COBRA DS 0080 GPumping speed 70 m³/hUltimate pressure 0.03 mbar
COBRA BC 0101 G Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 90 m³/h und einem Ultimate pressure von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.
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- Pumping speed 90 m³/h 50 Hz 90 m³/h 60 Hz
- Ultimate pressure 0.01 mbar
- Rated motor power 1.5 kW 50 Hz 1.5 kW 60 Hz
| Variant | Part number |
|---|---|
| Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected) | 1361800401 |
Busch COBRA BC 0101 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe
Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 90 m³/h, der Ultimate pressure 0,01 mbar. Rated motor power 1,5 kW.Features
- Leistungsstark: Schraubendesign in Glockenbauweise mit patentierten selbstausgleichenden Schrauben; für Schleusen- und Transferkammern, Metrologie, Lithografie, PVD und schnelles thermisches Ausheilen (RTA)
- Effizient: geregelter Antrieb, niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, hohe Verfügbarkeit, direkte Water cooling
- Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor, integriertes Bedienfeld
Typical applications
Busch nennt: Halbleiter (Strippen/Veraschung, Poly-Silizium-Ätzen, Ionenimplantation u. a.).Versions der Busch COBRA BC 0101 G
Die 1 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.Advice and service
Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.| Pumping speed 50Hz | 90 |
|---|---|
| Pumping speed 60Hz | 90 |
| Ultimate pressure | 0.01 |
| Rated motor power 50Hz | 1.5 |
| Rated motor power 60Hz | 1.5 |
| Weight | 115 |
| Length | 52 |
| Width | 30 |
| Height | 34 |
| Inlet connection flange | DN 50 KF |
| Outlet connection flange | DN 40 KF |
| Noise level | 58 dB(A) |
| Cooling method | Water cooling |
| Oil type | Oil-free |
Additional technical data
| Technical data | Value |
|---|---|
| Nominal pumping speed | 90 m³/h |
| Ultimate pressure | 0.01 mbar |
| Rated motor power | 1.5 kW |
| Nominal speed | 3000 min⁻¹ |
| Power consumption at ultimate pressure | 0,7 kW |
| Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB) | 58 dB(A) |
| Wasserverbrauch | 1,0 l/min |
| Dimensions (L × W × H) | 520 × 300 × 340 mm |
| Weight (approx.) | 115 kg |
| Gas inlet | DN 50 KF |
| Gas outlet | DN 40 KF |
COBRA DS 0080 GPumping speed 70 m³/hUltimate pressure 0.03 mbar
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COBRA DS 1200 APumping speed 1,200 m³/hUltimate pressure 3 × 10-3 mbar
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