Aplicación

Bombas de vacío para la microscopía electrónica

Un microscopio electrónico forma la imagen con un haz de electrones que se dispersaría en el aire; por eso, la columna y la cámara de muestras están bajo vacío. Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa, y Edwards, para un ESEM, unos 10 mbar; la bomba previa asegura el vacío previo de la bomba turbomolecular del equipo y no debe perturbar la imagen con oscilaciones. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 112 modelos de 4 fabricantes.

Comparar 112 modelosCómo funciona

  • 112Modelos
  • 6Series
  • 4Fabricantes
  • 10⁻⁵–10⁻⁷ hPaPresión de cámara CD-SEM (Pfeiffer Vacuum)
ABCDEFG

Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.

En resumen

Microscopía electrónica: lo esencial

  • Presión de cámaraPfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa; Edwards, para un ESEM, unos 10 mbar.
  • Haz sin dispersiónEdwards y Pfeiffer Vacuum mencionan el haz de electrones sin dispersión como motivo del vacío en el microscopio.
  • Bajas vibracionesEdwards menciona bombas de bajas oscilaciones; Pfeiffer Vacuum, bombas de bajas vibraciones, en el CD-SEM para la metrología de obleas.
  • Grupo de bombeoLa bomba turbomolecular está en el equipo (Pfeiffer Vacuum HiPace Plus, Leybold TURBOVAC MAG); como bomba previa, Pfeiffer Vacuum indica bombas de membrana, Roots multietapa y scroll; Edwards, paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus.
ABCDEFG
  • Aire y gas (vacío)
  • Aire de escape

Principio de funcionamiento

Cómo funciona: Microscopía electrónica

El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.

  1. Introducir la muestraLa muestra (en el CD-SEM, la oblea) entra en la cámara de muestras; la válvula hacia la columna permanece cerrada hasta que la cámara vuelve a ser estanca.
  2. EvacuarLa bomba previa evacúa la cámara y mantiene después el vacío previo de la bomba turbomolecular, que genera el alto vacío: según Pfeiffer Vacuum, de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa en el CD-SEM.
  3. Obtener la imagenSegún Edwards y Pfeiffer Vacuum, el haz de electrones llega a la muestra sin dispersión; las bombas funcionan con bajas oscilaciones para que la imagen siga siendo nítida.

Vacío y dimensionado

Microscopía electrónica: cuánto vacío se necesita

Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.

Qué vacío

Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa. Edwards indica para un ESEM unos 10 mbar; en él permanece gas alrededor de la muestra.

Qué bombas

Según Pfeiffer Vacuum y Leybold, en el equipo hay una bomba turbomolecular (HiPace Plus, TURBOVAC MAG; no forman parte de nuestra gama). Como bombas previas, Pfeiffer Vacuum indica HiScroll y ACP y, en general, bombas de membrana, Roots multietapa y scroll; Edwards, paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus; Busch, COBRA y R5.

Qué señalan los fabricantes

Edwards: haz sin dispersión, bajas oscilaciones. Pfeiffer Vacuum: haz de electrones libre de dispersión, bajas vibraciones; en el CD-SEM, metrología de obleas de bajas vibraciones. Busch y Leybold incluyen los microscopios electrónicos en su lista sin describir los requisitos.

Tecnología

Microscopía electrónica: las bombas de vacío que indican los fabricantes

Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.

Resumen de productos

Microscopía electrónica: los 112 modelos comparados

Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.

Busch Serie COBRA Industry 36 modelos

COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NF 0950 AVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NX 0950 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 1500 B VRVelocidad de bombeo 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVariantes
COBRA DX 2000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2500 CVelocidad de bombeo 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA NC 2000 C VRVelocidad de bombeo 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2760 AVelocidad de bombeo 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 2780 AVelocidad de bombeo 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4560 AVelocidad de bombeo 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 4580 AVelocidad de bombeo 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6260 AVelocidad de bombeo 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVariantes
COBRA DH 6280 AVelocidad de bombeo 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzPresión final 1 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVariantes

Busch Serie R5 58 modelos

R5 PB 0003 DVelocidad de bombeo 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes
R5 PB 0004 CVelocidad de bombeo 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVariantes
R5 PB 0008 CVelocidad de bombeo 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes
R5 KB 0010 EVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes 1
R5 KD 0012 AVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1
R5 RC 0010 CVelocidad de bombeo 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVariantes 1
R5 KB 0016 EVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes 1
R5 KD 0020 AVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1
R5 RC 0016 CVelocidad de bombeo 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVariantes 1
R5 KB 0020 DVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVariantes 1
R5 RB 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 1 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes 2
R5 RC 0021 CVelocidad de bombeo 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzPresión final 20 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
R5 KD 0025 AVelocidad de bombeo 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVariantes
R5 KB 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0025 FVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 3
R5 KB 0040 DVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 2 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0040 FVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVariantes 3
R5 RE 0040 CVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0063 FVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVariantes 3
R5 RE 0063 CVelocidad de bombeo 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0100 FVelocidad de bombeo 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0155 AVelocidad de bombeo 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzPresión final 0,5 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0165 DVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0200 AVelocidad de bombeo 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0165 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0200 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0205 DVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0240 AVelocidad de bombeo 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0205 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0240 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0255 DVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes 3
R5 RD 0300 AVelocidad de bombeo 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0255 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0305 DVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVariantes
R5 RD 0360 AVelocidad de bombeo 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0305 D ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0360 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0400 CVelocidad de bombeo 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 3
R5 RA 0520 AVelocidad de bombeo 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0400 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0502 CVelocidad de bombeo 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 0520 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0502 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0600 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes 2
R5 RA 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 0840 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 0840 B PLUSVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes
R5 RA 1000 BVelocidad de bombeo 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 1000 A PLUSVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVariantes
R5 RA 1000 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor Variantes
R5 RA 1600 BVelocidad de bombeo 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes 1
R5 RA 1600 A PLUSVelocidad de bombeo 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzPresión final 0,3 mbarPotencia nominal del motor 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVariantes

Edwards Serie nXRi 5 modelos

Edwards nXR30iVelocidad de bombeo 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1
Edwards nXR40iVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1
Edwards nXR60iVelocidad de bombeo 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1
Edwards nXR90iVelocidad de bombeo 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1
Edwards nXR120iVelocidad de bombeo 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 1

Leybold Serie ECODRY 5 modelos

ECODRY 25 plusVelocidad de bombeo 25 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,85 kW 50 Hz0,85 kW 60 HzVariantes 1
ECODRY 35 plusVelocidad de bombeo 35 m³/h 50 Hz35 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 0,85 kW 50 Hz0,85 kW 60 HzVariantes 1
ECODRY 40 plusVelocidad de bombeo 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 2
ECODRY 65 He plusVelocidad de bombeo 55 m³/h 50 Hz55 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 2
ECODRY 65 plusVelocidad de bombeo 55 m³/h 50 Hz55 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 1,2 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVariantes 4

Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos

ACP 15Velocidad de bombeo 14 m³/h 50 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor Variantes 9
ACP 28Velocidad de bombeo 27 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 14
ACP 40Velocidad de bombeo 37 m³/h 50 HzPresión final 0,04 mbarPotencia nominal del motor Variantes 15
ACP 90Velocidad de bombeo 88 m³/h 50 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor Variantes 6

Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos

HiScroll 6Velocidad de bombeo 6,1 m³/h 50 HzPresión final 0,015 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7
HiScroll 12Velocidad de bombeo 12,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 7
HiScroll 18Velocidad de bombeo 18,1 m³/h 50 HzPresión final 6 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11
HiScroll 46Velocidad de bombeo 43 m³/h 50 HzPresión final 7 × 10-3 mbarPotencia nominal del motor Variantes 11

Comparación de modelos

Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».

Sectores

Microscopía electrónica: dónde lo indican los fabricantes

Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.

Investigación, laboratorio y análisis

Busch menciona los microscopios electrónicos en análisis y laboratorio con COBRA y R5; Edwards menciona la microscopía electrónica entre sus sistemas de vacío para equipos de análisis, con bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi (haz sin dispersión, bajas oscilaciones, ESEM unos 10 mbar); Pfeiffer Vacuum la menciona con bombas de membrana, Roots multietapa y scroll y con la HiScroll (4 productos).

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Semiconductores, electrónica y pantallas

Pfeiffer Vacuum menciona el CD-SEM para la metrología de obleas de bajas vibraciones, con 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa, ACP y HiScroll como bombas previas y la HiPace Plus como bomba turbomolecular.

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Preguntas frecuentes

Microscopía electrónica: preguntas frecuentes

¿Por qué necesita vacío un microscopio electrónico?

Porque el haz de electrones se dispersaría en el aire: Edwards menciona el haz sin dispersión, y Pfeiffer Vacuum el haz de electrones libre de dispersión, como motivo del vacío en la columna y la cámara de muestras. Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa.

¿Cuánto vacío necesita un microscopio electrónico de barrido?

Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM, un microscopio electrónico de barrido para la metrología de obleas, de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa. Para un ESEM, en el que permanece gas alrededor de la muestra, Edwards indica unos 10 mbar.

¿Qué bomba de vacío para un microscopio electrónico?

El alto vacío lo genera una bomba turbomolecular del equipo: Pfeiffer Vacuum menciona la HiPace Plus; Leybold, la TURBOVAC MAG. Como bomba previa, Pfeiffer Vacuum indica HiScroll y ACP; Edwards, bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus; Busch, COBRA y R5.

¿Qué bomba previa para la bomba turbomolecular de un microscopio electrónico?

Pfeiffer Vacuum indica bombas de membrana, Roots multietapa y scroll, en concreto HiScroll (4 productos) y ACP; Edwards indica bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, la bomba Roots multietapa ECODRY plus. Edwards y Pfeiffer Vacuum mencionan bombas de bajas oscilaciones y de bajas vibraciones, respectivamente.

¿Sin aceite o lubricada con aceite para la microscopía electrónica?

Se indican ambas. Edwards incluye bombas de paletas rotativas junto a las scroll y nXRi; Busch, la R5 lubricada con aceite junto a la COBRA; Pfeiffer Vacuum indica bombas previas secas (membrana, Roots multietapa, scroll) y Leybold la ECODRY plus seca. Para el CD-SEM en la fabricación de obleas, Pfeiffer Vacuum indica ACP y HiScroll, ambas sin aceite.

¿Por qué la bomba de vacío del microscopio electrónico debe tener bajas vibraciones?

Edwards menciona bombas de bajas oscilaciones; Pfeiffer Vacuum, bombas de bajas vibraciones y, en el CD-SEM, la metrología de obleas de bajas vibraciones. Las oscilaciones de la bomba previa se transmiten al equipo y hacen borrosa la imagen; al medir estructuras en la oblea, se convierten en un error de medición.

¿Cuánto vacío necesita un ESEM?

Edwards indica para un ESEM unos 10 mbar. A diferencia del microscopio electrónico de barrido de alto vacío, en él permanece gas alrededor de la muestra; el alto vacío de la columna lo sigue suministrando la bomba turbomolecular.

¿Qué bomba de vacío para CD-SEM en la fabricación de obleas?

Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM, con 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa y bajas vibraciones para la metrología de obleas, ACP y HiScroll como bombas previas y la HiPace Plus como bomba turbomolecular. Para la inspección en general, Pfeiffer Vacuum indica A 100/200 L, A4, ACP y TORRI.

¿Qué bomba de vacío scroll para microscopios electrónicos?

Pfeiffer Vacuum indica la HiScroll, con 4 productos, para la microscopía electrónica y el CD-SEM; Edwards menciona bombas scroll junto a las de paletas rotativas y nXRi. Una bomba de vacío scroll funciona sin aceite.

¿Bomba individual o sistema central de vacío?

Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.

¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?

Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.

¿Qué bomba se adapta a su proceso?

Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.

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