Ehrler & Beck Vakuum- und Drucklufttechnik GmbH
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A 3004 H/X

La Pfeiffer A 3004 H/X es una bomba Roots multietapa seca con una velocidad de bombeo nominal de 3000 m³/h (60 Hz) y una presión final de 0,004 mbar. Ehrler & Beck le asesora en la selección y el servicio.

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  • Velocidad de bombeo 3.000 m³/h 60 Hz
  • Presión final 4 × 10-3 mbar

Pfeiffer A 3004 H/X – bomba Roots multietapa seca

La Pfeiffer A 3004 H/X es una bomba Roots multietapa seca. La velocidad de bombeo nominal es de 3000 m³/h (60 Hz), la presión final de 0,004 mbar.

Características

  • Robusta: para procesos muy exigentes, alta tolerancia a las partículas, buena resistencia a la corrosión
  • Fiable: larga vida útil
  • Potente: según Pfeiffer, la mejor relación de compresión de su clase y un consumo de potencia muy bajo

Aplicaciones típicas

Pfeiffer indica: Semiconductores (deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD)/difusión, decapado/calcinación (stripping/ashing), grabado de polisilicio, entre otros); Solar (producción de células).

Asesoramiento y servicio

Ehrler & Beck le asesora en la selección, los accesorios y el servicio.
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