Anwendung

Vakuumpumpen für Massenspektrometrie und Analytik

Ein Massenspektrometer trennt Ionen nach ihrer Masse – das gelingt nur, wenn sie auf ihrem Weg nicht mit Gasmolekülen zusammenstoßen. Die Geräte arbeiten laut Leybold unter Vakuum, oft mit mehreren Kammern in verschiedenen Druckbereichen: vom Einlass bei einigen 10 mbar bis zum TOF- oder Orbitrap-Analysator bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar; die Turbopumpe sitzt laut Pfeiffer Vacuum im Gerät, die Vorpumpe steht außen. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 166 Modelle von 4 Herstellern.

166 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 166Modelle
  • 11Serien
  • 4Hersteller
  • 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbarAnalysator TOF / Orbitrap (Leybold)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Massenspektrometrie und Analytik – das Wichtigste in Kürze

  • DruckstufenLeybold nennt mehrere Kammern in verschiedenen Druckbereichen: der Einlass bei einigen 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar; Pfeiffer Vacuum nennt für den Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa.
  • IonisationEdwards nennt für die Ionisation 1 bis 5 mbar und als Aufgabe des Vakuums, störendes Restgas zu entfernen.
  • PumpstandLaut Pfeiffer Vacuum sitzt die Turbopumpe im Gerät (SplitFlow, HiPace) und die Vorpumpe extern: HiScroll, SmartVane oder DuoVane; Edwards nennt RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi.
  • LeisePfeiffer Vacuum nennt für die HiScroll unter 47 dB – die Vorpumpe steht außerhalb des Geräts.
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  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Massenspektrometrie und Analytik

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. IonisierenDie Probe aus GC, LC, ICP oder MALDI wird in der Ionenquelle ionisiert – laut Edwards bei 1 bis 5 mbar.
  2. TransportierenDie Ionen durchlaufen die Druckstufen vom Einlass bei einigen 10 mbar bis zum Analysator (Leybold) – laut Pfeiffer Vacuum stoßfrei, also ohne Zusammenstöße mit Gasmolekülen.
  3. AnalysierenIm Analysator bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar (Leybold, TOF / Orbitrap) werden die Ionen nach ihrer Masse getrennt; das Vakuum entfernt laut Edwards das störende Restgas.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Massenspektrometrie und Analytik braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold: Einlass einige 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar, mehrere Kammern in verschiedenen Druckbereichen. Edwards: Ionisation 1 bis 5 mbar. Pfeiffer Vacuum: Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa. Für die Oberflächenanalyse (XPS, AES, SIMS, FEM) nennt Leybold Ultrahochvakuum gegen Oberflächenkontamination.

Welche Pumpen

Die Vorpumpe muss zur Turbopumpe im Gerät passen (Pfeiffer Vacuum: Turbo im Gerät, Vorpumpe extern). Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll, SmartVane und DuoVane, Edwards RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold kleine Trockenpumpen und ölgedichtete Pumpen sowie SOGEVAC BI/DI für GC und LC, Busch COBRA und R5, Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen für die Analytik.

Worauf die Hersteller hinweisen

Edwards: störendes Restgas entfernen; bei der Röntgenbeugung die Luftstreuung vermeiden. Pfeiffer Vacuum: stoßfreier Ionentransport; die HiScroll mit unter 47 dB. Leybold: Massenspektrometer arbeiten oft mit mehreren Druckstufen; Einsatzfelder laut seiner Seite sind Umwelt, Lebensmittel, Neugeborenen-Tests, Diagnostik und Medikamente.

Verwandte Analytik

Restgasanalyse: Laut Pfeiffer Vacuum wird die Gaszusammensetzung im Vakuum auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung gemessen, mit einem Analysator bei höchstens 10⁻⁴ hPa; Edwards nennt dafür nXRi und XDS. Oberflächenanalyse: Pfeiffer Vacuum nennt DuoVane, HiScroll und SmartVane, Leybold UHV gegen Oberflächenkontamination. Probenvorbereitung: Edwards XDS. Röntgenbeugung: Edwards Drehschieber-Vakuumpumpen gegen Luftstreuung.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Massenspektrometrie und Analytik nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Atlas Copco nennt die Anwendung, ohne dafür eine Serie zu bestimmen.

Produktübersicht

Alle 166 Modelle für Massenspektrometrie und Analytik im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten

Busch R5 Serie 58 Modelle

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards nXLi Serie 7 Modelle

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards RV Serie 8 Modelle

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

Pfeiffer Vacuum SmartVane Serie 2 Modelle

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Massenspektrometrie und Analytik nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Forschung, Labor und Analytik

Busch, Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum nennen die Massenspektrometrie für Forschung, Labor und Analytik: Busch mit COBRA und R5, Edwards für GC-MS, LC-MS, ICP-MS und MALDI mit RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold mit mehreren Druckstufen bis in den Bereich von 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar, Pfeiffer Vacuum mit HiScroll, SmartVane und DuoVane.

Vakuum in Forschung, Labor und Analytik →

Medizin und Krankenhaus

Pfeiffer Vacuum nennt die Massenspektrometrie auch für die Medizin mit DuoVane, HiScroll und SmartVane; Leybold nennt auf seiner Seite Diagnostik und Neugeborenen-Tests als Einsatzfelder.

Vakuum in Medizin und Krankenhaus →

Pharma und Biotechnologie

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie für Pharma und Biotechnologie auf; Leybold nennt Medikamente als Einsatzfeld der Massenspektrometer.

Vakuum in Pharma und Biotechnologie →

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie auch für Halbleiter, Elektronik und Display auf, ohne den Einsatz dort näher zu beschreiben; als verwandte Analytik beschreibt es die Restgasanalyse, die die Gaszusammensetzung im Vakuum auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung prüft.

Vakuum in Halbleiter, Elektronik und Display →

Energie

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie auch unter seinen Lösungen für die Energiebranche auf, ohne den Einsatz dort näher zu beschreiben.

Vakuum in Energie →

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Massenspektrometrie und Analytik

Warum braucht ein Massenspektrometer Vakuum?

Die Ionen müssen laut Pfeiffer Vacuum stoßfrei durch das Gerät gelangen, und das Vakuum entfernt laut Edwards das störende Restgas. Massenspektrometer arbeiten laut Leybold deshalb unter Vakuum, oft mit mehreren Kammern in verschiedenen Druckbereichen.

Wie viel Vakuum braucht ein Massenspektrometer?

Leybold nennt mehrere Druckstufen: der Einlass bei einigen 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar. Edwards nennt für die Ionisation 1 bis 5 mbar, Pfeiffer Vacuum für den Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa.

Welche Vakuumpumpe für ein Massenspektrometer?

Das Hochvakuum erzeugt laut Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe im Gerät (SplitFlow, HiPace), die Vorpumpe steht extern: Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll, SmartVane und DuoVane, Edwards RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold TURBOVAC i mit kleinen Trockenpumpen oder ölgedichteten Pumpen, Busch COBRA und R5, Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen für die Analytik.

Welche Vorpumpe für die Turbopumpe im Massenspektrometer?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Turbopumpen SplitFlow und HiPace die externen Vorpumpen HiScroll, SmartVane und DuoVane für Massenspektrometrie; Edwards nennt RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi; Leybold kleine Trockenpumpen oder ölgedichtete Pumpen hinter der TURBOVAC i.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Massenspektrometrie?

Beides wird genannt. Leybold nennt kleine Trockenpumpen und ölgedichtete Pumpen nebeneinander; Edwards die ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpen RV und E2M neben Scroll, nXRi und nXLi; Pfeiffer Vacuum die Scroll-Vakuumpumpe HiScroll neben den Drehschieber-Vakuumpumpen DuoVane und SmartVane; Busch R5 neben COBRA; Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen. Für die Oberflächenanalyse im Ultrahochvakuum nennt Leybold den Schutz vor Oberflächenkontamination als Anforderung.

Welche Vakuumpumpe für GC-MS und LC-MS?

Edwards nennt für GC-MS, LC-MS, ICP-MS und MALDI RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi; Pfeiffer Vacuum nennt für GC-, LC-, TOF-, ICP- und MALDI-MS HiScroll, SmartVane und DuoVane. Für Gas- und Flüssigkeitschromatographie selbst führt Leybold die SOGEVAC BI/DI auf, ohne sie zu beschreiben.

Wie laut ist die Vakuumpumpe am Massenspektrometer?

Pfeiffer Vacuum nennt für die HiScroll unter 47 dB; die Vorpumpe steht laut Pfeiffer Vacuum extern neben dem Gerät, also im Labor.

Was ist Restgasanalyse und welches Vakuum braucht sie?

Bei der Restgasanalyse wird laut Pfeiffer Vacuum die Gaszusammensetzung im Vakuum gemessen – auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung – mit einem Analysator bei höchstens 10⁻⁴ hPa (Pfeiffer Vacuum nennt PrismaPro, HiQuad Neo, HiCube Neo RGA und OmniStar, die nicht in unserem Sortiment sind). Edwards nennt für die Restgasanalyse nXRi und XDS.

Welche Vakuumpumpe für die Oberflächenanalyse (XPS, SIMS)?

Leybold nennt für XPS, AES, SIMS und FEM Ultrahochvakuum gegen Oberflächenkontamination, ohne eine Serie zu nennen; Pfeiffer Vacuum nennt für die Oberflächenanalyse DuoVane, HiScroll und SmartVane.

Welche Vakuumpumpe für Röntgenbeugung und Probenvorbereitung?

Edwards nennt für die Röntgenbeugung Drehschieber-Vakuumpumpen, die die Luftstreuung vermeiden, und für die Probenvorbereitung die Scroll-Vakuumpumpe XDS.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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