Anwendung

Vakuumpumpen für Massenspektrometrie und Analytik

Ein Massenspektrometer trennt Ionen nach ihrer Masse – das gelingt nur, wenn sie auf ihrem Weg nicht mit Gasmolekülen zusammenstoßen. Die Geräte arbeiten laut Leybold unter Vakuum, oft mit mehreren Kammern in verschiedenen Druckbereichen: vom Einlass bei einigen 10 mbar bis zum TOF- oder Orbitrap-Analysator bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar; die Turbopumpe sitzt laut Pfeiffer Vacuum im Gerät, die Vorpumpe steht außen. Hier finden Sie, wie die Anwendung funktioniert, welches Vakuum die Hersteller nennen und welche ihrer Serien dafür vorgesehen sind – 166 Modelle von 4 Herstellern.

166 Modelle vergleichenSo funktioniert es

  • 166Modelle
  • 11Serien
  • 4Hersteller
  • 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbarAnalysator TOF / Orbitrap (Leybold)
ABCDEFG

Punkte berühren: Die Teile der Anlage erklären sich selbst.

Kurz gesagt

Massenspektrometrie und Analytik – das Wichtigste in Kürze

  • DruckstufenLeybold nennt mehrere Kammern in verschiedenen Druckbereichen: der Einlass bei einigen 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar; Pfeiffer Vacuum nennt für den Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa.
  • IonisationEdwards nennt für die Ionisation 1 bis 5 mbar und als Aufgabe des Vakuums, störendes Restgas zu entfernen.
  • PumpstandLaut Pfeiffer Vacuum sitzt die Turbopumpe im Gerät (SplitFlow, HiPace) und die Vorpumpe extern: HiScroll, SmartVane oder DuoVane; Edwards nennt RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi.
  • LeisePfeiffer Vacuum nennt für die HiScroll unter 47 dB – die Vorpumpe steht außerhalb des Geräts.
ABCDEFG
  • Luft und Gas (Unterdruck)
  • Abluft

Funktionsprinzip

So funktioniert Massenspektrometrie und Analytik

Die Zeichnung zeigt das Grundprinzip im Schnitt. Anlagen und Pumpen der einzelnen Hersteller unterscheiden sich im Detail.

  1. IonisierenDie Probe aus GC, LC, ICP oder MALDI wird in der Ionenquelle ionisiert – laut Edwards bei 1 bis 5 mbar.
  2. TransportierenDie Ionen durchlaufen die Druckstufen vom Einlass bei einigen 10 mbar bis zum Analysator (Leybold) – laut Pfeiffer Vacuum stoßfrei, also ohne Zusammenstöße mit Gasmolekülen.
  3. AnalysierenIm Analysator bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar (Leybold, TOF / Orbitrap) werden die Ionen nach ihrer Masse getrennt; das Vakuum entfernt laut Edwards das störende Restgas.

Vakuum und Auslegung

Wie viel Vakuum Massenspektrometrie und Analytik braucht

Was die Hersteller zu Druck, Saugvermögen und Auslegung sagen.

Welches Vakuum

Leybold: Einlass einige 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar, mehrere Kammern in verschiedenen Druckbereichen. Edwards: Ionisation 1 bis 5 mbar. Pfeiffer Vacuum: Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa. Für die Oberflächenanalyse (XPS, AES, SIMS, FEM) nennt Leybold Ultrahochvakuum gegen Oberflächenkontamination.

Welche Pumpen

Die Vorpumpe muss zur Turbopumpe im Gerät passen (Pfeiffer Vacuum: Turbo im Gerät, Vorpumpe extern). Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll, SmartVane und DuoVane (12 Produkte), Edwards RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold kleine Trockenpumpen und ölgedichtete Pumpen sowie SOGEVAC BI/DI für GC und LC, Busch COBRA und R5, Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen für die Analytik.

Worauf die Hersteller hinweisen

Edwards: störendes Restgas entfernen; bei der Röntgenbeugung die Luftstreuung vermeiden. Pfeiffer Vacuum: stoßfreier Ionentransport; die HiScroll mit unter 47 dB. Leybold: Massenspektrometer arbeiten oft mit mehreren Druckstufen; Einsatzfelder laut seiner Seite sind Umwelt, Lebensmittel, Neugeborenen-Tests, Diagnostik und Medikamente.

Verwandte Analytik

Restgasanalyse: Laut Pfeiffer Vacuum wird die Gaszusammensetzung im Vakuum auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung gemessen, mit einem Analysator bei höchstens 10⁻⁴ hPa; Edwards nennt dafür nXRi und XDS. Oberflächenanalyse: Pfeiffer Vacuum nennt DuoVane, HiScroll und SmartVane (12 Produkte), Leybold UHV gegen Oberflächenkontamination. Probenvorbereitung: Edwards XDS. Röntgenbeugung: Edwards Drehschieber-Vakuumpumpen gegen Luftstreuung.

Technik

Welche Vakuumpumpen die Hersteller für Massenspektrometrie und Analytik nennen

Aufgeführt sind die Serien, die der Hersteller selbst für diese Anwendung nennt. „Nur … anzeigen“ setzt den Filter der Produktübersicht.

Atlas Copco nennt die Anwendung, ohne dafür eine Serie zu bestimmen.

Produktübersicht

Alle 166 Modelle für Massenspektrometrie und Analytik im Vergleich

Mit den Filtern links grenzen Sie die Auswahl ein – nach Hersteller, Technologie und den Kennwerten der Modelle, wahlweise für 50 oder 60 Hz.

Busch COBRA Industry Serie 36 Modelle

COBRA NS 0070 CSaugvermögen 70 m³/h 50 Hz85 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,4 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0100 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 3,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0100 B ECOTORQUESaugvermögen 130 m³/h 50 Hz130 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 4,8 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0160 CSaugvermögen 135 m³/h 50 Hz170 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0200 BSaugvermögen 220 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0200 B ECOTORQUESaugvermögen 265 m³/h 50 Hz265 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,6 kW 50 Hz7,6 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 BSaugvermögen 320 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten 4
COBRA NC 0400 BSaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 ASaugvermögen 350 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0300 B ECOTORQUESaugvermögen 385 m³/h 50 Hz385 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0400 B ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 9,5 kW 50 Hz9,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0450 A ECOTORQUESaugvermögen 420 m³/h 50 Hz420 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0500 BSaugvermögen 490 m³/h 50 Hz490 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 9 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C VRSaugvermögen 580 m³/h 50 Hz680 m³/h 60 HzEnddruck 25 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz22 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NS 0600 CSaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 630 m³/h 50 Hz630 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 17 kW 50 Hz17 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0650 A PLUSSaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 ASaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 12,5 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0650 A ECOTORQUESaugvermögen 650 m³/h 50 Hz650 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0750 ASaugvermögen 750 m³/h 50 Hz750 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1000 BSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz1.000 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz25 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 0950 A PLUSSaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NF 0950 ASaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NX 0950 A ECOTORQUESaugvermögen 950 m³/h 50 Hz950 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 1500 B VRSaugvermögen 1.160 m³/h 50 Hz1.400 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz36 kW 60 HzVarianten
COBRA DX 2000 A PLUSSaugvermögen 1.900 m³/h 50 Hz1.900 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2500 CSaugvermögen 2.000 m³/h 50 Hz2.500 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA NC 2000 C VRSaugvermögen 2.100 m³/h 50 Hz2.600 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 55 kW 50 Hz63 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2760 ASaugvermögen 2.112 m³/h 50 Hz2.112 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 2780 ASaugvermögen 2.250 m³/h 50 Hz2.250 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4560 ASaugvermögen 3.077 m³/h 50 Hz3.077 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 4580 ASaugvermögen 3.512 m³/h 50 Hz3.512 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6260 ASaugvermögen 3.781 m³/h 50 Hz3.781 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 22,5 kW 50 Hz22,5 kW 60 HzVarianten
COBRA DH 6280 ASaugvermögen 4.652 m³/h 50 Hz4.652 m³/h 60 HzEnddruck 1 × 10-3 mbarMotornennleistung 26 kW 50 Hz26 kW 60 HzVarianten

Busch R5 Serie 58 Modelle

R5 PB 0003 DSaugvermögen 3 m³/h 50 Hz3,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten
R5 PB 0004 CSaugvermögen 4 m³/h 50 Hz4,8 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,1 kW 50 Hz0,12 kW 60 HzVarianten
R5 PB 0008 CSaugvermögen 8 m³/h 50 Hz9,6 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,35 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten
R5 KB 0010 ESaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten 1
R5 KD 0012 ASaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,37 kW 50 Hz0,37 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1
R5 RC 0010 CSaugvermögen 10 m³/h 50 Hz12 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,45 kW 60 HzVarianten 1
R5 KB 0016 ESaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 1
R5 KD 0020 ASaugvermögen 16 m³/h 50 Hz20 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1
R5 RC 0016 CSaugvermögen 16 m³/h 50 Hz19 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,7 kW 60 HzVarianten 1
R5 KB 0020 DSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 1
R5 RB 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 2
R5 RC 0021 CSaugvermögen 20 m³/h 50 Hz24 m³/h 60 HzEnddruck 20 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten
R5 KD 0025 ASaugvermögen 22 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten
R5 KB 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0025 FSaugvermögen 25 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1 kW 50 Hz1,2 kW 60 HzVarianten 3
R5 KB 0040 DSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0040 FSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 1,4 kW 50 Hz1,7 kW 60 HzVarianten 3
R5 RE 0040 CSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0063 FSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2 kW 50 Hz2,4 kW 60 HzVarianten 3
R5 RE 0063 CSaugvermögen 63 m³/h 50 Hz76 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0100 FSaugvermögen 100 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 2,7 kW 50 Hz3,4 kW 60 HzVarianten 3
R5 RA 0155 ASaugvermögen 150 m³/h 50 Hz175 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0165 DSaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
R5 RA 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten
R5 RD 0200 ASaugvermögen 160 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 2
R5 RA 0165 D ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0200 A ECOTORQUESaugvermögen 190 m³/h 50 Hz190 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0205 DSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 3
R5 RA 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten
R5 RD 0240 ASaugvermögen 200 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,2 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0205 D ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0240 A ECOTORQUESaugvermögen 240 m³/h 50 Hz240 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0255 DSaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten 3
R5 RD 0300 ASaugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0255 D ECOTORQUESaugvermögen 300 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0305 DSaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 8,3 kW 50 Hz10 kW 60 HzVarianten 3
R5 RA 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9,2 kW 60 HzVarianten
R5 RD 0360 ASaugvermögen 300 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,6 kW 60 HzVarianten 2
R5 RA 0305 D ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0360 A ECOTORQUESaugvermögen 360 m³/h 50 Hz360 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0400 CSaugvermögen 410 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 3
R5 RA 0520 ASaugvermögen 430 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz12,5 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0400 C ECOTORQUESaugvermögen 480 m³/h 50 Hz480 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0502 CSaugvermögen 510 m³/h 50 Hz590 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz15 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 0520 A ECOTORQUESaugvermögen 520 m³/h 50 Hz520 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0502 C ECOTORQUESaugvermögen 580 m³/h 50 Hz580 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0600 A ECOTORQUESaugvermögen 600 m³/h 50 Hz600 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0630 CSaugvermögen 630 m³/h 50 Hz760 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 2
R5 RA 0630 C ECOTORQUESaugvermögen 745 m³/h 50 Hz745 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 0840 A ECOTORQUESaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
R5 RA 0840 B PLUSSaugvermögen 840 m³/h 50 Hz840 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten
R5 RA 1000 BSaugvermögen 1.000 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 22 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 1000 A PLUSSaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz30 kW 60 HzVarianten
R5 RA 1000 B ECOTORQUESaugvermögen 1.200 m³/h 50 Hz1.200 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung Varianten
R5 RA 1600 BSaugvermögen 1.600 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 30 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten 1
R5 RA 1600 A PLUSSaugvermögen 1.800 m³/h 50 Hz1.800 m³/h 60 HzEnddruck 0,3 mbarMotornennleistung 37 kW 50 Hz37 kW 60 HzVarianten

Edwards E2M Serie 9 Modelle

Edwards E2M0.7Saugvermögen 0,75 m³/h 50 Hz0,95 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,09 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M1.5Saugvermögen 1,6 m³/h 50 Hz2 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 4
Edwards E2M2.5Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz3 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,16 kW 50 Hz0,16 kW 60 HzVarianten 2
Edwards E2M18Saugvermögen 17 m³/h 50 Hz20,4 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 0,9 kW 60 HzVarianten 8
Edwards E2M28Saugvermögen 27,5 m³/h 50 Hz33 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 7
Edwards E2M40Saugvermögen 37 m³/h 50 Hz44 m³/h 60 HzEnddruck 4,5 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M80Saugvermögen 74 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 – 0,01 mbarMotornennleistung 2,2 – 3 kW 50 Hz3 kW 60 HzVarianten 9
Edwards E2M175Saugvermögen 160 m³/h 50 Hz196 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,5 kW 60 HzVarianten 5
Edwards E2M275Saugvermögen 255 m³/h 50 Hz306 m³/h 60 HzEnddruck 3,3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz8,5 kW 60 HzVarianten 5

Edwards nXLi Serie 7 Modelle

Edwards nXL110iDSaugvermögen 98 m³/h 50 Hz98 m³/h 60 HzEnddruck Motornennleistung Varianten 1
Edwards nXL110iD EnhancedSaugvermögen 98 m³/h 50 Hz98 m³/h 60 HzEnddruck 0,07 mbarMotornennleistung Varianten 2
Edwards nXL110iSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung Varianten 2
Edwards nXL110i EnhancedSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz110 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung Varianten 2
Edwards nXL200iD EnhancedSaugvermögen 158 m³/h 50 Hz158 m³/h 60 HzEnddruck 0,07 mbarMotornennleistung Varianten 2
Edwards nXL200iSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz200 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung Varianten 2
Edwards nXL200i EnhancedSaugvermögen 200 m³/h 50 Hz200 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung Varianten 2

Edwards nXRi Serie 5 Modelle

Edwards nXR30iSaugvermögen 30 m³/h 50 Hz30 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR40iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR60iSaugvermögen 60 m³/h 50 Hz60 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR90iSaugvermögen 90 m³/h 50 Hz90 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1
Edwards nXR120iSaugvermögen 120 m³/h 50 Hz120 m³/h 60 HzEnddruck 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 1

Edwards RV Serie 8 Modelle

Edwards RV3Saugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV3 FXSaugvermögen 3,3 m³/h 50 Hz3,9 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 4
Edwards RV5Saugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV5 FXSaugvermögen 5,1 m³/h 50 Hz6,2 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,25 – 0,37 kW 50 Hz0,3 – 0,44 kW 60 HzVarianten 4
Edwards RV8Saugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV8 FXSaugvermögen 8,5 m³/h 50 Hz10 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 5
Edwards RV12Saugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 6
Edwards RV12 FXSaugvermögen 12 m³/h 50 Hz14,2 m³/h 60 HzEnddruck 0,02 mbarMotornennleistung 0,37 – 0,45 kW 50 Hz0,44 – 0,55 kW 60 HzVarianten 5

Edwards XDS Serie 2 Modelle

Edwards XDS35iSaugvermögen 35 m³/h 50 Hz35 m³/h 60 HzEnddruck 0,01 – 0,03 mbarMotornennleistung Varianten 6
Edwards XDS46iSaugvermögen 40 m³/h 50 Hz40 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung Varianten 2

Leybold SOGEVAC Serie 23 Modelle

SOGEVAC SV 10 BSaugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,5 m³/h 60 HzEnddruck 1,5 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 16 DSaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 13
SOGEVAC SV 16 DISaugvermögen 14,5 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 0,1 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 4
SOGEVAC SV 16 BSaugvermögen 15 m³/h 50 Hz17 m³/h 60 HzEnddruck 1 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,75 kW 60 HzVarianten 7
SOGEVAC SV 25 BSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,9 kW 50 Hz1,1 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 25 DSaugvermögen 22,5 m³/h 50 Hz25,5 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 Hz0,9 kW 60 HzVarianten 15
SOGEVAC SV 28 BISaugvermögen 23 m³/h 50 Hz27 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 0,55 – 0,75 kW 50 Hz0,66 – 1,1 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 40 BI FCSaugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 55 BI²Saugvermögen 36 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 4
SOGEVAC SV 40 BSaugvermögen 38,5 m³/h 50 Hz47 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 25
SOGEVAC SV 40 BISaugvermögen 40 m³/h 50 Hz48 m³/h 60 HzEnddruck 0,05 mbarMotornennleistung 1,1 – 1,3 kW 50 Hz1,3 – 1,6 kW 60 HzVarianten 3
SOGEVAC SV 65 BI FCSaugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 70 BI²Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung Varianten 2
SOGEVAC SV 65 BSaugvermögen 54 m³/h 50 Hz64 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 22
SOGEVAC SV 100 BSaugvermögen 87,5 m³/h 50 Hz105 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz3,5 kW 60 HzVarianten 31
SOGEVAC SV 120 BI FCSaugvermögen 90 – 100 m³/h 50 Hz90 – 100 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 2,2 kW 50 Hz2,2 kW 60 HzVarianten 2
SOGEVAC SV 120 BSaugvermögen 110 m³/h 50 Hz122 m³/h 60 HzEnddruck 0,5 mbarMotornennleistung 2,4 kW 50 Hz3,2 kW 60 HzVarianten 12
SOGEVAC SV 220 BSaugvermögen 180 m³/h 50 Hz220 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 4,5 kW 50 Hz4,8 kW 60 HzVarianten 8
SOGEVAC SV 300 BSaugvermögen 240 m³/h 50 Hz290 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 5,5 kW 50 Hz6,3 kW 60 HzVarianten 45
SOGEVAC SV 320 BSaugvermögen 284 m³/h 50 Hz330 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz7,5 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 570 BSaugvermögen 470 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 11 kW 50 Hz11 – 13,2 kW 60 HzVarianten 6
SOGEVAC SV 630 BSaugvermögen 640 m³/h 50 Hz755 m³/h 60 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 15 kW 50 Hz18,5 kW 60 HzVarianten 34
SOGEVAC SV 750 BSaugvermögen 755 m³/h 50 HzEnddruck 0,08 mbarMotornennleistung 18,5 kW 50 HzVarianten 15

Pfeiffer Vacuum DuoVane Serie 12 Modelle

DuoVane 1.6Saugvermögen 1,25 m³/h 50 Hz1,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,075 kW 50 Hz0,09 kW 60 HzVarianten 9
DuoVane 3Saugvermögen 2,5 m³/h 50 Hz2,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,25 kW 50 Hz0,3 kW 60 HzVarianten 10
DuoVane 6Saugvermögen 5,5 m³/h 50 Hz6,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 2
DuoVane 12Saugvermögen 9,5 m³/h 50 Hz11,8 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,45 kW 50 Hz0,55 kW 60 HzVarianten 5
DuoVane 18Saugvermögen 14 m³/h 50 Hz16,9 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 2
DuoVane 22Saugvermögen 19,5 m³/h 50 Hz22,5 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 0,55 kW 50 Hz0,66 kW 60 HzVarianten 5
DuoVane 30Saugvermögen 24 m³/h 50 Hz29 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,5 kW 60 HzVarianten 1
DuoVane 36Saugvermögen 32 m³/h 50 Hz36 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,1 kW 50 Hz1,3 kW 60 HzVarianten 11
DuoVane 70Saugvermögen 62 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 1,5 kW 50 Hz1,8 kW 60 HzVarianten 13
DuoVane 95Saugvermögen 80 m³/h 50 Hz95 m³/h 60 HzEnddruck 6,7 × 10-3 mbarMotornennleistung 3,7 kW 50 Hz3,7 kW 60 HzVarianten 1
DuoVane 135Saugvermögen 115 m³/h 50 Hz135 m³/h 60 HzEnddruck 2 × 10-3 mbarMotornennleistung 4 kW 50 Hz4,5 kW 60 HzVarianten 3
DuoVane 300Saugvermögen 250 m³/h 50 Hz300 m³/h 60 HzEnddruck 3 × 10-3 mbarMotornennleistung 7,5 kW 50 Hz9 kW 60 HzVarianten 3

Pfeiffer Vacuum HiScroll Serie 4 Modelle

HiScroll 6Saugvermögen 6,1 m³/h 50 HzEnddruck 0,015 mbarMotornennleistung Varianten 7
HiScroll 12Saugvermögen 12,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 7
HiScroll 18Saugvermögen 18,1 m³/h 50 HzEnddruck 6 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11
HiScroll 46Saugvermögen 43 m³/h 50 HzEnddruck 7 × 10-3 mbarMotornennleistung Varianten 11

Pfeiffer Vacuum SmartVane Serie 2 Modelle

SmartVane 55Saugvermögen 50 m³/h 50 Hz50 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 0,75 kW 50 HzVarianten 2
SmartVane 70Saugvermögen 70 m³/h 50 Hz70 m³/h 60 HzEnddruck 0,2 mbarMotornennleistung 1 kW 50 HzVarianten 2

Modellvergleich

Modelle, die ein Hersteller nicht mehr im aktuellen Programm führt, stehen in seinem Bereich „Auslaufmodelle“.

Branchen

Wo die Hersteller Massenspektrometrie und Analytik nennen

Diese Einsätze führen die Hersteller auf ihren Seiten auf.

Forschung, Labor und Analytik

Busch, Edwards, Leybold und Pfeiffer Vacuum nennen die Massenspektrometrie für Forschung, Labor und Analytik: Busch mit COBRA und R5, Edwards für GC-MS, LC-MS, ICP-MS und MALDI mit RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold mit mehreren Druckstufen bis in den Bereich von 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar, Pfeiffer Vacuum mit HiScroll, SmartVane und DuoVane.

Medizin und Krankenhaus

Pfeiffer Vacuum nennt die Massenspektrometrie auch für die Medizin mit DuoVane, HiScroll und SmartVane; Leybold nennt auf seiner Seite Diagnostik und Neugeborenen-Tests als Einsatzfelder.

Pharma und Biotechnologie

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie für Pharma und Biotechnologie auf; Leybold nennt Medikamente als Einsatzfeld der Massenspektrometer.

Halbleiter, Elektronik und Display

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie auch für Halbleiter, Elektronik und Display auf, ohne den Einsatz dort näher zu beschreiben; als verwandte Analytik beschreibt es die Restgasanalyse, die die Gaszusammensetzung im Vakuum auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung prüft.

Energie

Pfeiffer Vacuum führt die Massenspektrometrie auch unter seinen Lösungen für die Energiebranche auf, ohne den Einsatz dort näher zu beschreiben.

Häufige Fragen

Häufige Fragen zu Massenspektrometrie und Analytik

Warum braucht ein Massenspektrometer Vakuum?

Die Ionen müssen laut Pfeiffer Vacuum stoßfrei durch das Gerät gelangen, und das Vakuum entfernt laut Edwards das störende Restgas. Massenspektrometer arbeiten laut Leybold deshalb unter Vakuum, oft mit mehreren Kammern in verschiedenen Druckbereichen.

Wie viel Vakuum braucht ein Massenspektrometer?

Leybold nennt mehrere Druckstufen: der Einlass bei einigen 10 mbar, TOF- und Orbitrap-Analysatoren bei 10⁻⁸ bis unter 10⁻¹⁰ mbar. Edwards nennt für die Ionisation 1 bis 5 mbar, Pfeiffer Vacuum für den Analysator der Restgasanalyse höchstens 10⁻⁴ hPa.

Welche Vakuumpumpe für ein Massenspektrometer?

Das Hochvakuum erzeugt laut Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe im Gerät (SplitFlow, HiPace), die Vorpumpe steht extern: Pfeiffer Vacuum nennt HiScroll, SmartVane und DuoVane, Edwards RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi, Leybold TURBOVAC i mit kleinen Trockenpumpen oder ölgedichteten Pumpen, Busch COBRA und R5, Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen für die Analytik.

Welche Vorpumpe für die Turbopumpe im Massenspektrometer?

Pfeiffer Vacuum nennt für die Turbopumpen SplitFlow und HiPace die externen Vorpumpen HiScroll, SmartVane und DuoVane (12 Produkte für Massenspektrometrie); Edwards nennt RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi; Leybold kleine Trockenpumpen oder ölgedichtete Pumpen hinter der TURBOVAC i.

Ölfrei oder ölgeschmiert für die Massenspektrometrie?

Beides wird genannt. Leybold nennt kleine Trockenpumpen und ölgedichtete Pumpen nebeneinander; Edwards die ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpen RV und E2M neben Scroll, nXRi und nXLi; Pfeiffer Vacuum die Scroll-Vakuumpumpe HiScroll neben den Drehschieber-Vakuumpumpen DuoVane und SmartVane; Busch R5 neben COBRA; Atlas Copco Drehschieber-Vakuumpumpen. Für die Oberflächenanalyse im Ultrahochvakuum nennt Leybold den Schutz vor Oberflächenkontamination als Anforderung.

Welche Vakuumpumpe für GC-MS und LC-MS?

Edwards nennt für GC-MS, LC-MS, ICP-MS und MALDI RV, E2M, Scroll, nXRi und nXLi; Pfeiffer Vacuum nennt für GC-, LC-, TOF-, ICP- und MALDI-MS HiScroll, SmartVane und DuoVane. Für Gas- und Flüssigkeitschromatographie selbst führt Leybold die SOGEVAC BI/DI auf, ohne sie zu beschreiben.

Wie laut ist die Vakuumpumpe am Massenspektrometer?

Pfeiffer Vacuum nennt für die HiScroll unter 47 dB; die Vorpumpe steht laut Pfeiffer Vacuum extern neben dem Gerät, also im Labor.

Was ist Restgasanalyse und welches Vakuum braucht sie?

Bei der Restgasanalyse wird laut Pfeiffer Vacuum die Gaszusammensetzung im Vakuum gemessen – auf Verunreinigung, Lecks und Ausgasung – mit einem Analysator bei höchstens 10⁻⁴ hPa (Pfeiffer Vacuum nennt PrismaPro, HiQuad Neo, HiCube Neo RGA und OmniStar, die nicht in unserem Sortiment sind). Edwards nennt für die Restgasanalyse nXRi und XDS.

Welche Vakuumpumpe für die Oberflächenanalyse (XPS, SIMS)?

Leybold nennt für XPS, AES, SIMS und FEM Ultrahochvakuum gegen Oberflächenkontamination, ohne eine Serie zu nennen; Pfeiffer Vacuum nennt für die Oberflächenanalyse DuoVane, HiScroll und SmartVane (12 Produkte).

Welche Vakuumpumpe für Röntgenbeugung und Probenvorbereitung?

Edwards nennt für die Röntgenbeugung Drehschieber-Vakuumpumpen, die die Luftstreuung vermeiden, und für die Probenvorbereitung die Scroll-Vakuumpumpe XDS.

Einzelpumpe oder zentrale Vakuumanlage?

Eine zentrale Anlage in einem eigenen Raum hält Lärm und Wärme aus der Produktion fern und passt die Leistung dem Bedarf an. Zentralvakuumsysteme plant und realisiert Eugen Theis Vakuum, ein Unternehmen der Ehrler & Beck-Gruppe – mehr unter Central Vacuum.

Liefert Ehrler & Beck auch Ersatzteile und Service?

Ja. Ehrler & Beck bietet Originalersatzteile und Zubehör sowie Wartung und Reparatur an.

Welche Pumpe passt zu Ihrem Prozess?

Nennen Sie uns Anwendung, Medium und Volumen – wir beraten Sie zu Auswahl, Ersatzteilen und Service.

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