWS VSD+.

Warum eine Wälzkolbenpumpe für Schleusenkammern?

Leybold nennt für Schleusenkammern die Wälzkolbenpumpen RUVAC WA/WAU und WS/WSU zusammen mit der SCREWLINE und begründet das mit den kurzen Zyklen; Busch nennt mit PANDA WV und PUMA WY ebenfalls Wälzkolbenpumpen. Eine Wälzkolbenpumpe vor der Vorpumpe erhöht das Saugvermögen bei niedrigen Drücken deutlich und verkürzt so die Zeit bis zum Transferdruck.

Ölfrei oder ölgeschmiert für Schleusenkammern?

Die genannten Serien laufen trocken: Edwards EXS und Atlas Copco DWS VSD+ sind Schrauben-Vakuumpumpen, Leybold SCREWLINE ebenso, Busch COBRA eine Schraubenpumpe und PANDA/PUMA Wälzkolbenpumpen, Pfeiffer Vacuum A 100/200 L mehrstufige Wälzkolbenpumpen – passend zu den partikelfreien Schleusen, die Pfeiffer Vacuum nennt.

Wie schnell muss eine Schleuse abgepumpt werden?

Edwards spricht von schneller Zyklus-Evakuierung, Leybold von kurzen Zyklen, Pfeiffer Vacuum vom schnellen Abpumpen auf 10⁻¹ bis 10⁻² hPa. Die Zykluszeit folgt aus dem Takt der Anlage; daraus und aus dem Schleusenvolumen ergibt sich das nötige Saugvermögen.

Warum darf beim Einschleusen kein Druckstoß entstehen?

Busch nennt für Load-Lock-Kammern in der Solarzellenfertigung das Einschleusen der Wafer ohne Druckstoß, Pfeiffer Vacuum Schleusen, die unter Vakuum partikelfrei bleiben. Ein plötzlicher Druckanstieg beim Belüften oder ein zu schnelles Anpumpen wirbelt Partikel auf, die sich auf dem Wafer niederschlagen können.

Welche Vakuumpumpe für Load-Locks in der Solarzellenfertigung?

Busch nennt für die Solarzellenfertigung COBRA NX und DS, PANDA WV und PUMA WY, mit denen Wafer ohne Druckstoß eingeschleust werden. Atlas Copco nennt für Schleusenkammern allgemein DWS VSD+, Edwards EXS, Leybold SCREWLINE und RUVAC.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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