COBRA BC 0101 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage

Name: COBRA BC 0101 G Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage
Brand: Busch
SKU: 1361800401

Teilenummer: 1361800401 Serie: COBRA Semicon Serie Hersteller: Busch Technologie: Schrauben-Vakuumpumpen

Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nennsaugvermögen von 90 m³/h und einem Enddruck von 0,01 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

Anfrage zu diesem Produkt Weiterlesen

Saugvermögen 90 m³/h 50 Hz 90 m³/h 60 Hz
Enddruck 0,01 mbar
Motornennleistung 1,5 kW 50 Hz 1,5 kW 60 Hz

Verfügbare Varianten
Variante	Teilenummer
Ausführung laut Busch-Shop, Motor und Ausstattung auf Anfrage (ausgewählt)	1361800401

Busch COBRA BC 0101 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA BC 0101 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nennsaugvermögen beträgt 90 m³/h, der Enddruck 0,01 mbar. Motornennleistung 1,5 kW.

Merkmale

Leistungsstark: Schraubendesign in Glockenbauweise mit patentierten selbstausgleichenden Schrauben; für Schleusen- und Transferkammern, Metrologie, Lithografie, PVD und schnelles thermisches Ausheilen (RTA)
Effizient: geregelter Antrieb, niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung
Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor, integriertes Bedienfeld

Typische Anwendungen

Busch nennt: Halbleiter (Strippen/Veraschung, Poly-Silizium-Ätzen, Ionenimplantation u. a.).

Ausführungen der Busch COBRA BC 0101 G

Die 1 Ausführungen unterscheiden sich in Motor, Spannung und Ausstattung; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.

Beratung und Service

Ehrler & Beck berät zu Auswahl, Zubehör und Service.

Saugvermögen 50Hz	90
Saugvermögen 60Hz	90
Enddruck	0,01
Motornennleistung 50Hz	1,5
Motornennleistung 60Hz	1,5
Gewicht	115
Länge	52
Breite	30
Höhe	34
Anschlussflansch Eingang	DN 50 KF
Anschlussflansch Ausgang	DN 40 KF
Schallpegel	58 dB(A)
Kühlungsart	Wasserkühlung
Öltyp	Ölfrei

Zusätzliche technische Daten

Technische Daten	Wert
Nennsaugvermögen	90 m³/h
Enddruck	0,01 mbar
Motornennleistung	1,5 kW
Nenndrehzahl	3000 min⁻¹
Leistungsaufnahme am Enddruck	0,7 kW
Schalldruckpegel (ISO 2151, KpA = 3 dB)	58 dB(A)
Wasserverbrauch	1,0 l/min
Abmessungen (L × B × H)	520 × 300 × 340 mm
Gewicht (ca.)	115 kg
Gaseinlass	DN 50 KF
Gasauslass	DN 40 KF