Ehrler & Beck Vakuum- und Drucklufttechnik GmbH
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A 3004 H/X

Serie: Serie A4 Fabricante: Pfeiffer Vacuum Tecnología: Bombas de vacío Roots

Die Pfeiffer A 3004 H/X ist eine trockene Bomba Roots multietapa mit einem Velocidad de bombeo nominal von 3000 m³/h (60 Hz) und einem Presión final von 0,004 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

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  • Velocidad de bombeo 3.000 m³/h 60 Hz
  • Presión final 4 × 10-3 mbar

Pfeiffer A 3004 H/X – Trockene Bomba Roots multietapa

Die Pfeiffer A 3004 H/X ist eine trockene Bomba Roots multietapa. Das Velocidad de bombeo nominal beträgt 3000 m³/h (60 Hz), der Presión final 0,004 mbar.

Características

  • Robust: für sehr raue Prozesse, hohe Partikelverträglichkeit, gute Korrosionsbeständigkeit
  • Zuverlässig: lange Lebensdauer
  • Leistungsstark: laut Pfeiffer das beste Kompressionsverhältnis der Klasse und sehr geringe Consumo de potencia

Aplicaciones típicas

Pfeiffer nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Strippen/Veraschung, Poly-Silizium-Ätzen u. a.); Solar (Zellproduktion).

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck asesora sobre selección, accesorios y servicio.
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