Anwendung

Vakuumpumpen für die Elektronenmikroskopie

Ein Elektronenmikroskop bildet mit einem Elektronenstrahl ab, der in Luft gestreut würde – Säule und Probenkammer stehen deshalb unter Vakuum. Pfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa, Edwards für ein ESEM etwa 10 mbar; die Vorpumpe sichert das Vorvakuum der Turbopumpe im Gerät und darf das Bild nicht durch Schwingungen stören. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 112 Modelle von 4 Herstellern.

112 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 112Modelle
  • 6Serien
  • 4Hersteller
  • 10⁻⁵–10⁻⁷ hPaKammerdruck CD-SEM (Pfeiffer Vacuum)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Elektronenmikroskopie – das Wichtigste in Kürze

  • KammerdruckPfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa, Edwards für ein ESEM etwa 10 mbar.
  • Strahl ohne StreuungEdwards und Pfeiffer Vacuum nennen den Elektronenstrahl ohne Streuung als Grund für das Vakuum im Mikroskop.
  • VibrationsarmEdwards nennt schwingungsarme, Pfeiffer Vacuum vibrationsarme Pumpen – beim CD-SEM für die Wafer-Messtechnik.
  • PumpstandDie Turbopumpe sitzt im Gerät (Pfeiffer Vacuum HiPace Plus, Leybold TURBOVAC MAG); als Vorpumpe nennt Pfeiffer Vacuum Membran-, mehrstufige Wälzkolben- und Scroll-Pumpen, Edwards Drehschieber, Scroll und nXRi, Leybold ECODRY plus.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Elektronenmikroskopie

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. Probe einschleusenDie Probe – im CD-SEM der Wafer – kommt in die Probenkammer; das Ventil zur Säule bleibt geschlossen, bis die Kammer wieder dicht ist.
  2. EvakuierenDie Vorpumpe pumpt die Kammer ab und hält dann das Vorvakuum der Turbopumpe, die das Hochvakuum erzeugt – laut Pfeiffer Vacuum 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa beim CD-SEM.
  3. AbbildenDer Elektronenstrahl erreicht die Probe laut Edwards und Pfeiffer Vacuum ohne Streuung; die Pumpen laufen dabei schwingungsarm, damit das Bild scharf bleibt.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Elektronenmikroskopie braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Pfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa. Edwards nennt für ein ESEM etwa 10 mbar – dort bleibt Gas um die Probe.

Welche Pumpen

Laut Pfeiffer Vacuum und Leybold sitzt eine Turbopumpe im Gerät (HiPace Plus, TURBOVAC MAG – nicht in unserem Sortiment). Als Vorpumpen nennen Pfeiffer Vacuum HiScroll und ACP sowie allgemein Membran-, mehrstufige Wälzkolben- und Scroll-Pumpen, Edwards Drehschieber, Scroll und nXRi, Leybold ECODRY plus, Busch COBRA und R5.

Worauf die Hersteller hinweisen

Edwards: Strahl ohne Streuung, schwingungsarm. Pfeiffer Vacuum: streuungsfreier Elektronenstrahl, vibrationsarm – beim CD-SEM vibrationsarme Wafer-Messtechnik. Busch und Leybold führen Elektronenmikroskope auf, ohne die Anforderungen zu beschreiben.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Elektronenmikroskopie nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Produktübersicht

Alle 112 Modelle für Elektronenmikroskopie im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Leybold ECODRY Serie 5 Modelle

Pfeiffer Vacuum ACP Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Elektronenmikroskopie nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Forschung, Labor und Analytik

Busch nennt Elektronenmikroskope in Analytik und Labor mit COBRA und R5; Edwards nennt die Elektronenmikroskopie unter seinen Vakuumsystemen für Analysegeräte mit Drehschieber-, Scroll- und nXRi-Pumpen (Strahl ohne Streuung, schwingungsarm, ESEM etwa 10 mbar); Pfeiffer Vacuum nennt sie mit Membran-, mehrstufigen Wälzkolben- und Scroll-Pumpen und der HiScroll.

Vakuum in Forschung, Labor und Analytik →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum nennt das CD-SEM für die vibrationsarme Wafer-Messtechnik bei 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa mit ACP und HiScroll als Vorpumpen und HiPace Plus als Turbopumpe.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Elektronenmikroskopie

Warum braucht ein Elektronenmikroskop Vakuum?

Weil der Elektronenstrahl in Luft gestreut würde: Edwards nennt den Strahl ohne Streuung, Pfeiffer Vacuum den streuungsfreien Elektronenstrahl als Grund für das Vakuum in Säule und Probenkammer. Pfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa.

Wie viel Vakuum braucht ein Rasterelektronenmikroskop?

Pfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM, ein Rasterelektronenmikroskop für die Wafer-Messtechnik, 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa. Für ein ESEM, bei dem Gas um die Probe bleibt, nennt Edwards etwa 10 mbar.

Welche Vakuumpumpe für ein Elektronenmikroskop?

Das Hochvakuum erzeugt eine Turbopumpe im Gerät – Pfeiffer Vacuum nennt die HiPace Plus, Leybold die TURBOVAC MAG. Als Vorpumpe nennt Pfeiffer Vacuum HiScroll und ACP, Edwards Drehschieber-, Scroll- und nXRi-Pumpen, Leybold ECODRY plus, Busch COBRA und R5.

Welche Vorpumpe für die Turbopumpe eines Elektronenmikroskops?

Pfeiffer Vacuum nennt Membran-, mehrstufige Wälzkolben- und Scroll-Pumpen, konkret HiScroll und ACP; Edwards nennt Drehschieber, Scroll und nXRi; Leybold die mehrstufige Wälzkolbenpumpe ECODRY plus. Edwards und Pfeiffer Vacuum nennen schwingungs- beziehungsweise vibrationsarme Pumpen.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Elektronenmikroskopie?

Beides wird genannt. Edwards führt Drehschieber-Pumpen neben Scroll und nXRi auf, Busch die ölgeschmierte R5 neben der COBRA; Pfeiffer Vacuum nennt trockene Vorpumpen (Membran, mehrstufige Wälzkolben, Scroll) und Leybold die trockene ECODRY plus. Für das CD-SEM in der Waferfertigung nennt Pfeiffer Vacuum ACP und HiScroll, beide ohne Öl.

Warum muss die Vakuumpumpe am Elektronenmikroskop vibrationsarm sein?

Edwards nennt schwingungsarme Pumpen, Pfeiffer Vacuum vibrationsarme Pumpen und beim CD-SEM die vibrationsarme Wafer-Messtechnik. Schwingungen der Vorpumpe übertragen sich auf das Gerät und verwischen das Bild; bei der Messung von Strukturen auf dem Wafer wird daraus ein Messfehler.

Wie viel Vakuum braucht ein ESEM?

Edwards nennt für ein ESEM etwa 10 mbar. Anders als beim Hochvakuum-Rasterelektronenmikroskop bleibt dort Gas um die Probe; das Hochvakuum in der Säule liefert weiterhin die Turbopumpe.

Welche Vakuumpumpe für CD-SEM in der Waferfertigung?

Pfeiffer Vacuum nennt für das CD-SEM ACP und HiScroll als Vorpumpen und die HiPace Plus als Turbopumpe, bei 10⁻⁵ bis 10⁻⁷ hPa und vibrationsarm für die Wafer-Messtechnik. Für die Inspektion allgemein nennt Pfeiffer Vacuum A 100/200 L, A4, ACP und TORRI.

Welche Scroll-Vakuumpumpe für Elektronenmikroskope?

Pfeiffer Vacuum nennt die HiScroll für die Elektronenmikroskopie und das CD-SEM; Edwards nennt Scroll-Pumpen neben Drehschieber und nXRi. Eine Scroll-Vakuumpumpe läuft ohne Öl.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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