COBRA DS 0600 EPumping speed 600 m³/hUltimate pressure 0.01 mbar
COBRA DS 1800 A Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Die Busch COBRA DS 1800 A ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 1700 m³/h und einem Ultimate pressure von 0,003 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Pumping speed 1,700 m³/h 50 Hz 1,700 m³/h 60 Hz
- Ultimate pressure 3 × 10-3 mbar
- Rated motor power 8.4 kW 50 Hz 8.4 kW 60 Hz
| Variant | Part number |
|---|---|
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected) | 1361800480 |
Busch COBRA DS 1800 A – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA DS 1800 A ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 1700 m³/h, der Ultimate pressure 0,003 mbar. Rated motor power 8,4 kW.Features
- Leistungsstark: Schraubendesign mit integriertem Vakuum-Booster, für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie raue Prozesse mit hohen Gastemperaturen wie Ätzen und CVD; gute Pulververträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube
- Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturregelung
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor; Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem gemeinsamen Grundrahmen, geringe Schwingungen
Typical applications
Busch nennt: Display (Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)); Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.); Solar (Kristallziehen).Versions der Busch COBRA DS 1800 A
Die 1 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Advice and service
Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.| Pumping speed 50Hz | 1,700 |
|---|---|
| Pumping speed 60Hz | 1,700 |
| Ultimate pressure | 3 × 10-3 |
| Rated motor power 50Hz | 8.4 |
| Rated motor power 60Hz | 8.4 |
| Weight | 500 |
| Length | 107.3 |
| Width | 42.6 |
| Height | 75 |
| Inlet connection flange | DN 160 ISO-K |
| Outlet connection flange | DN 40 ISO-KF |
| Noise level | 62 dB(A) |
| Cooling method | Water cooling |
| Oil type | Oil-free |
Additional technical data
| Technical data | Value |
|---|---|
| Nominal pumping speed | 1700 m³/h |
| Ultimate pressure | 0,003 mbar |
| Rated motor power Vorpumpe | 4,4 kW |
| Rated motor power Vakuum-Booster | 4,0 kW |
| Nominal speed Vorpumpe | 5100 min⁻¹ |
| Nominal speed Vakuum-Booster | 5400 min⁻¹ |
| Power consumption at ultimate pressure | 4,1 kW |
| Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB) | < 62 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 7,0–8,0 l/min |
| Stickstoffverbrauch | 0 – 75 l/min |
| Dimensions (L × W × H) | 1073 × 426 × 750 mm |
| Weight (approx.) | 500 kg |
| Gas inlet | DN 160 ISO-K |
| Gas outlet | DN 40 ISO-KF |
COBRA DS 0600 EPumping speed 600 m³/hUltimate pressure 0.01 mbarCOBRA DS 1000 GPumping speed 775 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1001 GPumping speed 870 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA BC 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 2000 GPumping speed 1,365 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 1800 A XPumping speed 1,700 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbarCOBRA DS 3010 GPumping speed 3,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3161 CPumping speed 3,200 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 3181 CPumping speed 3,500 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 5161 BPumping speed 4,300 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbarCOBRA DS 8161 FPumping speed 6,000 m³/hUltimate pressure 1 × 10-3 mbar