Aplicación
Bombas de vacío para la microscopía electrónica
Un microscopio electrónico forma la imagen con un haz de electrones que se dispersaría en el aire; por eso, la columna y la cámara de muestras están bajo vacío. Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa, y Edwards, para un ESEM, unos 10 mbar; la bomba previa asegura el vacío previo de la bomba turbomolecular del equipo y no debe perturbar la imagen con oscilaciones. A continuación puede ver cómo funciona la aplicación, qué vacío indican los fabricantes y qué series suyas están previstas para ello: 112 modelos de 4 fabricantes.
Comparar 112 modelosCómo funciona
- 112Modelos
- 6Series
- 4Fabricantes
- 10⁻⁵–10⁻⁷ hPaPresión de cámara CD-SEM (Pfeiffer Vacuum)
Toque los puntos: cada parte de la instalación se explica por sí sola.
En resumen
Microscopía electrónica: lo esencial
- Presión de cámaraPfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa; Edwards, para un ESEM, unos 10 mbar.
- Haz sin dispersiónEdwards y Pfeiffer Vacuum mencionan el haz de electrones sin dispersión como motivo del vacío en el microscopio.
- Bajas vibracionesEdwards menciona bombas de bajas oscilaciones; Pfeiffer Vacuum, bombas de bajas vibraciones, en el CD-SEM para la metrología de obleas.
- Grupo de bombeoLa bomba turbomolecular está en el equipo (Pfeiffer Vacuum HiPace Plus, Leybold TURBOVAC MAG); como bomba previa, Pfeiffer Vacuum indica bombas de membrana, Roots multietapa y scroll; Edwards, paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus.
Principio de funcionamiento
Cómo funciona: Microscopía electrónica
El dibujo muestra el principio básico en sección. Las instalaciones y bombas de cada fabricante difieren en los detalles.
- Introducir la muestraLa muestra (en el CD-SEM, la oblea) entra en la cámara de muestras; la válvula hacia la columna permanece cerrada hasta que la cámara vuelve a ser estanca.
- EvacuarLa bomba previa evacúa la cámara y mantiene después el vacío previo de la bomba turbomolecular, que genera el alto vacío: según Pfeiffer Vacuum, de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa en el CD-SEM.
- Obtener la imagenSegún Edwards y Pfeiffer Vacuum, el haz de electrones llega a la muestra sin dispersión; las bombas funcionan con bajas oscilaciones para que la imagen siga siendo nítida.
Vacío y dimensionado
Microscopía electrónica: cuánto vacío se necesita
Lo que dicen los fabricantes sobre presión, velocidad de bombeo y dimensionado.
Qué vacío
Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa. Edwards indica para un ESEM unos 10 mbar; en él permanece gas alrededor de la muestra.
Qué bombas
Según Pfeiffer Vacuum y Leybold, en el equipo hay una bomba turbomolecular (HiPace Plus, TURBOVAC MAG; no forman parte de nuestra gama). Como bombas previas, Pfeiffer Vacuum indica HiScroll y ACP y, en general, bombas de membrana, Roots multietapa y scroll; Edwards, paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus; Busch, COBRA y R5.
Qué señalan los fabricantes
Edwards: haz sin dispersión, bajas oscilaciones. Pfeiffer Vacuum: haz de electrones libre de dispersión, bajas vibraciones; en el CD-SEM, metrología de obleas de bajas vibraciones. Busch y Leybold incluyen los microscopios electrónicos en su lista sin describir los requisitos.
Tecnología
Microscopía electrónica: las bombas de vacío que indican los fabricantes
Se indican las series que el propio fabricante menciona para esta aplicación. «Mostrar solo …» aplica el filtro del resumen de productos.
Bombas de vacío de paletas rotativas lubricadas con aceite
58 modelos · 3–1.800 m³/h
Bombas de vacío de tornillo
36 modelos · 70–4.652 m³/h
Bombas de vacío Roots
14 modelos · 14–120 m³/h
Bombas de vacío scroll
4 modelos · 6,1–43 m³/h
Resumen de productos
Microscopía electrónica: los 112 modelos comparados
Con los filtros de la izquierda puede acotar la selección: por fabricante, tecnología y valores característicos de los modelos, a 50 o 60 Hz.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
COBRA NS 0070 CVelocidad de bombeo 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0100 BVelocidad de bombeo 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0160 CVelocidad de bombeo 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzPresión final 0,03 mbarPotencia nominal del motor 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0200 BVelocidad de bombeo 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 BVelocidad de bombeo 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 4
COBRA NC 0400 BVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 AVelocidad de bombeo 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0300 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0400 B ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0450 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0500 BVelocidad de bombeo 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C VRVelocidad de bombeo 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzPresión final 25 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVariantes 
COBRA NS 0600 CVelocidad de bombeo 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 CVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 0630 C ECOTORQUEVelocidad de bombeo 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0650 A PLUSVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 AVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NX 0650 A ECOTORQUEVelocidad de bombeo 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzPresión final 0,1 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NF 0750 AVelocidad de bombeo 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVariantes 
COBRA NC 1000 BVelocidad de bombeo 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzPresión final 0,05 mbarPotencia nominal del motor 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVariantes 
COBRA DX 0950 A PLUSVelocidad de bombeo 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzPresión final 0,01 mbarPotencia nominal del motor 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVariantes Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie ECODRY 5 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Ningún modelo coincide con estos filtros.
Busch Serie COBRA Industry 36 modelos
Busch Serie R5 58 modelos
Edwards Serie nXRi 5 modelos
Leybold Serie ECODRY 5 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie ACP 4 modelos
Pfeiffer Vacuum Serie HiScroll 4 modelos
Los modelos que un fabricante ya no tiene en su gama actual figuran en su sección «Modelos descatalogados».
Industrias
Microscopía electrónica: dónde lo indican los fabricantes
Los fabricantes enumeran estos usos en sus propias páginas.
Investigación, laboratorio y análisis
Busch menciona los microscopios electrónicos en análisis y laboratorio con COBRA y R5; Edwards menciona la microscopía electrónica entre sus sistemas de vacío para equipos de análisis, con bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi (haz sin dispersión, bajas oscilaciones, ESEM unos 10 mbar); Pfeiffer Vacuum la menciona con bombas de membrana, Roots multietapa y scroll y con la HiScroll.
Página de la industria: Investigación, laboratorio y análisis →
Semiconductores, electrónica y pantallas
Pfeiffer Vacuum menciona el CD-SEM para la metrología de obleas de bajas vibraciones, con 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa, ACP y HiScroll como bombas previas y la HiPace Plus como bomba turbomolecular.
Página de la industria: Semiconductores, electrónica y pantallas →
Preguntas frecuentes
Microscopía electrónica: preguntas frecuentes
¿Por qué necesita vacío un microscopio electrónico?
Porque el haz de electrones se dispersaría en el aire: Edwards menciona el haz sin dispersión, y Pfeiffer Vacuum el haz de electrones libre de dispersión, como motivo del vacío en la columna y la cámara de muestras. Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa.
¿Cuánto vacío necesita un microscopio electrónico de barrido?
Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM, un microscopio electrónico de barrido para la metrología de obleas, de 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa. Para un ESEM, en el que permanece gas alrededor de la muestra, Edwards indica unos 10 mbar.
¿Qué bomba de vacío para un microscopio electrónico?
El alto vacío lo genera una bomba turbomolecular del equipo: Pfeiffer Vacuum menciona la HiPace Plus; Leybold, la TURBOVAC MAG. Como bomba previa, Pfeiffer Vacuum indica HiScroll y ACP; Edwards, bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, ECODRY plus; Busch, COBRA y R5.
¿Qué bomba previa para la bomba turbomolecular de un microscopio electrónico?
Pfeiffer Vacuum indica bombas de membrana, Roots multietapa y scroll, en concreto HiScroll y ACP; Edwards indica bombas de paletas rotativas, scroll y nXRi; Leybold, la bomba Roots multietapa ECODRY plus. Edwards y Pfeiffer Vacuum mencionan bombas de bajas oscilaciones y de bajas vibraciones, respectivamente.
¿Sin aceite o lubricada con aceite para la microscopía electrónica?
Se indican ambas. Edwards incluye bombas de paletas rotativas junto a las scroll y nXRi; Busch, la R5 lubricada con aceite junto a la COBRA; Pfeiffer Vacuum indica bombas previas secas (membrana, Roots multietapa, scroll) y Leybold la ECODRY plus seca. Para el CD-SEM en la fabricación de obleas, Pfeiffer Vacuum indica ACP y HiScroll, ambas sin aceite.
¿Por qué la bomba de vacío del microscopio electrónico debe tener bajas vibraciones?
Edwards menciona bombas de bajas oscilaciones; Pfeiffer Vacuum, bombas de bajas vibraciones y, en el CD-SEM, la metrología de obleas de bajas vibraciones. Las oscilaciones de la bomba previa se transmiten al equipo y hacen borrosa la imagen; al medir estructuras en la oblea, se convierten en un error de medición.
¿Cuánto vacío necesita un ESEM?
Edwards indica para un ESEM unos 10 mbar. A diferencia del microscopio electrónico de barrido de alto vacío, en él permanece gas alrededor de la muestra; el alto vacío de la columna lo sigue suministrando la bomba turbomolecular.
¿Qué bomba de vacío para CD-SEM en la fabricación de obleas?
Pfeiffer Vacuum indica para el CD-SEM, con 10⁻⁵ a 10⁻⁷ hPa y bajas vibraciones para la metrología de obleas, ACP y HiScroll como bombas previas y la HiPace Plus como bomba turbomolecular. Para la inspección en general, Pfeiffer Vacuum indica A 100/200 L, A4, ACP y TORRI.
¿Qué bomba de vacío scroll para microscopios electrónicos?
Pfeiffer Vacuum indica la HiScroll para la microscopía electrónica y el CD-SEM; Edwards menciona bombas scroll junto a las de paletas rotativas y nXRi. Una bomba de vacío scroll funciona sin aceite.
¿Bomba individual o sistema central de vacío?
Una instalación central en un local propio mantiene el ruido y el calor lejos de la producción y adapta la potencia a la demanda. Los sistemas centrales de vacío los planifica y realiza Eugen Theis Vakuum, una empresa del grupo Ehrler & Beck; más información en Central Vacuum.
¿Suministra Ehrler & Beck también repuestos y servicio?
Sí. Ehrler & Beck ofrece repuestos originales y accesorios, así como mantenimiento y reparación.
¿Qué bomba se adapta a su proceso?
Indíquenos la aplicación, el medio y el volumen: le asesoramos en la selección, los repuestos y el servicio.
