Anwendung

Vakuumpumpen für die Lecksuche und Dichtheitsprüfung

Bei der Lecksuche wird ein Prüfling oder eine Prüfkammer evakuiert; ein Lecksucher weist dann das Prüfgas nach, das durch undichte Stellen ein- oder austritt. Leybold beschreibt die Dichtheitsprüfung mit Helium als Prüfgas zur Qualitätskontrolle von Anlagen und Produkten, und laut Atlas Copco macht ein definiertes Vakuum kleinste Lecks erkennbar. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 319 Modelle von 5 Herstellern.

319 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 319Modelle
  • 25Serien
  • 5Hersteller
  • unter 0,1 mbarPrüfkammer bei der Kältekreislauf-Prüfung (Leybold)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Lecksuche und Dichtheitsprüfung – das Wichtigste in Kürze

  • Prüfgas HeliumLeybold beschreibt die Helium-Dichtheitsprüfung als Qualitätskontrolle von Anlagen und Produkten; Pfeiffer Vacuum nennt das Aufsprühen von Helium von außen, bei dem der Lecksucher am evakuierten System die Lecks ortet.
  • PrüfkammerFür die Dichtheitsprüfung im Kühlkreislauf beschreibt Leybold eine evakuierte Prüfkammer mit typisch unter 0,1 mbar, in der ein Lecksucher austretendes Kältemittel sucht.
  • LeckratenPfeiffer Vacuum nennt für das Heliumsprühen Lecks im Bereich von etwa 10⁻⁷ bis 10⁻⁹ mbar·l/s und für die Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen (CCIT) ≤10⁻⁹ mbar·l/s bei Lecks bis 0,1 µm sowie etwa 10⁻⁶ mbar·l/s ab 0,2 µm.
  • SaugvermögenLeybold nennt für die Helium-Dichtheitsprüfung TRIVAC mit 4–90 m³/h, SCROLLVAC mit 3–18 m³/h, ECODRY mit 25–65 m³/h und VARODRY mit 65–200 m³/h, dazu RUVAC mit SOGEVAC oder DRYVAC.
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  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Lecksuche und Dichtheitsprüfung

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. EvakuierenPrüfkammer oder Prüfling werden auf den Prüfdruck evakuiert; Leybold nennt für die Prüfkammer im Kühlkreislauf typisch unter 0,1 mbar.
  2. PrüfenHelium wird als Prüfgas eingesetzt oder von außen aufgesprüht, und der Lecksucher weist es nach; bei der Kältekreislauf-Prüfung sucht er laut Leybold austretendes Kältemittel.
  3. BewertenDer Lecksucher ortet das Leck oder misst die Leckrate; Pfeiffer Vacuum weist darauf hin, dass das Sprühen Lecks ortet, aber keine Leckrate misst.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Lecksuche und Dichtheitsprüfung braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Atlas Copco nennt für die Dichtheitsprüfung Nieder- bis Hochvakuum. Leybold beschreibt die Prüfkammer im Kühlkreislauf mit typisch unter 0,1 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt die Helium-Sprühmethode für Halbleiter, Anlagenbau und Ultrahochvakuum.

Welches Saugvermögen

Leybold nennt für die Helium-Dichtheitsprüfung TRIVAC mit 4–90 m³/h, SCROLLVAC mit 3–18 m³/h, ECODRY mit 25–65 m³/h und VARODRY mit 65–200 m³/h, dazu RUVAC mit SOGEVAC oder DRYVAC und TURBOVAC.

Welche Leckraten

Pfeiffer Vacuum nennt für das Heliumsprühen Lecks im Bereich von etwa 10⁻⁷ bis 10⁻⁹ mbar·l/s. Bei der Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen (CCIT) sind es ≤10⁻⁹ mbar·l/s für Lecks bis 0,1 µm und etwa 10⁻⁶ mbar·l/s ab 0,2 µm – zerstörungsfrei und bis −80 °C.

Worauf die Hersteller hinweisen

Pfeiffer Vacuum: Das Sprühen ortet Lecks, misst aber keine Leckrate. Leybold: Klimakompressoren werden vor dem Einbau geprüft, und in der Wasserstoffinfrastruktur müssen Leitungen, Ventile, Behälter, Elektrolyseure und Brennstoffzellen dicht sein. Busch nennt die Lecksuche als End-of-Line-Prüfung von Batterien, Tanks und HLK.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Lecksuche und Dichtheitsprüfung nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 319 Modelle für Lecksuche und Dichtheitsprüfung im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Atlas Copco DRB Serie 4 Modelle

DRB 250Saugvermögen 253 m³/h 50 Hz304 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 2
DRB 500Saugvermögen 505 m³/h 50 Hz606 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
DRB 1000Saugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 4 kW 50 Hz4 kW 60 HzVarianten 2
DRB 2000Saugvermögen 2.050 m³/h 50 Hz2.460 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 2

Atlas Copco GLS Serie 2 Modelle

GLS 250Saugvermögen 234 m³/h 50 Hz234 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz5,5 kW 60 HzVarianten 1
GLS 500Saugvermögen 442 m³/h 50 Hz442 m³/h 60 HzEnddruck 0,033 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 1

Atlas Copco GVD Serie 13 Modelle

GVD 0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
GVD 1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
GVD 3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 4
GVD 8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
GVD 18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 3
GVD 45Saugvermögen 42 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 1
GVD 65Saugvermögen 60 m³/h 50 Hz72 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 1
GVD 85Saugvermögen 79 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,6 kW 60 HzVarianten 1
GVD 175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 2
GVD 275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 2

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4

Busch MINK Serie 32 Modelle

Busch PANDA/PUMA Serie 26 Modelle

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2S Serie 3 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards Stokes Serie 4 Modelle

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Leybold DRYVAC Serie 9 Modelle

Leybold ECODRY Serie 5 Modelle

Leybold RUVAC WA/WAU Serie 8 Modelle

Leybold RUVAC WH/WHU Serie 7 Modelle

Leybold RUVAC WS/WSU 8 Modelle

Leybold SCROLLVAC Serie 5 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Leybold TRIVAC Serie 20 Modelle

Pfeiffer Vacuum A 100/200 L Serie 3 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiLobe Serie 17 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Lecksuche und Dichtheitsprüfung nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Batteriefertigung

Leybold beschreibt den Helium-Lecktest der fertigen Zelle und nennt dafür TRIVAC und SCROLLVAC; Busch und Pfeiffer Vacuum führen die Lecksuche in der Batteriefertigung ebenfalls auf.

Vakuum in Batteriefertigung →

Automobil und Transport

Busch nennt die Lecksuche und End-of-Line-Dichtheitsprüfung von Batterien, Tanks und HLK mit COBRA; Pfeiffer Vacuum führt die Anwendung für Automobil und Transport ebenfalls auf.

Vakuum in Automobil und Transport →

Wasserstoff und Brennstoffzellen

Laut Leybold müssen Leitungen, Ventile, Behälter, Elektrolyseure und Brennstoffzellen dicht sein; Busch und Pfeiffer Vacuum nennen die Lecksuche für die Wasserstoffindustrie ebenfalls.

Vakuum in Wasserstoff und Brennstoffzellen →

Kälte- und Klimatechnik

Busch und Pfeiffer Vacuum führen die Lecksuche für Kälte und Klima auf; Leybold beschreibt dazu die evakuierte Prüfkammer mit typisch unter 0,1 mbar, in der ein Lecksucher austretendes Kältemittel sucht, und die Helium-Lecksuche an Klimakompressoren vor dem Einbau.

Vakuum in Kälte- und Klimatechnik →

Forschung, Labor und Analytik

Busch nennt Leckdetektoren im Labor mit COBRA und R5; Pfeiffer Vacuum führt die Lecksuche für Forschung und Analytik auf und nennt dafür ACP, DuoVane und HiScroll.

Vakuum in Forschung, Labor und Analytik →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum nennt die Helium-Sprühmethode ausdrücklich für Halbleiter, Anlagenbau und Ultrahochvakuum.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Pharma und Biotechnologie

Pfeiffer Vacuum beschreibt die Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen (CCIT) als zerstörungsfreien Dichtheitsnachweis steriler Packmittel bis −80 °C.

Vakuum in Pharma und Biotechnologie →

Medizin und Krankenhaus

Pfeiffer Vacuum nennt die Leckageprüfung medizinischer Geräte und die CCIT-Prüfung auch für Medizinprodukte.

Vakuum in Medizin und Krankenhaus →

Luft- und Raumfahrt

Atlas Copco nennt die Dichtheitsprüfung in der Luft- und Raumfahrt: Ein definiertes Vakuum von Nieder- bis Hochvakuum macht kleinste Lecks erkennbar.

Vakuum in Luft- und Raumfahrt →

Chemie

Pfeiffer Vacuum führt die Lecksuche auch für die Chemie auf, ohne sie dort näher zu beschreiben.

Vakuum in Chemie →

Energie

Pfeiffer Vacuum nennt die Lecksuche für die Energiebranche; Leybold beschreibt sie für Batteriezellen und die Wasserstoffinfrastruktur.

Vakuum in Energie →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Lecksuche und Dichtheitsprüfung

Wie funktioniert die Lecksuche mit Vakuum?

Prüfling oder Prüfkammer werden evakuiert, und ein Lecksucher weist das Prüfgas nach, das durch undichte Stellen strömt. Leybold beschreibt die Dichtheitsprüfung mit Helium als Prüfgas zur Qualitätskontrolle von Anlagen und Produkten. Bei der Sprühmethode wird laut Pfeiffer Vacuum Helium außen aufgesprüht, und der Lecksucher am evakuierten System ortet die Lecks. Atlas Copco fasst es so zusammen: Ein definiertes Vakuum macht kleinste Lecks erkennbar.

Welche Vakuumpumpe eignet sich für die Helium-Lecksuche?

Leybold nennt als Vorpumpen für die Helium-Dichtheitsprüfung TRIVAC (4–90 m³/h), SCROLLVAC (3–18 m³/h), ECODRY (25–65 m³/h) und VARODRY (65–200 m³/h), dazu RUVAC mit SOGEVAC oder DRYVAC. Pfeiffer Vacuum nennt für die Lecksuche ACP, DuoVane und HiScroll. Busch nennt COBRA, PANDA/PUMA, R5 und MINK, Edwards E2M, E2S, XDS, nXRi und Stokes, Atlas Copco GVD, GLS und DRB.

Wie viel Vakuum braucht eine Dichtheitsprüfung?

Das hängt von der Prüfung ab: Atlas Copco nennt Nieder- bis Hochvakuum. Leybold beschreibt für die Prüfkammer im Kühlkreislauf typisch unter 0,1 mbar. Pfeiffer Vacuum nennt die Helium-Sprühmethode auch für Anlagen im Ultrahochvakuum.

Welche Leckrate lässt sich mit Helium nachweisen?

Pfeiffer Vacuum nennt für das Heliumsprühen Lecks im Bereich von etwa 10⁻⁷ bis 10⁻⁹ mbar·l/s. Für die Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen (CCIT) gibt Pfeiffer Vacuum ≤10⁻⁹ mbar·l/s bei Lecks bis 0,1 µm und etwa 10⁻⁶ mbar·l/s ab 0,2 µm an.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Lecksuche?

Die Hersteller nennen beides. Leybold führt die ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpe TRIVAC ebenso auf wie die trockenen SCROLLVAC und ECODRY; Pfeiffer Vacuum nennt die ölgeschmierte DuoVane neben HiScroll und ACP; Edwards die ölgeschmierten E2M und E2S neben XDS und nXRi; Busch die ölgeschmierte R5 neben COBRA und MINK. Welche Ausführung passt, hängt vom Prüfling und von der Anlage ab.

Wie werden Batteriezellen auf Dichtheit geprüft?

Leybold beschreibt den Helium-Lecktest der fertigen Zelle und nennt dafür TRIVAC und SCROLLVAC. Busch nennt die Lecksuche und End-of-Line-Dichtheitsprüfung von Batterien mit COBRA, und Pfeiffer Vacuum führt die Lecksuche in der Batteriefertigung ebenfalls auf.

Wie wird ein Kältekreislauf auf Lecks geprüft?

Leybold beschreibt dafür eine Prüfkammer, die auf typisch unter 0,1 mbar evakuiert wird; ein Lecksucher sucht darin austretendes Kältemittel. Klimakompressoren werden laut Leybold schon vor dem Einbau mit Helium auf Lecks geprüft. Busch und Pfeiffer Vacuum führen die Lecksuche für die Kälte- und Klimatechnik ebenfalls auf.

Was ist eine CCIT-Prüfung bei Pharmaverpackungen?

CCIT steht für die Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen. Pfeiffer Vacuum beschreibt sie als zerstörungsfreien Dichtheitsnachweis steriler Packmittel und Medizinprodukte, auch bis −80 °C, mit Leckraten von ≤10⁻⁹ mbar·l/s bei Lecks bis 0,1 µm und etwa 10⁻⁶ mbar·l/s ab 0,2 µm.

Was ist der Unterschied zwischen Lecks orten und Leckrate messen?

Beim Heliumsprühen wird laut Pfeiffer Vacuum Helium von außen aufgesprüht, und der Lecksucher am evakuierten System zeigt, wo das Leck sitzt – gemessen wird dabei keine Leckrate. Für den Nachweis einer Leckrate nennt Pfeiffer Vacuum die CCIT-Prüfung mit Werten bis ≤10⁻⁹ mbar·l/s.

Welche Vakuumpumpe für die End-of-Line-Dichtheitsprüfung?

Busch nennt für die Lecksuche und End-of-Line-Prüfung COBRA, PANDA/PUMA und R5, im Produktfinder auch MINK, und beschreibt die Prüfung von Batterien, Tanks und HLK. Pfeiffer Vacuum nennt für Lecksuche und End-of-Line-Prüfung A 100/200 L, ACP, DuoVane, HiLobe und HiScroll.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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