COBRA DS 0160 G Version according to the Busch shop, motor and equipment on request

Name: COBRA DS 0160 G Version according to the Busch shop, motor and equipment on request
Brand: Busch
SKU: 1361800814

Part number: 1361800814 Series: COBRA Semicon series Manufacturer: Busch Technology: Screw vacuum pumps

Die Busch COBRA DS 0160 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe mit einem Nominal pumping speed von 140 m³/h (50 Hz) bzw. 160 m³/h (60 Hz) und einem Ultimate pressure von 0,03 mbar. Ehrler & Beck berät zu Auswahl und Service.

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Pumping speed 140 m³/h 50 Hz 160 m³/h 60 Hz
Ultimate pressure 0.03 mbar
Rated motor power 5.5 kW 50 Hz 6.6 kW 60 Hz

Available variants
Variant	Part number
Version according to the Busch shop, motor and equipment on request	1361800253
Version according to the Busch shop, motor and equipment on request	1361800254
Version according to the Busch shop, motor and equipment on request (selected)	1361800814

Busch COBRA DS 0160 G – Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die Busch COBRA DS 0160 G ist eine trockene Schrauben-Vakuumpumpe. Das Nominal pumping speed beträgt 140 m³/h (50 Hz) bzw. 160 m³/h (60 Hz), der Ultimate pressure 0,03 mbar. Rated motor power 5,5 kW (50 Hz) bzw. 6,6 kW (60 Hz).

Features

Leistungsstark: Schraubendesign, für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), schnelle thermische Prozesse (RTP) und Atomlagenabscheidung (ALD)
Effizient: niedrige Betriebskosten, wenig Wartung, lange Wartungsintervalle, hohe Verfügbarkeit, indirekte Water cooling, hoher Wasserstoffdurchsatz
Kompakt: platzsparende Bauweise mit direkt angebautem Spaltrohrmotor

Typical applications

Busch nennt: Halbleiter (Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion, Poly-Silizium-Ätzen, PECVD u. a.).

Versions der Busch COBRA DS 0160 G

Die 3 Versions unterscheiden sich in Motor, Spannung und Equipment; Bestellnummern und Beschreibungen aus dem Shop der Busch Group.

Advice and service

Ehrler & Beck advises on selection, accessories and service.

Pumping speed 50Hz	140
Pumping speed 60Hz	160
Ultimate pressure	0.03
Rated motor power 50Hz	5.5
Rated motor power 60Hz	6.6
Weight	338
Length	97.5
Width	42.5
Height	69.7
Inlet connection flange	DN 50
Outlet connection flange	DN 40
Noise level	68 dB(A)
Cooling method	Water cooling
Oil type	Oil-free

Additional technical data

Technical data	Value
Nominal pumping speed	140 m³/h (50 Hz) / 160 m³/h (60 Hz)
Ultimate pressure	0,03 mbar
Rated motor power	5,5 kW (50 Hz) / 6,6 kW (60 Hz)
Nominal speed	3000 min⁻¹ (50 Hz) / 3600 min⁻¹ (60 Hz)
Power consumption at ultimate pressure	4,3 kW (50 Hz) / 5,2 kW (60 Hz)
Sound pressure level (ISO 2151, KpA = 3 dB)	< 68 dB(A)
Wasserverbrauch	4,0 l/min
Stickstoffverbrauch	0 – 75 l/min
Dimensions (L × W × H)	975 × 425 × 697 mm
Weight (approx.)	338 kg
Gas inlet	DN 50
Gas outlet	DN 40